Es gibt nur wenige Technologieanbieter, die ihren Kunden Lösungen zur hochpräzisen Oberflächenbearbeitung für die gesamte Bandbreite der Anforderungen in Halbleiteranwendungen bieten können. Die VON ARDENNE Gruppe ist ein solcher Anbieter, denn sie bündelt die Kompetenzen ihrer Unternehmen wie eine Linse das Licht.
Sie sind Spezialisten für die wichtigen Schlüsseltechnologien und Prozesse: Ionenstrahlätzen, Elektronenstrahlverdampfen und Magnetron-Sputtern. Damit ist die Gruppe in der Lage, Lösungen zur präzisen Oberflächenbearbeitung für Anwendungen mit einfachen optischen Anforderungen bis zu Hochpräzisionsoptiken anzubieten, von der Micro- bis zur Makro-Optik.
Zwei Unternehmen der VON ARDENNE-Gruppe – die VON ARDENNE GmbH und die scia Systems GmbH – stellen vom 18. bis 21. November bei der Semicon Europa 2025 in München aus. Beide bieten ein breites Technologieportfolio mit Ionenstrahl- und Plasmaprozessen und modernste Anlagen zum präzisen Beschichten und Strukturieren von Oberflächen.
Die Anwendungen für diese Technologien sind vielfältig: hochreflektierende und Antireflexbeschichtungen, Formfehlerkorrektur bei Röntgen- und Teleskopspiegeln, Strukturieren von optischen Gittern für Augmented Reality (AR)-Brillen, Interferenzschichten für AR-/VR-/XR-Komponenten, Beschichtungen für Head-Up-Displays, Filterschichten für die Halbleiterelektronik oder die Erzeugung von Mikrostrukturen für Photonische Integrierte Schaltkreise (PICs).
VON ARDENNE stellt hochpräzise Beschichtungsanlagen für optische und halbleitertechnische Anwendungen auf bis zu 300 Millimeter breiten Substraten vor
Mit der OPTA X-Plattform bietet VON ARDENNE eine industrielle Beschichtungslösung für anspruchsvolle optische Filter, dielektrische Spiegel und metallische Wechselschichtsysteme höchster Präzision auf Substraten in unterschiedlichsten Größen und Geometrien. Im Fokus standen dabei zunächst optische Komponenten mit bis zu 200 Millimetern Durchmesser.
Um der Nachfrage nach präzisionsoptischen Beschichtungen für größere Bauteile gerecht zu werden, wie sie etwa in den Bereichen Halbleiter (Advanced Packaging, piezoMEMS, Wafer-Level-Optik, Filter-on-Chip), Unterhaltungselektronik (AR/VR/XR), oder Automotive (HUD, Interieur-/Display-Glas) benötigt werden, bietet VON ARDENNE die OPTA X jetzt auch für 300 mm Beschichtungsbreite an – als OPTA X300. Auf Kundenwunsch kann diese außerdem mit EFEM- und FOUP-Port für halbleiterindustriekompatibles Wafer-Handling ausgestattet werden.
Durch die fortschrittliche Prozesstechnologie der OPTA X lassen sich extrem genaue Schichtdicken erzielen, typischerweise mit weniger als ±0,25 % Abweichung. Eine weitere Besonderheit ist, dass mit dieser Genauigkeit abgeschiedene interferenzoptische Beschichtungen zeitgleich auf der Vorder- und Rückseite des optischen Bauteils aufgebracht werden können. Dadurch lässt sich die Produktionszeit erheblich verkürzen.
Die OPTA X lässt sich optimal in industrielle Produktionsabläufe integrieren. Das liegt auch daran, dass sie mit einem optischen Monitoringsystem für In-situ-Prozessüberwachung und Qualitätskontrolle sowie umfassender Softwaresteuerung und Automatisierung für eine kontinuierliche Bauteilbestückung ausgestattet ist.
scia Systems präsentiert Ionenstrahl- und Plasmatechnologien zur effizienten und präzisen Bearbeitung von Photonisch Integrierten Schaltkreisen (PIC)
Die scia Systems GmbH, der Technologieführer für hochgenaue, komplexe Ionenstrahl- und Plasmaprozessausrüstung in der Mikroelektronik-, MEMS- und Präzisionsoptikindustrie, präsentiert auf der Semicon Europa die neuesten Prozesslösungen zum Beschichten und Strukturieren basierend auf fortschrittlichen Ionenstrahl- und Plasmatechnologien. Im Fokus stehen dabei die Beschichtung und Formfehlerkorrektur von Röntgenoptiken, die Strukturierung von optischen Gittern für AR-Brillen und die Erzeugung von Mikrostrukturen für Photonische Integrierte Schaltkreise (PICs).
Innovationen im Bereich PICs sind für den Fortschritt der Quantentechnologie von grundlegender Bedeutung und haben das Potenzial, unsere zunehmend datenorientierte Welt immens zu verändern. Das exponentielle Wachstum des Datenverkehrs wird durch Megatrends wie das Internet der Dinge (IoT), 5G und Cloud Computing vorangetrieben. Es sind daher neuartige Lösungen gefragt, die Bandbreite, Effizienz und Geschwindigkeit verbessern. PICs gewinnen zunehmend an Bedeutung, da sie die Möglichkeit bieten, Daten mit optischer Geschwindigkeit zu verarbeiten und zu übertragen, gleichzeitig den Energieverbrauch im Vergleich zu herkömmlichen elektronischen Schaltkreisen deutlich zu senken.
Die in PICs enthalten photonische Komponenten wie Wellenleiter, Laser, Modulatoren und Detektoren wurden zur Manipulation und Übertragung von Lichtsignalen entwickelt. Dies ermöglicht eine schnelle Datenübertragung und reduziert Signalverluste über große Entfernungen.
Eine der entscheidenden Bearbeitungstechnologien für die Fertigung von PICs ist das Ionenstrahlätzen. Es ermöglicht die Herstellung dreidimensionaler optoelektronischer Mikrostrukturen für PICs, wie beispielsweise Wellenleiter und andere optische Komponenten mit Genauigkeiten im Nanometer-Bereich.
Auch das Ionenstrahltrimmen kommt bei der effizienten Herstellung von PICs zum Einsatz. PICs bestehen aus einer Vielzahl von aktiven und passiven optischen Schichten. Die jeweilige Schichtdicke hat einen erheblichen Einfluss auf die optische Leistung. Mittels Ionenstrahltrimmen wird die Schichtdicke im Nanometerbereich korrigiert. Dies minimiert unter anderem die optische Streuung und erhält die Phasenkohärenz, die für die Effizienz und Stabilität photonischer Bauelemente entscheidend ist und gewährleistet somit einen konsistenten und leistungsstarken Betrieb des PIC-Bauteils.
Zudem kann die Oberfläche von PIC-Bauelementen mittels Ionenstrahl poliert werden. Dies führt zur Verbesserung der Mikro-Rauheit, minimiert Defekte und steigert somit die Ausbeute und Zuverlässigkeit der PIC-Elemente.
scia Systems bietet angepasste Systemlösungen und Fertigungstechnologien für die Bearbeitung von PICs. Die scia Trim Systeme sind für die Korrektur von Schichtdicken und für das Polieren von optischen Oberflächen bestens geeignet. Für die Herstellung optischer Mikrostrukturen kommen die scia Mill Systeme zum Einsatz. Beide Anlagentypen sind je nach Ausbaustufe sowohl für die industrielle Volumenproduktion als auch für Forschung und Entwicklung bestens geeignet und kommen bei Kunden in der Präzisionsoptikindustrie zum Einsatz.
Die VON ARDENNE-Gruppe auf der Semicon Europa 2025
Datum:
18. bis 21. November 2025
Ort:
scia Systems & VON ARDENNE: Stand B1470
Über die Unternehmen der VON ARDENNE-Gruppe
VON ARDENNE GmbH
VON ARDENNE entwickelt und fertigt Anlagen für die industrielle Vakuumbeschichtung von Materialien wie Glas, Wafern, Metallband oder Polymerfolien. Unsere Kunden nutzen diese Materialien zur Herstellung hochwertiger Produkte wie Solarzellen, Architekturglas, Brennstoffzellen, oder mikroelektronische Komponenten für Sensorik und Optik. Mit mehr als 60 Jahren Erfahrung in der Elektronenstrahltechnologie und 50 Jahren Erfahrung im Magnetron-Sputtern ist VON ARDENNE ein Pionier und weltweit führender Anbieter von Anlagen und Technologien in der PVD-Dünnschicht- und Vakuumprozesstechnik. Weitere Informationen finden Sie auf der Website des Unternehmens unter www.vonardenne.de.
Kontakt
VON ARDENNE GmbH
Falk Iser
Tel.: +49 351 2637 300
E-Mail: [email protected]
scia Systems GmbH
Das 2013 gegründete Unternehmen scia Systems ist der Spezialist für Dünnschicht-Prozessequipment basierend auf komplexen Ionenstrahl- und Plasmatechnologien. Das Chemnitzer Unternehmen entwickelt und fertigt Anlagen für Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungsprozesse mit Nanometerauflösung. Die Systeme kommen weltweit in verschiedenen High-Tech-Branchen zum Einsatz, darunter in der Mikroelektronik-, MEMS- und Präzisionsoptikindustrie. Weitere Informationen finden Sie auf der Website des Unternehmens unter www.scia-systems.com.
Kontakt
scia Systems GmbH
Mandy Gebhardt
Tel.: +49 371 33561 322
E-Mail: [email protected]