GAS-ZT-10-120 搭载国奥科技自研的单动子双自由度电机解耦技术,实现单个动子同步输出直线(Z轴)与旋转(T轴)运动,双磁场无耦合干扰;配合全气浮轴承设计,替代传统机械接触,彻底消除多轴同步控制带来的精度丢失和累积误差,达成Z轴升降与T轴旋转的纳米级联动控制。
【核心技术特性】
- 单动子直线+旋转双轴复合运动
- 双轴纳米级精度
- 全气浮设计,全域无摩擦、零磨损
- 高刚性结构,抗倾覆能力强
- 模块化扩展,支持XYZT多轴联动
- 紧凑设计集成大推力、大转距、高负载
- 符合ISO 14644-1 Class 5以上半导体洁净室标准