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PACE-Tec GmbH

Am Niegenhirschwald 3
Furtwangen,  78120

Germany
http://www.pace-tec.de
  • Booth: B0704


Welcome to Pace-Tec, your partner for customized wetbenches

Your competent partner customized wetbenches

PaceTec GmbH is a medium-sized company specialized on customized process solutions for all kind of wet treatments from manual to fully automated systems. Our expertise is based on decades of experience in customized machine design for wet- chemical process equipment in the hightech industries. We cover all kind of processes needed in the semicondictor business like etching, SC1/SC2 cleaning, RCA cleaning, etching, Stripping, Developing, drying from the simple chemical workbench to the fully automated wetbench. 

Ihr kompetenter Partner für kundenspezifische Nassbänke

Die PaceTec GmbH ist ein mittelständisches Unternehmen, welches sich auf die kundenspezifische Prozessautomatisierung von Nassbänken fokussiert hat. Unsere Expertise gründet auf jahrzehntelanger Erfahrung im Sondermaschinenbau für nasschemische Prozessanlagen inHigh-Tech Branchen Wir unterstützen Sie bei Ihrer SC1/SC2 Reinigung, RCA- Reinigung, Ätzen, Entwickeln, Strippen und Trocknen von Wafern. 


 Products

  • Automatisierte Nassbank/ Automatic wetbench
    Nassbank zur Waferbehandlung: - automatisiertes Handling - verschiedene Prozessrezepte - FM4910 Material - Prozessüberwachung wetbench for wafer treatment: - automatic handling - different process recipes - usage of FM4910 material - process monitoring...

  • Automatisierte Nassbank zur Waferbearbeitung für folgende mögliche Applikationen:

    • SC1/SC2- Reinigung
    • RCA- Reinigung mit HF Dip
    • Ätzen
    • Entwickeln
    • Oberflächenreinigung
    • Teilereinigung
    • Lift- Off
    • Strippen

    Automized wafer treatment wetbench for following possible applications: 

    • SC1/2- Cleaning
    • RCA- Cleaning with HF- dip
    • Etching
    • Development
    • Surface cleaning
    • Parts cleaning
    • Lift- Off
    • Stripping
  • Medienversorgung/ media supply
    Medienversorgung inkusive Verrrohrung bis hin zur Nassbank Media supply including piping to wetbench...

  • Wir bieten die komplette Medienversorgung einer Halbleiterfabrik inklusive der Verrohrung vom Medienkabinett bis zur Verbrauchsstelle an. Unsere Medienkabinette sind sowohl für IBC, Fässer wie auch Kaniszer ausgelegt. Ausserdem besteht die Möglicheit kleine Gebinde direkt in die Nassbank zu integrieren. 

    We offer complete media supply for a semiconductor factory including piping from media cabinet to consumption point. Our media cabinets can handle IBC, canisters, or barrels. Additonally smaller bottles can be integrated into the machine with supply sytsem. 

  • Manuelle Nassbank/ manual wetbench
    Unsere manuellen Nassbänke spiegeln exakt Ihre Anforderungen wieder und überzeugen durch vollkomme Flexibilität. Our customer specific wetbenches cover all your requirements and convince with full flexibility....

  • Unser kundenspezifischen Nassbänke sind an Ihren Bedürfnissen ausgerichtet. 

    Ideal:

    • in der Entwicklung
    • bei geringem Output
    • langen Prozesszeiten
    • volle Flexibilität

    Our customer specific wetbenches are designed to fulfil your individual requirements. 

    Ideally for:

    • R&D 
    • low output requirements
    • long processing times
    • full flexibility
  • halbautomatisierte Nassbank/semiautomatic wetbench
    Unsere halbautomaischen Nassbank vereint die Vorteile eines Digestoriums mit denen einer automatiserten Nasssbank. Our semiautomatic wetbench combies the advantages of a manual wetbench with the ones from an automatic wetbench....

  • In unseren halbautomatischen Nassbänken werden Prozesse sowohl manuell wie auch automatisert durchgeführt. Ein Kundebeispiel war das Ätzen von Wafern mit HF (Flusssäure). In den ersten Becken war die HF Konzentration noch gering, daher konnte dies manuell gelöst werden. In den letzten beiden Becken war die HF- Konzentration aber hoch und dem Kunden war dies zu riskant für seinen Mitarbeiter. Nun hängt der Mitarbeiter die Wafer- Carrier in das 2- Achs- Handlingsystem und der Ätzprozess mit Agitation startet automatisch und wird nach definierter Zeit im DI-Wasser beeendet. 

    In  our semiautomtaic wetenches processes are performed manually as well as automatic. A customer example was the etching of wafers with HF (hydrofluoric acid). In the first process baths the HF- concentration was low, so it could be realized manually. In the last two process baths the HF- concentration was much higher und the customer was anxious about operator safety. Now the operator places the wafer carriers into a 2- axis handling system and the etching process with oscilattion starts automatically and ends after defined time in the DI-bath. 


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