Wuxi Haiyi Semiconductor Technology Co.,Ltd.

Wuxi Shi,  JS 
China
  • Booth: 2234

Overview

海浥科技拥有研发办公场地5000m²，主要致力于高端半导体湿法装备的研发和产业化，并提供定制化、高性能、低消耗的工艺解决方案。主要产品有单晶圆及槽式湿法清洗设备和电镀设备。
公司坚持差异化竞争和创新的发展战略，技术团队在半导体湿法装备领域拥有多年技术沉淀积累。1991年，无锡市华晶机械厂(中国华晶电子集团公司全资子公司)注册成立，是国内较早研发制造半导体湿法设备的团队之一。后集团改制，将半导体湿法设备业务剥离独立，技术团队开启了高端装备国产化的自主创业发展历程。
海浥科技是无锡市高端装备产业促进会理事单位，江苏省半导体协会会员，先后获得第三届东南大学全球校友创新创业大赛一等奖、无锡经开区“尚贤人才计划”人才项目，第十二届创业江苏科技创业大赛优秀企业。2023年与江南大学建立了“半导体湿法的制程工艺与装备技术研发”联合实验室。

  Products

  • Single Wafer Cleaning
    This series can be widely used in various front-end processes(FEOL) and back-end processes (BEOL),...

    • ·Particle removal 
    ·Metal contamination removal
    ·Organic contamination removal
    ·Photoresist Stripping
    ·FEOL and BEOL
    ·Oxideetching and removal
    ·Al interconnect cleaning
    ·Cuinterconnect cleaning

    ·4 Loadport
    ·8 Chambers
    ·Chemicals: DHF,SC1,SC2.DI03.DICO2,IPA,N2
    ·Backside Protection
    ·Bath Replenishment
    ·Heating Control
    ·Concentration Control
    ·Flow Rate Control
    ·Pressure Control
    ·SECS/GEM Communication

Categories

207 Equipment, Process
  • Cleaning; Washing; Drying Equipment for Substrate, Fab Processing
    • Loading ...

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