English
吉兆源是国内高端射频电源研发生产制造企业,其研发团队2005年组建。拥有北京、天津、成都等多处研发生产中心。产品广泛应用于刻蚀设备、薄膜沉积、等离子清洗、半导体晶圆制造、键合封装等多个关键环节领域。已自主研发出上百款产品,是多家设备制造企业核心供应商。
为了满足不同领域客户的多样化需求和建设方案,吉兆源科技能够根据客户需求进行精准设计匹配,提供高度个性化的定制服务。
兆源是国内高端射频电源研发生产制造企业,其研发团队2005年组建。拥有北京、天津、成都等多处研发生产中心。产品广泛应用于刻蚀设备、薄膜沉积、等离子清洗、半导体晶圆制造、键合封装等多个关键环节领域。公司核心团队深耕射频电源领域多年,现已自主研发出上百款产品。产品已在多家设备厂商实现量产,是多家设备制造企业核心供应商。
整机功率密度高,支持连续波、脉冲、多级脉冲的工作模式; 同时支持外部同步,响应速度快;
可应用于半导体工业。该电源主要应用对象包括: 刻蚀、ICP、 PECVD、等离子清洗、等离子体增强、感应加热
高效的功率输出,紧凑的结构设计 完善的保护功能:过压、过流、过温、反射功率保护
可应用于等离子体清洗、溅射镀膜、PECVD、刻蚀、等离子体增强、感应加热等领域。