Amcoss GmbH

Leusbundtweg 49a
Feldkirch,  6800

Austria
http://www.amcoss.com
  • Booth: A4119


Coaters/developers & engineering for microsystems technology

amcoss GmbH is an innovative high-tech company operating in the semiconductor and microsystems technology market. amcoss stands for years of experience in the field of wafer and substrate coating and developing. The company designs and builds spin coaters and developers not only for standard, but also for complex, specialized applications. We also offer alternative, individually prepared plug-and-play heat exchangers and chillers for the use with Neslab, AMAT and LAM equipment. Moreover, amcoss has surpassing expert knowledge in optics and mechatronics. We design, manufacture and repair hiqh-quality components, including refurbishment of special coatings for photolithography, RTP, CVD, EPI, coating, metrology and plasma.

amcoss´s headquarters is located in Austria, from where the company sells its products and services all over the world. There you will also find the R&D department with its laboratory, equipped with very special, high-precision measuring devices and a cleanroom attached. Our experts design and build components, develop processes and carry through professional refurbishments and measurements. amcoss is on a worldwide scale cooperating with strong, specialized partners.


 Press Releases

  • Feldkirch, Österreich. Neben den Spin Coatern und Developern der amc-Serie entwickelt und produziert die amcoss GmbH eine Reihe von Anlagen und Geräten für Spezialanwendungen in Produktionsprozessen oder auch für kleine Stückzahlen in Laboren oder Einzelfertigungen.

    amcoss Einzelmaschine für HMDS-Bedampfung

    Bei der HMDS-Bedampfung stoßen herkömmliche Coater-Anlagen verfahrenstechnisch sehr oft an ihre Grenzen. Die amc hmds200 Anlage hingegen ist eine eigens für die HMDS-Adhäsion – auch in MEMS-Anwendungen - entwickelte Batch-Maschine. Ein sehr großer Vorteil ist die Kassettenstation, die in zwei Kassetten insgesamt 50 Wafer bis zu einer Größe von 8 Zoll aufnehmen und gleichzeitig dem HMDS-Prozess zuführen kann. Im Vergleich zur Einzelprozessierung erhöht sich der Durchsatz dadurch enorm, was die Wirtschaftlichkeit spürbar erhöht. Außerdem ist eine Beschädigung der Beschichtung, die durch das Einzelwaferhandling entstehen kann, ausgeschlossen. Zwei Detektoren erkennen und registrieren zur Lotüberwachung die Anzahl der Kassetten.

    In der aus Edelstahl gefertigten HMDS-Prozesskammer ist ein HMDS-Verdampfer mit kontrolliertem N2-Fluß integriert. Außerdem wird der HMDS-Gehalt ständig überwacht und es erfolgt eine kontrollierte Absaugung. Dank dieser Features ist der Prozess jederzeit kontrollier- und beherrschbar, was die Sicherheit erhöht und Fehlproduktionen sowie Ausschuss und somit Fehlerkosten senkt. Gesteuert wird der gesamte Prozess über die bereits langjährig bewährte amcoss amc-Software, die auch in den amc Belackern zum Einsatz kommt. Mit ihr ist eine zuverlässige Prozesskontrolle und einfache, komfortable Rezepterstellung möglich.

    amcoss Temperiergeräte der amh-Serie

    Die amcoss GmbH bietet mit Temperiergeräten der amh-Serie kostengünstige Lösungen für das Heizen bzw. Kühlen von Ätzprozessen in AMAT und LAM Anlagen. Die OEM-Temperiergeräte sind sehr teuer, oder - je nach Alter der jeweiligen Ätzanlage – auf dem Markt nicht mehr zu bekommen. Alternativgeräte sind oft nur mit aufwändigen, individuell ausgearbeiteten Anpassungen durch die Anwender selbst einsetzbar. Hier kommen die Heat Exchanger und Chiller von amcoss ins Spiel: mit allen amh-Geräten bieten wir komfortable Plug & Play-Lösungen, d.h. unmittelbar betriebsbereite Geräte, die nur eingesteckt werden müssen und sogleich funktionieren.

    Die amcoss-Geräte ersetzen zum Einen die Temperiergeräte Neslab Steelhead 0 und 1, AMAT 0 und 1 Heat Exchanger sowie Neslab Endura im Temperaturbereich von 30° bis 95°C. Zum Anderen sind sie eine Alternative zum LAM Dual Loop sowie AMAT Centura Chiller Neslab HX 150 und HX 300 im Temperaturbereich von 4° - 40°C.
    amcoss setzt proprietäre Datenschnittstellen und weitere individuell auswählbare Ausstattungsmerkmale ein. Mit allen Temperiergeräten des Typs amh profitieren amcoss Kunden mehrfach: sie erhalten flexibel an ihre Prozessanforderungen angepasste Geräte, sparen Zeit und Geld, da keine Adaptionen selbst vorgenommen werden müssen, aufwändige Beschaffungsprozesse entfallen und amcoss-Geräte deutlich günstiger zu haben sind, als die Originalchiller.

    amcoss amc r&d Belacker für die Einzel- und Kleinstmengenfertigung

    Für die Beschichtung von Wafern im Durchmesserbereich von zwei Zoll bis 450 mm in Kleinstmengen, beispielsweise in Laboren für Forschung und Entwicklung, bietet amcoss den amc r&d Spin Coater und Developer mit manueller Substrathandhabung. Hier werden die gleichen qualitativ höchstwertigen Prozessmodule, wie in den vollautomatischen Belackern der amc-Serie verbaut. Es fehlt einzig der Roboter für das Waferhandling. Die Art und Anzahl an Prozessmodulen bestimmt der Kunde, so dass jede Anlage einzigartig ist und genau den Kundenanforderungen entspricht. Das integrierte Wafer-Zentrierungs-System ist manuell bedienbar. Mit der „Reduzierung auf das Wesentliche“ kann die amcoss GmbH mit dem amc r&d Belacker eine Anlage anbieten, die auch für die geringe Stückzahlen einen wirtschaftlichen Betrieb zulässt.

    amcoss GmbH
    Leusbundtweg 49a
    6800 Feldkirch

    phone     +43 5522 209 50
    telefax    +43 5522 209 50-9

    office@amcoss.com
    www.amcossmaterials.com
    www.amcoss.com

    Pressekontakt:

    Petra Brandenburg
    phone     +43 5522 209 50-41
    petra.brandenburg@amcoss.com

  • Feldkirch, Austria. Besides its amc-series spin coaters and developers amcoss GmbH also develops and produces equipment and devices for special applications in production processes, for single-unit production or small-lot fabrication in laboratories.

    amcoss single machine for HMDS adhesion

    Conventional coating equipment often will meet their limits when it comes to HMDS adhesion. amcoss amc hmds200 (a batch machine) on the contrary, has been explicitly developed for HMDS adhesion - even for MEMS applications. One of its great advantages is the carrier station, which holds up to 50 wafers (8 inch maximum) within two carriers that can all be processed at the same time. Compared to single-wafer-processing, output – and consequently – profitability, can be increased enormously. Besides, coating damages, very frequent in single-wafer-handling, can be excluded. There are two lot-control sensors that detect and register the number of carriers.

    The HMDS stainless steel process chamber has got an integrated HMDS vaporizer with controlled N2 flow. Furthermore, HMDS concentration is being constantly monitored and exhaustion controlled. Thanks to these features the process can be monitored and controlled at all times which increases security and reduces defective production, reject and nonconformity costs at the same time. Our longtime proven amc software which is also used in the amc coaters controls the whole process. It guarantees reliable process control and simple, comfortable recipe writing.

    amcoss amh series temperature control units

    With its amh series temperature control units amcoss GmbH offers economic solutions for heating or cooling of etching processes in AMAT and LAM equipment. OEM temperature control units are very costly or – depending on the age of etching equipment – no longer available in the market. Alternative equipment can only be used after laborious and individual modifications by the users themselves. That is where amcoss enters the stage: with all our amh-devices we offer comfortable plug & play solutions – immediately operable devices, which only need to be plugged in to function instantly.

    amcoss devices on the one hand replace temperature control units such as Neslab Steelhead 0 and 1, AMAT 0 and 1 Heat Exchangers and Neslab Endura in a temperature range between 30°C and 95°C. On the other hand they are an alternative to LAM Dual Loop as well as AMAT Centura Chillers Neslab HX 150 and HX 300 in a temperature range between 4°C and 40°C.   

    amcoss uses proprietary interfaces and other configurational features that can be individually chosen. With all amh temperature control units amcoss customers do profit in various ways: they will receive flexible devices tailored to their individual process requirements, they will save time and money because they don´t have to do any adaptations themselves, there are no longer any time-consuming sourcing processes and amcoss equipment is more economic than original chillers.

    amcoss amc r&d coaters for single-item or small-lot production

    For the coating of wafers in the diameter range of 2 inches up to 450mm for small lot production, as for example in r&d laboratories, amcoss offers the amc r&d spin coater and developer with manual substrate handling. These coaters are being equipped with the same high-quality processing modules as the fully automated coaters of the amc series except for the wafer handling robot. Type and number of processing modules is determined by the customer, so that every device will be individual and adjusted to the customers´ needs. The integrated wafer-centring-system can be handled manually. With its r&d coater and "reduction to the essential" amcoss GmbH is able to offer an equipment that allows cost-effective operation even at small quantities.

    amcoss GmbH
    Leusbundtweg 49a
    6800 Feldkirch

    phone     +43 5522 209 50
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    www.amcossmaterials.com
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  • amcoss GmbH, Leusbundtweg 49a, 6800 Feldkirch, Austria
    Company owner/director:  Dipl.-Ing. David Marcel Erne
    Founding year:                  2008
    Legal form:                       GmbH - limited liability corporation
    Industrial sector:               Microsystems Technology, Semiconductor Technology, Wafer Processing, Spin Coating & Developing

    amcoss in general - overview

    amcoss GmbH is an innovative high-tech company operating in the semiconductor and microsystems technology market. It is located in an industrial region dominated by small and medium-sized businesses in the most western part of Austria. amcoss stands for years of experience in the field of wafer and substrate coating and developing. The company designs and builds spin coater and developer not only for standard, but also for complex, specialized applications. Moreover, amcoss has surpassing expert knowledge in optics and mechatronics. We design, manufacture and repair hiqh-quality components, including refurbishment of special coatings for photolithography, RTP, CVD, EPI, coating, metrology and plasma. An additional field of activity are individually prepared heat exchanger and chiller which are instantaneously ready for use in the customer´s machine due to compatible interfaces. Well known manufacturers in the semiconductor and microsystems technology business are our customers.

    amcoss´s headquarters is located in the city of Feldkirch, in the Austrian province of Vorarlberg, from where the company sells its products and services all over the world. There you will also find the R&D department with its laboratory, equipped with very special, high-precision measuring devices and a cleanroom attached. Our experts design and build components, develop processes and carry through professional refurbishments and measurements. amcoss is on a worldwide scale cooper­ating with strong, specialized partners in order to develop high-end components and solutions.

    Competence Portfolio

    Our competences in substrate coating_

    // Development and production of spin coating and development equipment for the
       photolithography industry
    // Development of process modules
    // Software-design
    // Development of innovative equipment features
    // Development and production of special equipment (HDMS, R&D)

    Our competences in optics_

    // Production of plane and curved optical components
    // Thin-film-coating with plasma-assisted coating technologies
    // Electro-plated and electro-less metal coatings
    // Strip coating and reworking of used components

    // Assembly of optical components
    // Testing (spectrophotometer, interferometer)
    // Product-specific test setups
    // Pyrometer calibration
    // Design of optical parts

    Our competences in engineering and assembly_

    // Mechanical design
    // Electrical and software engineering
    // Spin coating and functional coatings (e.g. wear resistant)
    // Bonding techniques
    // Ceramic thick-film technologies
    // Coordinate measuring technologies
    // X-Ray fluorescence
    // Electron microscopy with EDX
    // Assembly and testing

    Product Portfolio

    amcoss equipment for substrate coating and development_

    // Spin coater and developer amc 1000+, amc 2000+, amc 2500, amc r&d
    // amc hmds 200 equipment for HMDS adhesion
    // Coating & development
    // Hotplate / Coolplate
    // Cleaning
    // Customer specific equipment
    // R&D equipment
    // Laboratory hotplate
    // Chiller & tempering units

    amcoss engineering components_

    // Variety of filters (e.g. I-line filter, G-line filter, sub-I-line filter, uniformity filter, gradientfilter),   
       lenses (e.g. condenser lenses, corrector lenses, input lenses, zoom lenses, fly´s eye lenses) and
       mirrors for Canon, Nikon, ASML and Ultratech equipment
    // Wafer-chucks for lithography, coating and other applications
    // Optical fibres either of glass or sapphire
    // Hotplates
    // Metal, plastic or ceramics precision parts
    // Wafer handlers, wafer end-effectors, dispense nozzles
    // Optical coatings, protective coatings preventing deterioration and corrosion

    amcoss repair service_

    // Lamp house optics for G- and I-line steppers, scanners, and mask-aligners
    // Canon and Nikon shutters and motors
    // Canon stepper chucks and ASML wafer tables
    // Zygo and HP lasers
    // Robots and controllers
    // Spin-motors
    // Reflector-plates for RTP
    // UV-reflectors for curing and CVD
    // RTP bearings
    // Gold reflectors for EPI and RTP
    // EPI Centura
    // Lenses from Canon and Nikon
    // Spot Cures / lamp houses
    // Calibration of pyrometers and tempmatch-tools
    // Beamsplitters
    // Optical Isolators
    // Wafeplates
    // Calibration pins
    // Vacuum arms
    // Gold sleeves

    amcoss GmbH
    Leusbundtweg 49a
    6800 Feldkirch

    phone     +43 5522 209 50
    telefax    +43 5522 209 50-9

    office@amcoss.com
    www.amcossmaterials.com
    www.amcoss.com

    Pressekontakt:

    Petra Brandenburg
    phone     +43 5522 209 50-41
    petra.brandenburg@amcoss.com

  • Feldkirch, Austria. amcoss GmbH, an Austrian High-Tech company offers specialized, but at the same time highly flexible equipment for cost-optimized spin coating and developing of wafers and other substrates with photosensitive resists or other, particularly viscous, substances.

    "With our amc machines we do not only realize perfectly individualized process solutions according to our customers´ needs, we also offer maximum cost savings and excellent return on investment at the same time. With amcoss there is no "either-or" - our customers do not have to choose between optimized processes with highest product quality and a positive cost-benefit calculation - at amcoss they receive both at first hand", explains amcoss CEO David Erne.

    Modular, flexible, customised – spin coaters & developers of the amc series

    The sophisticated product features of amc coaters and developers are laid out to perfect precision and therefore process quality, to increase performance and to reduce production costs. Such features are for example, wafer centering "on-the-move" without the need of a separate positioning station, servo- controlled axles for individual dispense rates and paths, as well as the handling of many different substrate and wafer types without retrofit.

    Beside all these aspects another important feature is flexibility. Every customer has got the opportunity to choose their own individual machine configuration from a broad range of coater-, developer- and temperature-modules, various options of distance control and other optional devices. "Only our basic platforms will be the same for all customers, but there is no standard machine configuration", says David Erne. For the amc machine series we offer three sizes of compact basic platforms for a different number of processing modules to be equipped with: amc 1000+, amc 2000+ and amc 2500.

    Moreover, every machine can be retrofitted or modified whenever necessary. For this purpose, every machine is designed to be equipped with further processing modules or hotplates. In various cases customers have already taken advantage of this feature.

    amcoss machines are very secure and user-friendly, a fact, that goes without saying. So, it is with our open-programmed amc-software. It is probably the heart of our amc coaters and developers and is unrivalled as far as functionality and handling are concerned. Even for more extensive process adaptations no expert programming knowledge is necessary and simple and comfortable recipe creation is possible. A user-friendly and self-explaining user-interface underlines easy operation for the staff concerned. Operators are able, with a few button-clicks, to teach their amc equipment without the help of a software expert because all relevant teaching options are already covered by the software platform.

    amcoss amc r&d coaters for single-item or small-lot production

    For the coating and developing of wafers in the diameter range of 2 inches up to 450mm for small lot production, as for example in r&d laboratories, amcoss offers the amc r&d spin coater and developer with manual substrate handling. These coaters are being equipped with the same high-quality processing modules as the fully automated coaters of the amc series except for the wafer handling robot. Type and number of processing modules is determined by the customer, so that every device will be individual and adjusted to the customers´ needs. The integrated wafer-centring-system can be handled manually. With its r&d coater and "reduction to the essential" amcoss GmbH is able to offer an equipment that allows cost-effective operation even at small quantities.

    amcoss GmbH
    Leusbundtweg 49a
    6800 Feldkirch

    phone     +43 5522 209 50
    telefax    +43 5522 209 50-9

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    www.amcossmaterials.com
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    Pressekontakt:

    Petra Brandenburg
    phone     +43 5522 209 50-41
    petra.brandenburg@amcoss.com

  • Feldkirch, Österreich. Das österreichische High-Tech-Unternehmen amcoss GmbH bietet spezialisierte, aber dennoch hochflexible Anlagen für das kostenoptimierte Belacken und Entwickeln von Wafern und anderen Substraten mit lichtempfindlichen Fotolacken oder anderen, insbesondere auch zähen Substanzen.

    „Mit unseren amc Anlagen realisieren wir für unsere Kunden nicht nur perfekt auf individuelle Anforderungen ausgerichtete und flexibel anpassbare Verfahrens- und Prozesslösungen, sondern ermöglichen dies gleichzeitig bei maximaler Kosteneinsparung und hervorragendem Return-on-Investment. Mit amcoss gibt es kein „Entweder-Oder“ – unsere Kunden müssen sich nicht zwischen optimierten Prozessen mit höchster Produktqualität und einer positiven Kosten-Nutzen-Kalkulation entscheiden – bei uns bekommen sie beides kombiniert aus einer Hand.“, erläutert CEO David Erne.

    Modular, flexibel, kundenspezifisch – Spin Coater & Developer der amc-Serie

    Die ausgeklügelten Produktmerkmale der amc Belacker und Entwickler sind darauf ausgelegt, die Präzision und somit die Prozessqualität zu perfektionieren, den Durchsatz zu erhöhen und Produktionskosten zu reduzieren. Einige Beispiele sind die Wafer-Zentrierung „on-the-move“ direkt vor dem Prozesstopf ohne separate Positionierstation, die Achsen mit servogesteuerter Positionierung für individuelle Dispense-Raten und –Pfade sowie das Handling vieler verschiedener Substrat- und Wafertypen ohne Umbau.

    Neben diesen Aspekten ist auch die Flexibilität ein wichtiges Thema. Jeder Kunde hat die Möglichkeit, die Maschinenausstattung individuell aus einer großen Anzahl an Beschichtungs-, Entwickler- und Temperaturmodulen, diversen Optionen zur Distanzkontrolle und anderen optionalen Modulen zu wählen. „Die Basisplattformen sind am Ende das Einzige, was bei unterschiedlichen Kunden identisch ist. Einen Standard in der Maschinenkonfiguration gibt es bei uns nicht.“, erklärt David Erne. In der amc-Maschinenserie stehen drei verschieden große, kompakte Basisplattformen für eine unterschiedliche Anzahl an montierten Prozessmodulen zur Verfügung: amc 1000+, amc 2000+ und amc 2500+.

    Darüber hinaus kann Spin Coater und Developer zu jedem beliebigen Zeitpunkt verändert oder aufgerüstet werden. Dazu ist jede Anlage standardmäßig so vorbereitet, dass weitere Prozessmodule und Hotplates einfach eingebaut werden können. Bereits mehrfach haben sich Kunden von amcoss Anlagen nach dem Kauf dazu entschieden und konnten von diesem Feature enorm profitieren.

    Dass die amcoss amc Anlagen besonders sicher und anwenderfreundlich sind, versteht sich nahezu von selbst. Dazu gehört auch die offen programmierte amc-Software. Sie ist eines DER Herzstücke der amc Belacker und in Funktion und Handhabung unerreicht. Selbst bei größeren Prozessänderungen ist kein Spezialprogrammierwissen notwendig und eine einfache und komfortable Rezepterstellung machbar. Eine benutzerfreundliche und selbsterklärende Oberfläche unterstreicht die einfache Bedienbarkeit durch den Maschinenführer. Dieser kann mit ein paar wenigen Button-Clicks die Maschine ohne die Hilfe eines Softwareexperten selbst teachen, da alle  relevanten Teaching­möglichkeiten bereits in derselben Software-Plattform abgedeckt sind.

    amcoss amc r&d Belacker für die Einzel- und Kleinstmengenfertigung

    Für die Beschichtung und Entwicklung von Wafern im Durchmesserbereich von zwei Zoll bis 450 mm in Kleinstmengen, beispielsweise in Laboren für Forschung und Entwicklung, bietet amcoss den amc r&d Spin Coater und Developer mit manueller Substrathandhabung. Hier werden die gleichen qualitativ höchstwertigen Prozessmodule, wie in den vollautomatischen Belackern der amc-Serie verbaut. Es fehlt einzig der Roboter für das Waferhandling. Die Art und Anzahl an Prozessmodulen bestimmt der Kunde, so dass jede Anlage einzigartig ist und genau den Kundenanforderungen entspricht. Das integrierte Wafer-Zentrierungs-System ist manuell bedienbar. Mit der „Reduzierung auf das Wesentliche“ kann die amcoss GmbH mit dem amc r&d Belacker und Entwickler eine Anlage anbieten, die auch für die geringe Stückzahlen einen wirtschaftlichen Betrieb zulässt.

    amcoss GmbH
    Leusbundtweg 49a
    6800 Feldkirch

    phone     +43 5522 209 50
    telefax    +43 5522 209 50-9

    office@amcoss.com
    www.amcossmaterials.com
    www.amcoss.com

    Pressekontakt:

    Petra Brandenburg
    phone     +43 5522 209 50-41
    petra.brandenburg@amcoss.com


 Products

  • amcoss amc spin coaters and developers
    amc spin coaters and developers from amcoss are specialized, but at the same time highly flexible machines for cost-optimized coating and developing of wafers and other substrates with photosensitive resists or other, particularly viscous, substances....

  • The amc spin coater and developer series dispose of three differently sized, compact basic platforms serving for a varying number of assembled processing modules: amc 1000+, amc 2000+ and amc 2500+. Every customer may choose their individual configuration from a wide range of coating, developer or temperature control modules, diverse options for distance control and other optional modules. Future adaptions are possible at any time. Furthermore, the radial, three-dimensional positioning of all tools enables a very compact design of the amc machines, a fact that helps to save expensive cleanroom space.

    The sophisticated product features of the amc coating machines are for example wafer centring “on-the-move” directly in front of the processing bowl without separate positioning station, axles with servo-controlled positioning for individual dispense rates and paths, as well as the flexible handling of very different substrate types without any machine modification.

    Servicing is also extraordinarily simple and the machines are very secure: the electronic system is comfortably accessible from the back of the machine, bowls and hotplates can be removed easily. A clear separation of the electronic and media systems prevents any machine failure due to leakage.

  • amcoss amc Spin Belacker und Entwickler
    amc Spin Coater und Developer von amcoss sind spezialisierte, aber dennoch hochflexible Anlagen für die Beschichtung und Entwicklung von Wafern und anderen Substraten mit lichtempfindlichen Fotolacken oder anderen, insbesondere auch zähen Substanzen....

  • In der amc-Maschinenserie stehen drei verschieden große, kompakte Basisplattformen für eine unterschiedliche Anzahl an montierten Prozessmodulen zur Verfügung: amc 1000+, amc 2000+ und amc 2500. Jeder Kunde wählt seine individuelle Ausstattung aus einer großen Anzahl an Beschichtungs-, Entwickler- und Temperaturmodulen, diversen Optionen zur Distanzkontrolle und anderen optionalen Modulen. Zukünftige Anpassungen und Umbauten sind jederzeit einfach umsetzbar. Die radiale, dreidimensionale Anordnung aller Werkzeuge ermöglicht außerdem ein sehr kompaktes Design der amc-Maschinen, was teure Reinraumfläche spart.

    Die perfekt durchdachten Produktmerkmale der amc-Belacker, wie beispielsweise die Wafer-Zentrierung „on-the-move“ direkt vor dem Prozesstopf ohne separate Positionierstation, die Achsen mit servogesteuerter Positionierung für individuelle Dispense-Raten und –Pfade sowie das flexible Handling vieler verschiedener Substrat- und Wafertypen ohne Umbau, unterstützen den Anwender dabei, die Verfahrensziele zu erreichen.

    Außergewöhnlich sind Servicefreundlichkeit und Sicherheit der Maschinen: die Elektronik ist von der Hinterseite der Maschine leicht zugänglich, Töpfe und Hotplates können einfach ausgebaut werden. Die klare Trennung von Medienführung und Elektronik verhindert Ausfälle durch Leckage.

  • amcoss single machine for HMDS adhesion
    Conventional coating equipment often will meet their limits when it comes to HMDS adhesion. amcoss amc hmds200 (a batch machine) on the contrary, has been explicitly developed for HMDS adhesion - even for MEMS applications...

  • One of the great advantages of the hmds200 machine is the carrier station, which holds up to 50 wafers (8 inch maximum) within two carriers that can all be processed at the same time. Compared to single-wafer-processing, output – and consequently – profitability, can be increased enormously. Besides, coating damages, very frequent in single-wafer-handling, can be excluded. There are two lot-control sensors that detect and register the number of carriers.

    The HMDS stainless steel process chamber has got an integrated HMDS vaporizer with controlled N2 flow. Furthermore, HMDS concentration is being constantly monitored and exhaustion controlled. Thanks to these features the process can be monitored and controlled at all times which increases security and reduces defective production, reject and nonconformity costs at the same time. Our longtime proven amc software which is also used in the amc coaters controls the whole process. It guarantees reliable process control and simple, comfortable recipe writing.

  • amcoss amh heat exchangers and chillers
    The amh temperature control units are economic solutions for heating or cooling of etching processes in AMAT, LAM and Neslab equipment. They are a real alternative for OEM chillers that are very costly or no longer available in the market....

  • Alternative temperature control equipment can often only be used after laborious and individual modifications by the users themselves. That is where amcoss enters the stage: with all our amh-heat exchangers and chillers we offer comfortable plug & play solutions – immediately operable devices, which only need to be plugged in to function instantly.

    amcoss devices on the one hand replace temperature control units such as Neslab Steelhead 0 and 1, AMAT 0 and 1 Heat Exchangers and Neslab Endura in a temperature range between 30°C and 95°C. On the other hand they are an alternative to LAM Dual Loop as well as AMAT Centura Chillers Neslab HX 150 and HX 300 in a temperature range between 4°C and 40°C.

    amcoss uses proprietary interfaces and other configurational features that can be individually chosen. With all amh temperature control units amcoss customers do profit in various ways: they will receive flexible devices tailored to their individual process requirements, they will save time and money because they don´t have to do any adaptations themselves, there are no longer any time-consuming sourcing processes and amcoss equipment is more economic than original chillers.

  • amcoss amc r&d coater and developer
    For the coating and developoing of wafers in the diameter range of 2 inches up to 450mm for small lot production, as for example in research & development laboratories, amcoss offers the amc r&d spin coater and developer with manual substrate handling....

  • This compact coating and developing equipment is being equipped with the same high-quality processing modules as the fully automated coaters of the amc series except for the wafer handling robot. Type and number of processing modules is determined by the customer, so that every device will be individual and adjusted to the customers´ needs. The integrated wafer-centring-system can be handled manually. With its r&d coater and "reduction to the essential" amcoss GmbH is able to offer an equipment that allows cost-effective operation even at small quantities.

  • amcoss amh Temperiergeräte und Chiller
    Die Temperiergeräte der amh-Serie sind kostengünstige Lösungen für das Heizen bzw. Kühlen von Ätzprozessen in AMAT, LAM und Neslab Anlagen. Sie sind eine Alternative für OEM-Temperiergeräte die sehr teuer, oder auf dem Markt nicht mehr zu haben sind....

  • Alternative Temperiergeräte sind oft nur mit aufwändigen, individuell ausgearbeiteten Anpassungen durch die Anwender selbst einsetzbar. Hier kommen die Heat Exchanger und Chiller von amcoss ins Spiel: mit allen amh-Geräten bieten wir komfortable Plug & Play-Lösungen, d.h. unmittelbar betriebsbereite Geräte, die nur eingesteckt werden müssen und sogleich funktionieren.

    Die amcoss-Geräte ersetzen einerseits die Temperiergeräte Neslab Steelhead 0 und 1, AMAT 0 und 1 Heat Exchanger sowie Neslab Endura im Temperaturbereich von 30° bis 95°C. Andererseits sind sie eine Alternative zum LAM Dual Loop sowie AMAT Centura Chiller Neslab HX 150 und HX 300 im Temperaturbereich von 4° - 40°C

    amcoss setzt proprietäre Datenschnittstellen und weitere individuell auswählbare Ausstattungsmerkmale ein. Mit allen Temperiergeräten des Typs amh profitieren amcoss Kunden mehrfach: sie erhalten flexibel an ihre Prozessanforderungen angepasste Geräte, sparen Zeit und Geld, da keine Adaptionen selbst vorgenommen werden müssen, aufwändige Beschaffungsprozesse entfallen und amcoss-Geräte deutlich günstiger zu haben sind, als die Originalchiller.


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