WIS1000 集成了尼康 Nikon 晶圆自动加载器 高倍率显微镜和可编程 XY平台 用于宏观和微观检查 。 它不仅可以对晶圆正面与背面进行宏观检查 还可以对晶圆正面进行微观检查 。 可选择另外升级喷墨打标模块用于标记在已检测的瑕疵芯片 。
主要特点
- 此设备适用于处理 6 英寸与 8 英寸晶圆检测
- 配有宏观检测 晶圆正面与背面 、 微观检测 晶圆正面
- 配有明视野 、 暗视野尼康 Nikon) 显微镜
- 配有一个标准加载端口 可容纳 6 和 8 英寸 SEMI 标准开放式晶圆匣
- 配有 4 个物镜 5 x, 10 x, 20 x 和 50 x 倍率
- 具有可编程 XY 平台 、 晶圆对准器以及电离器
- 具有可编程晶圆图功能 、 检测记录和检测报告
- Cognex 或 IOSS OCR 晶圆 ID 读取器 可 升级
- 快捷以及方便使用的 WIS 软件功能
- 油墨打标器 可 升级
- TCP IP 和 RS 232 数据接口 /SECS/GEM 数据通信 可 升级