Overview
深圳市恒歌科技有限公司，专为半导体行业提供纳米级气体过滤解决方案。
公司成立于2008年，总部位于深圳龙岗平湖半导体产业生态圈，可快速响应客户需求，并实现产业链高效协同。
恒歌半导体气体过滤器采用316L不锈钢材质滤芯，可有效拦截粒径低至3nm的颗粒，为光刻、刻蚀、薄膜沉积等关键制程，提供超高纯度气源保障。
恒歌半导体气体过滤器已实现核心部件与生产制造100%国产化，产品包括POU气体过滤器、IGS面板气体过滤器、多孔金属限流器、气体扩散器、高压气体过滤器、真空系统过滤器、T型/F型过滤器、VCR垫片式气体过滤器、大宗气体过滤器9大系列，全面覆盖从工艺端到气路终端的全场景需求。
恒歌半导体气体过滤器采用全金属结构，具备优异的耐高温与耐腐蚀性能，可在500°C高温环境下稳定运行。在保持与进口产品同等性能的基础上，恒歌凭借本土化制造与完善供应链体系，显著降低了客户的采购成本与交货周期，为国内半导体企业提供了高可靠性、高性价比的过滤解决方案。