PACE-Tec GmbH

Wir bieten Ihnen verschiedene Systeme zur Medienversorgung an: Medienkabinette für IBC, Fässer, Kanister sowie die Medienversorgung integriert in die Nassbank. Auch übernehmen wir für Sie die Verrohrung zwischen der Medienversorgung und der Nassbank .

We offer different systems for media supply: media cabinetts for IBC, barrels, canisters as well as machine integrated media supply. We also take over the piping from media supply to the wetbench. 

Automatisierte Nassbank zur Waferbearbeitung für folgende mögliche Applikationen:

• SC1/SC2- Reinigung
• RCA- Reinigung mit HF Dip
• Ätzen
• Entwickeln
• Oberflächenreinigung
• Teilereinigung
• Lift- Off
• Strippen

Automized wafer treatment wetbench for following possible applications:

• SC1/2- Cleaning
• RCA- Cleaning with HF- dip
• Etching
• Development
• Surface cleaning
• Parts cleaning
• Lift- Off
• Stripping

In unseren halbautomatischen Nassbänken werden Prozesse sowohl manuell wie auch automatisert durchgeführt. Ein Kundebeispiel war das Ätzen von Wafern mit HF (Flusssäure). In den ersten Becken war die HF Konzentration noch gering, daher konnte dies manuell gelöst werden. In den letzten beiden Becken war die HF- Konzentration aber hoch und dem Kunden war dies zu riskant für seinen Mitarbeiter. Nun hängt der Mitarbeiter die Wafer- Carrier in das 2- Achs- Handlingsystem und der Ätzprozess mit Agitation startet automatisch und wird nach definierter Zeit im DI-Wasser beendet. 

In  our semiautomtaic wetbenches processes are performed manually as well as automatic. A customer application was etching of wafers with HF (hydrofluoric acid). In the first process baths the HF- concentration was low, so it could be realized manually. In the last two process baths the HF- concentration was much higher und the customer was worried about operator safety. Now the operator places the wafer carriers into a 2- axis handling system and the etching process with oscillation starts automatically and ends after defined time in the DI-bath. 

Unser kundenspezifischen Nassbänke sind an Ihren Bedürfnissen ausgerichtet. 

Ideal:

• in der Entwicklung
• bei geringem Output
• langen Prozesszeiten
• volle Flexibilität

Our customer specific wetbenches are designed to fulfil your individual requirements. 

Ideally for:

• R&D 
• low output requirements
• long processing times
• full flexibility