Liansheng Semiconductor Technology (Wuxi) Co.,Ltd

无锡市,  江苏省 
China
http://www.zglsee.com
  • Booth: 4127

Overview

联盛半导体科技有限公司成立于2023年 5月,是山东联盛电子设备有限公司的全资子公司,工厂地址位于江苏省无锡市锡山科创园,公司致力于半导体高端湿制程设备研发、生产与销售。

山东联盛电子设备有限公司目前已申请国家专利30 多项,其中发明专利9项,是国家高新技术企业,省级专精特新企业,公司于2016 年申请并通过ISO9001质量体系认证。并于 2020 年、2022年分别和山东大学微电子学院,青岛大学电子信息工程学院建立产学研合作,同时总经理马玉水被青岛大学聘为创新创业导师。

我们产品服务的领域包括硅材料、化合物半导体材料等,主要设备有:全自动 RCA清洗机、全自动镀镍镀金清洗机、全自动最终清洗机、全自动腐蚀减薄清洗机、全自动去边清洗机、全自动沟槽蚀刻机、全自动二氧化硅蚀刻机、炉管清洗机、CVD 前清 洗机、CDS(SDS) 系统、BClean、Oxide Remove、Nitride Remove、PR Strip、Lift Off、Particle Remove.Solvent Clean、MetalEtch、M2 Clean.

Liansheng Semiconductor Technology Co., Ltd. was established in May 2023, is a wholly-owned subsidiary of Shandong Liansheng Electronic Equipment Co.,Ltd. and the factory address is located in Xishan Science and Technology Park, Wuxi City,Jiangsu Province, the company is committed to the research and development of semiconductor high-end wet process equipment, production and sales.

Shandong Liansheng Electronic Equipment Co., Ltd. has applied for more than 30 national patents, including 9 invention patents, is a national high-tech enterprises, provincial speciality and new enterprises, the company applied for and passed ISO9001 quality system certification in 2016.And in 2020, 2022 and Shandong University Microelectronics College,Qingdao University

School of Electronic Information Engineering to establish production, learning and research co-operation, at the same time, the general manager Ma Yushui was appointed by Qingdao University as an innovation and entrepreneurship tutor.

Our products and services in the field of silicon materials, compound semiconductor materials, etc., the main equipment are: Automatic RCA cleaning machine,Automatic nickel-plated gold cleaning machine,Automatic final cleaning machine, Automatic corrosion thinning cleaning machine, Automatic de-edge cleaning machine, Automatic trench etching machine, Automatic silicon dioxide etching machine, Furnace tube cleaning machine, CVD pre-cleaning machine, CDS (SDS),BClean, Oxide Remove, Nitride Remove,PR Strip, Lift Off, Particle Remove, Solvent Clean, Metal Etch, M2 Clean.


  Products

  • Automatic Cassette Cleaner ,SDS Supply System
    1. Equipment purpose: Used for the surface cleaning process of wafer cassettes. 2. The machine is made of flame-retardant PP, which is aesthetically pleasing and durable, with a double-layer anti-leak design. ...

  • 全自动片盒清洗机
    1、设备用途:用于片盒表面清洗工艺
    2、机台整体采用阻燃PP材料,美观耐用,双层防漏。
    3、清洗能力:6/8片盒,8只/批:6/8花篮,16只/批。
    4、安全保障:完善的报警和保护设计,排风压力、液位、加热均有硬件或软件互锁,直观的操作界面清晰的信息提示,
    保障了生产、工艺控制和安全性。
    5、机台运行时间(Uptime):98%;
    6、故障维修平均时间(MTTR):<2hrs;
    7、两次故障平均间隔时间(MTBF):400hrs。
    8、控制部分采用进口品牌PLC和HMI,可带MES系统。
    9、设备设计标准按半导体行业标准执行,三体系质量管控。
    CDS/SDS系统
    1、该系统用于化学品集中和持续供应。
    2、可自动配比,空桶自动切换。
    3、运输方便,避免人工输送造成的风险。
    4、管路施工采用套管方式,杜绝漏液。
    5、故障检测警报功能:漏液检测,管道压力检测,空桶检测,流量异常检测等。
    6、系统设计标准按电子工厂化学品系统工程技术规范GB 50781-2012执行,ISO9001质量管理体系进行规范和保证。