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EDWARDS是服务于全球的真空和尾气处理解决方案制造及供应厂商。我们服务于半导体、平板显示、可再生或存储能源、科学、制药和冶金等先进行业。EDWARDS以提供创新性、高质量产品闻名于世，作为真空和尾气处理系统的标杆企业，EDWARDS志在与行业同步，创造能让创新蓬勃发展的工业环境。更多信息，请浏览www.edwardsvacuum.cn
EDWARDS致力于为半导体加工提供卓越的解决方案。
我们的干泵系列为您提供先进的真空技术，旨在增强您的半导体和电子制造环境。 每个系列都经过专门设计，在稳定性和灵活性方面都具有很大优势，能适应从轻型到严苛的各种工艺需求。
我们的尾气处理系统同样业内领先，帮助您去除毒害气体，保护全球环境。
我们的服务遍世界各大半导体工厂，旨在满足现有和开发工艺的特定要求。
我们了解流程和应用，专注开发维持生产力和降低风险的解决方案，致力于提高工艺过程的正常运行时间、产量、吞吐量和安全合规性，同时通过减少环境排放和延长产品生命周期。
XH系列干泵是引领严苛制成能力的全新标杆产品，采用模块化设计，可满足当今一切工艺，如PECVD、ALD Hi-k、 PECVD Low-k、SACVD、SiN、TiN、Epitaxy、GaN等严苛半导体制造工艺。
功能和效益：
专为绿色制造而生的全新系列干泵。
工艺：