通过自主研发技术提供一系列气体、液体质量流量控制器产品以及其他定制产品。泛应用于半导体、FPD、PV以及其他精密测量行业
我们的特点
-提供高性能和长寿命的质量流量控制器
-汽化系统的先驱-CVD，PEALD，涂料等。
-提供多种定制产品
质量流量控制器及液体汽化供应系统
质量流量控制器（Mass flow controller, 简称MFC）是高精度地控制在半导体制造和液晶面板制造工序中使用的各种气体及液体的质量流量的装置，并且是IC和液晶制造中不可或缺的关键装置。由于液体和气体的流量不是通过体积而是通过质量（重量）来控制，因此可以在不依赖于温度和压力的情况下以极高的精度控制流体。 液体汽化器是有效汽化由MFC控制的液体的设备，也是下一代半导体材料供应技术中的关键设备。 这些设备不仅广泛用于制造半导体和液晶面板，还广泛用于流体控制和流量控制方面，例如燃烧气体的控制、燃料电池，以及各种分析仪、气体监测仪等。
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