Jiangsu JITRI Sioux Technologies Co., Ltd.

UPSSAir 气浮运动平台系统不仅选用了光栅尺，驱动器等高性能元器件，更是苏科思团队高动态性能结构与气浮轴承组件设计，低延时实时控制器开发，以及伺服控制算法优化实施的系统工程的结晶。其定位精度、重复性误差、动态稳定性可以满足28 nm先进制程的系统需求。

UPSSAir 同时提供整套减振系统解决方案。低固有频率减振器，低残差反力平衡系统，配以优化控制算法，为整机系统提供良好的工作环境。主动调平系统进一步地提高了运动台的运动精度。自动对中功能提高了上下料的安全性。

UPSSAir 采用 UPSSsMA-RT 高性能控制系统，包括针对高端应用而开发的硬件、固件、软件系统。不仅实现了 UPSSAir 的多轴联动实时控制，并可基于客户整机设计实现多子系统实时同步控制，完美契合整机对运动台的动、静态性能需求。

UPSSGlider 机械运动平台系统采用机械导轨架构，经过有限元分析以实现极致减重，并确保良好的结构刚度。这使得运动台能够实现极高的结构固有频率。配合苏科思自主研发的低延迟高带宽控制系统和先进的控制算法，实现了卓越的动态性能。

UPSSGlider 还采用了自主研发的主动减震系统，能高效隔绝地面振动，并有效消除高速运动时产生的激励，为整个系统提供稳定的工作环境。结合高性能的驱动系统和反馈系统，使得运动台达到了纳米级的稳定性。

UPSSHiRot高速旋转运动平台系统采用先进的直驱电机技术和高分辨率光栅尺，具备纳米级定位精度。X轴高刚性结构设计，大大增强了对外部的抗干扰性从而实现高精度位置控制。旋转轴可实现高转速下的低跳动。

UPSSHiRot还搭配自研控制系统保证多轴良好的同步性，从而提升检测质量与效率。另外，还可选配减震系统，提升工作环境的稳定性。

高精度自动对焦传感器，专为复杂光学系统、高产率的半导体设备定制。

苏科思科技的ATOMFocus™高精度自动对焦传感器系列，采用同轴光学测量原理，实现超高​速高精度的样品表面高度测量，可应用到​半导体前道量检测、泛半导体光学检测、激光加工等​设备中 。

UPSSsMA-RT 多轴实时控制系统是一款高性能可扩展实时运动控制产品，主要包含以下组成部分：
UPSSsMA-RT Studio | UPSSsMA-RT Controller & Algorithm | UPSSsMA-RT Servo | UPSSsMA-RT IO & PAS。

UPSSsMA-RT 控制系统采用高性能多核处理器、SoC、高速uHPO光纤总线、标准EtherCAT总线、高性能私服驱动器和IO 模块，实现至少16 轴高性能闭环控制，及纳秒级运动同步触发功能，EtherCAT 优于10KHz环路带宽，uHPO优于 40 KHz环路带宽，3环闭环优于100KHz。

UPSSsMA-RT Algorithm 基于模型开发算法，利用苏科思自研运动控制研发平台，可以快速开发与迭代出高可靠性的控制算法，有效缩短客户产品开发周期。

UPSSsMA-RT Studio 是基于web和桌面应用的可视化人机交互系统控制软件，其通用化的接口架构设计，是UPSS 系统集成、调试、测校、诊断过程中的一个高效应用，可以满足客户个性化定制需求。