1、高速高精度覆晶、高精度/普通模式 X/Y贴片精度:
AMH-300FC的±7um@3,角度±0.1@3;
AMH-300FC PRO ±3um@3,角度:±0.05@3
2、点胶模块:
搭载灵活的双平台银浆点胶平台,支持自定义画胶图案,支持点胶工艺;倒装模式支持蘸胶工艺。
3、晶圆上料模块:
配备自动晶圆上料模块,并且配备刹车装置
支持最大12时晶圆;
支持晶圆盘条形码扫描功能。
4、先进的视觉系统:
采用高像素,高精度光学模块识别系统;芯片背面拾取光学;
可实时观察及录像,双点胶识别光学。
5、力控系统:
高稳定的控制系统,采用音圈电机和编码器来闭环控制键合压力,范围20~5000g(依据不同配置)。
6、多功能模块:
上料模块,下料模块可独立使用;
可选配检测模块;
可选扫描基板二维码功能、基板刻字功能。