Der Partikelzähler Chem 20™ von Particle Measuring Systems überwacht Partikel in Chemikalien mit einer Empfindlichkeit von 20 nm. Er eignet sich für mikroelektronische Prozesse, bei denen hochreine Chemikalien erforderlich sind, und bietet sowohl Online- als auch Probenüberwachung. Zu den Funktionen gehören die Erkennung von Blasen, Leckagen und stabilen Daten für zuverlässige Prozesskontrolle. Der Chem 20 hilft Ingenieuren, Partikelquellen frühzeitig zu identifizieren, um Prozessausfälle zu vermeiden.
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