Boyue Instruments (Shanghai) Co., Ltd.

探针式轮廓仪/台阶仪 - Dektak Pro

技术成熟、性能增强

Dektak Pro 

       Dektak Pro™ 以其多功能，使用的便捷性和准确的精度在薄膜厚度、台阶高度、应力、表面粗糙度和晶圆翘曲测量方面广受赞许。第十一代Dektak®系统，具有4 Å重复性的优异表现，并提供200毫米平台选项，在科研以及工业领域中可以为材料的表面形貌提供各种分析。在表面测量方面，Dektak Pro是微电子技术、薄膜与涂层和生命科学应用的理想选择。

更准确的精度

       在探针式轮廓仪测量中，探针针尖沿表面移动，获得沿轨迹每个点的高度信息，从而实现高分辨率的表面形貌分析。探针式轮廓仪测量因其高精度和低成本而广受认可，新研发的技术进步进一步提高了速度和多功能性，以满足精密工程应用不断变化的需求。

强大的性能和重复性

       Dektak Pro以其强大的分辨率、稳定性、稳健性和耐用性，确保在未来数年甚至数十年内提供可靠的优质结果。新型号在Dektak平台上继承创新，提供更高的分辨率、更低的噪声和更便捷的探针更换，所有这些因素对于优化系统的重复性和准确性至关重要。

       在适当的环境下，Dektak Pro甚至能够测量1纳米的台阶高度，并在1微米台阶高度标准上实现优于4 Å的重复性。

性能体现在细节之中

       Dektak Pro的单拱设计有效降低了对不利环境条件（如噪声和震动）的敏感性，同时又可容纳大尺寸样品测试。新一代的智能电子技术应用更大限度地减少了温度变化和电子噪声，从而减少了高精度测量中的误差和不确定性。

       低惯量传感器（LIS 3）使系统能够快速适应表面形态的突然变化，在动态测量场景中保持准确性和响应性。探头更换技术通过自对准探头夹具，消除了错位和系统重新校准的需要，轻松完成探头更换，耗时不到一分钟。

快速获取结果

       Dektak Pro采用直驱扫描平台技术，这一先进的扫描平台技术大大减少了测量的时间而不影响分辨率和噪声底，从而加快了3D形貌或长轮廓扫描的结果获取速度，同时保持优异的数据质量和重复性。

       Vision64®软件采用64位并行处理技术，即使面对大数据也能实现快速的数据处理。此外，自动化的多次扫描分析操作简化了重复性任务，增强了速度和便捷性。

更简便的操作

       数据收集在Bruker的Vision64软件中进行，该软件具有简化的图形用户界面，结合了智能架构、直观的可视化工作流程和丰富的用户自定义自动化功能。Dektak Pro进一步改善了数据收集体验，具体体现在：

●     更小的光学畸变，使整个视野都保持清晰聚焦，方便快速定位感兴趣测试位置

●     单一测量头可覆盖1 nm至1 mm的台阶高度和1至15 mg的负载（在N-Lite+模式下可低至0.03 mg），无需重新校准

●     简单的操作员图形用户界面，用于自动化测量设置并简化操

扩展您的分析能力

       Vision64中的数据分析器通过数据过滤、自动调平、自动台阶检测和recipe能力，使分析变得更加强大而简单。

•     台阶高度

       Dektak Pro强大的新台阶高度算法为各种复杂的表面轮廓测量提供可靠且全面的结果。其自动化分析程序还能够更大限度地减少了用户对台阶高度计算的影响，提高了数据解释的一致性和客观性。

•     表面粗糙度和波纹

       Dektak Pro提供了一种高性价比且用户友好的解决方案，以高精度量化表面粗糙度、纹理和波纹度。多种探针规格、用户可定义的探针力（1–15 mg，使用N-Lite+可低至0.03 mg）和可达1mm的垂直测量范围使得在各种表面上的测量成为可能。

•     2D应力测量

       借助Dektak Pro，用户在2D应力分析中拥有强大的控制力。通过用户定义的异常点去除和拟合边界，可以实现更可重复、更高精度的应力测量。

•     晶圆翘曲测绘和3D应力测量

       准确评估由膜应力引起的变形对于开发可控工艺和制备高质量器件至关重要。Dektak Pro准确测量可能导致变形、开裂和层间剥离的膜应力。

全面的应用环境

       Dektak Pro 满足研发、工艺开发以及当前和未来质量保证/质量控制（QA/QC）的需求，适用于多种工业和研究应用，包括：

•  微电子

   监测沉积和刻蚀过程

   测量器件和传感器高度

   评估沟槽深度

•  薄膜与涂层

   验证眼镜上的UV/硬化涂层

   优化水龙头/配件上的装饰涂层

   分析油漆或墨水涂层厚度

•  生命科学

   分析生物材料的厚度

   评估生物传感器的表面形貌

   表征微流体通道

布鲁克Bruker 手持式X射线荧光光谱仪 XRF

S1 TITAN

       布鲁克手持式X射线荧光光谱仪 S1 TITAN系列是一款采用了非破坏性的X射线检测技术的手持式元素检测设备，元素检测范围可达Mg – U（标准款的检测范围为Ti - U）。内置有丰富的牌号数据库，涵盖各项国际标准。可测试样品种类多种多样，无论是合金金属、贵金属、大型零件、矿石、土壤、艺术品、油画、孩童玩具、珠宝等成品，还是如块状固体、液体、流体、胶状、粉末琐屑、大气颗粒物、各种镀层等样品，S1 TITAN都能快速而准确的为您取得结果。

      S1 TITAN全系列配置具备布鲁克技术的石墨烯窗口SDD探测器，有效提高了轻元素的（Mg、AI、Si等）的检测灵敏度，使设备能够在更短的检测时间里获得更高的检测精度。全新优化的光管几何技术（SharpBeam™）能够让设备在检测时产生更清晰明确的测量点，改善测量精度，有效减少游离辐射，提升设备使用寿命。

      S1 TITAN的重量不大于1.5kg (3.3 lbs)，采用人体工学设计的枪形把手及扳机开关，适合长时间或者频繁次数的使用，彩色触控型液晶屏幕在任何光线下都能清晰显示。全系列标配TITAN Detector Shield™(TDS)防扎检测器、摄像头和小点聚焦功能(lntegrated Camera& Small Spot Colimator)、SMART Grade"智能检测技术、SharpBeam™优化光束几何技术等，使得S1 TITAN能够成为一款功能强大、技术完善、设计卓越、精度准确的元素分析工具。

设备特点：

◆ 广泛的元素检测范围:

这款手持式X射线荧光光谱仪 S1 TITAN有多种型号可供选择，标准款支持Ti（22）钛-U（92）铀之间的元素检测范围，高端款支持Mg（12）镁-U（92）铀之间的元素检测范围。  

◆ 低检测限：

S1 TITAN手持式光谱仪的元素含量的检测限可达PPM级。

◆ 新一代石墨烯窗口SSD探测器：

更高的灵敏度，检测性能、分析速度和检测精度。

◆ 专业的防扎探测器:

采用不影响分析效能且坚固的探测器窗口防扎保护措施，可有效避免异物或者尖锐样品对探测器的刺穿扎破而引起的不必要的损失。

◆ 牌号快速分级技术（Smart Grade）:

内置丰富的牌号数据库，在对样本进行检测时，能够快速识别样本牌号，并且可根据客户需求随意添加牌号库。

◆ 优化的光管几何技术:

有助于产生更清晰明确的测量点，改善测量精度，提高产品的使用寿命，并有效减少游离辐射。

◆ 内置摄像头和小点准直器

提供可视化的样本和检测点，定位更准确；更小的光斑测量区域，突出检测细微特征。

◆ 坚固的构造及外壳

防护等级达到IP64，防水防尘，适合室内外使用。

更多优势

◆ 齐全的应用领域

适用于包括合金、贵金属、矿石、土壤、油品、建材、RoHS、食品、化妆品、锂电池、化肥和动物饲料等多种应用领域中的常量和微量元素的检测分析。

◆ 丰富的牌号数据库

内置800+（等级定义）分级数据库，涵盖各项国际标准，包括国标，德标，日标及其他标准。

◆ 更贴合应用环境的测量曲线

出厂时会根据客户的实际应用来调整测量曲线，确保更准确的测量结果。

◆ 简单易用的快速检测

仅需开机-对准样品-扣下扳机后，即可在几秒内获取准确的测量结果。

◆ 自校准功能

开机后无需等待即可测量

◆ 简洁的操作页面

简体中文页面，使用简单方便

◆ 数据存储和处理

测量谱线和数据可自动存储，也可用USB线、普通U盘或蓝牙等多种方式传输到计算机中生成可编辑的测量报告

应用领域：

·  合金

    能够定性定量的分析合金中的金属与非金属元素，可支持从Mg镁到U铀之间的所有元素的检测分析，包含大多数合金族群的高准确度特定类型校正。可配置大容量的金属牌号库，适用于材料可靠性鉴别（PMI）。

·  贵金属

    适用于检测黄金、铂金等贵金属的金属含量及牌号（如24K Gold等），可根据要求配置贵金属合金优化设定，显示合金等级ID及克拉（karat）。

·  矿石

    S1 TITAN轻便牢固，简单易用，检测快速精准。IP64防护等级，可在具有挑战的环境下使用，适用于采矿、地质探勘、尾矿分析、级别控制及钻探等户外环境的应用。。

·  土壤重金属检测

    在野外无需制样，能够直接对土壤进行快速、准确的测量分析如Pb、As、Cd、Hg、Cu、Ni、Zn、Cr等重金属元素，并可自定义各种污染元素的警戒标准。设备可GPS全程定位，满足如美国环保局EPA6200技术要求及RCRA法案要求。

· 金属回收

    快速确定废旧金属的牌号以及金属元素类型和含量，帮助用户能够快速估算废料价值，有效提高废旧金属的辨别和分拣效率，机体牢固耐候，可在较为恶劣的环境下使用。

·  锂电池

    可以快速精准的检测锂电池（NCM523、NCM622、NCM811、NCM333或其他小三元等）中金属元素（Ni, Co, Mn）的含量及占比。

·  建材检测

    适用于水泥、营造及建筑等行业，设备可用于分析石灰、水泥、石膏等建筑材料。此项校准仅适用于800及600型。

·  RoHS检测

    可用于RoHSⅠ/Ⅱ消费性产品（如玩具、纺织品、电器、家具等）的筛检。用户可通过预设的自动模式或自选校准模式，使用设备对塑料、中密度材料以及IEC与用户定义的限定金属等样品进行检测。

·  油品分析

    能够快速准确的分析出润滑油、柴油、喷气燃料、煤油、其它蒸馏油、挥发油、液压油、残油、原油、无铅汽油、生质柴油和其他类似的石油产品中的硫和其他多种元素的含量。

·  镀层测厚

    S1 Titan能够根据客户的使用需求，增配多种镀层测厚功能曲线，实现Ag/Cu，Sn/Cu等多种镀层测厚功能。

·  元素面密度应用(mg/cm²)：涂料,汽车制造和能源电池

    分析工业涂料，汽车制造以及氢能源电池等应用中，测试每范围内（mg/cm²）中的元素浓度，如Pb，Zr，Cr，Pt，Si，P等。

·  化妆品检测

    能够分析化妆品中的重金属 ( Hg、Pb、As等 )含量。

·  食品安全：金属材质分析，异物溯源

    检测食品、包装以及直接接触食物的金属是否符合安全标准。设备包含合金曲线可以对样品或碎屑进行牌号识别、可靠性鉴定，溯源，追踪等。适用于受限材料分析。包含多重校准标样。

·  三元催化检测 

    分析催化转化器中的Pt、Pd、Rh元素含量。

·  化肥和动物饲料应用

    可用于对化肥中的元素进行分析；动物饲料中的配比和元素分析,比如：P，Ca的分析。

·  空气滤膜和除尘擦

    可用于检查空气滤膜中过滤中和的有害元素以及除尘擦中的铅含量。包含一个多重滤膜校准测试标样。

·  更多应用

    Bruker能够根据客户的特殊需求来定制专用的应用曲线。

应用案例：

·  合金应用 - 模具钢

    布鲁克手持式光谱仪非常适合于合金方面的应用。以模具钢为例，设备可以快速准确地分析模具钢原材料中的各种元素含量，从而快速的判定出各种模具钢原材料牌号，确保材料的质量和性能。

    通过对不同批次的模具钢原材料进行成分分析，生产方可以在质量保证检测中正确鉴别原材料，避免因原材料问题而导致的成品质量问题。

·  地矿应用 – 矿产普查

    在矿产普查中，地质工作者需要在整个矿区的范围内进行考察，采样、分析、绘图等工作，使用手持式光谱仪对整个矿场进行采样测试，能够显著提高工作效率。

    布鲁克的手持式X荧光光谱仪功能齐全，具有GPS定位功能，不仅能够快速准确的完成矿区检测，同时还能与GPS定位系统整合绘图。

    以上图为例，设备根据检测结果完成了以Ni元素为根据的区域分布浓度趋势图，有效帮助地质勘探人员能够快速提取矿产赋存位置、丰度等信息，为后续的矿产详查及开采提供指导意见。

·  土壤应用 - 土壤重金属检测

    适用于检测土壤中的主要元素含量，如土壤养分或重金属含量，包括受污染土壤的现场测试及EPA6200所规定的开垦作业等，能够快速测定重金属元素，如As、Cd、Cr、Cu、Pb、Hg、Ni、Zn等，并可根据需要拓展测定某些轻元素。

    在统计土壤的净化效率时，能够使用手持式光谱仪来实时检测土壤、植物和生物中有害金属元素的吸收情况，表征生物或植物进行土壤净化的效率(如柳树对Cd、Cr、U的吸收，高粱对Cd、Pb、As的吸收)

BRUKER 微区X射线荧光光谱仪 Micro-XRF

 M4 TORNADO 

      Bruker M4 Tornado 微区X射线荧光光谱仪可用于对大块、不均匀、不规则，甚至小件的样品和包裹物进行高灵敏度、非破坏性的元素分析 (Na11-U92) ，是研究样品成分分析、成分分布规律的新利器，可以给学者从宏观、微观、微宏观结合等多个角度提供新的研究思路。

      采用多导毛细管聚焦镜将激发光聚焦到非常小的区域 (<20um) ，以获得良好的空间分辨率，进行元素成像分析。不同类型的样品都可以通过简单的样品制备甚至不制备直接进行分析。设备输出高精度的元素分布图分辨率可高达4000万像素，7168*5582 pixels。孔径管理系统（AMS）可以获取大景深，对表面不平整样品分析具有优势。

应用案例

1、材料科学

      应用于薄膜镀层厚度及均匀性研究；纳米薄膜中金属颗粒掺杂的成分以及分布成像；还可以对金属表面离子腐蚀、涂层工艺元素分布进行识别；合金样品成分梯度的表征；探测器芯片等电子部件的质量控制与故障检测，量化触点与焊接点的元素识别与失效性分析。

2、电路板

      基于布鲁克的孔径管理系统（AMS），M4 TORNADO的场深度更深。普通设备的标准多导毛细管聚焦在电路板上，元件的高点失焦，显得模糊，而在AMS系统加载下图像显示高景深，组件聚焦在更大的景深范围内。能够在扫描电路板的X射线图像时获得更多的细节。此外，由于激发X射线光子的入口和出口角度减小，光束能量依赖性变得不那么明显。

3、植物环境应用

      微区X射线荧光光谱仪设备可以快速的对不同种类的动、植物样本进行无损扫描，适时观测植物样品的根、茎、叶、花、种子中元素迁移过程，不同阶段元素含量变化以及元素成像分析;可同时开展土壤重金属污染监控，植物营养学及抗逆性研究，昆虫形态学研究，生物组织相容性研究等。
      利用微区XRF分析水稻叶片，通过野生型和多个突变体的P元素运移富集规律，确定了几种SR蛋白作为磷营养元素的关键调节因子，并显示了三个SR蛋白编码基因调控水稻磷的吸收和茎叶间的迁移。

4、科技考古

      考古研究中，X射线荧光光谱主要是测定古物中的成分，进而推断和判断当时的人类社会文化。微区X射线荧光光谱分析不仅提供定量数据还可以直观给出成分分布数据。主要应用于陶瓷、青铜器、金银器、古建筑、字画颜料、古建筑等文物的成分分析。
      利用微区XRF分析新石器时代早期的白陶，从白陶样品断面 Ca 元素分布看出白陶内壁有明显的结层，钙元素的富集区域正好对应于样品内壁的结层位置，说明这层残留物应该是富含钙质的水垢类物质。这揭示了白陶在新石器已经作为实用器。

5、地球科学领域

      微区X射线荧光光谱仪是地球化学方向的重要分析仪器，主要用于岩石、陨石、化石等样品进行无损高速扫描与元素分布成像，以及矿物识别、定量及分类。
      利用微区XRF分析地质薄片或矿石原石，可以获取薄片表面的元素分布规律，同时可以利用专业软件，获取矿物分布的信息，从而获得样品成分分布的宏观规律。

6、混凝土

      利用微区XRF分析混凝土，可以清晰的看出Cl元素的分布及侵入深度。可以根据元素的分布情况获取有害元素的种类及侵蚀情况，对材料的结构性进行评估，以及结构强度修复提供数据支撑。

三维光学轮廓仪/白光干涉仪

ContourX-200

ContourX-200 光学轮廓仪具有强大的表征能力，支持可选定制配件，使用方便，是一款测量准确、可重复性高的非接触式光学三维表面计量系统。设备设计简约，占用空间小，配置了大视场的5百万像素摄像头和新型电动XY载物台，具有强大的二维/三维高分辨测量能力。

ContourX-200 拥有出色的 Z 轴分辨率和精确度，具备布鲁克专有的白光干涉（WLI）技术广受业界认可的所有优势，而且不存在传统共聚焦显微镜和同类普通光学轮廓仪的局限性。

更高性能的表面计量能力

• 与放大倍率无关的卓越Z轴分辨率
• 更大尺寸的标准视场
• 稳定集成防震设计

 卓越的测量与分析功能

• 易于使用的界面，可快速准确地获得结果
• 自动化功能，更适用于日常测量和分析
• 广泛的滤镜和分析工具选项，用于粗糙度和关键尺寸测量分析
• 满足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等标准在内的定制化分析报告

卓越的计量技术

基于超过 40 年的 WLI（白光干涉技术） 自主研发成果，ContourX-200 光学轮廓仪能够满足定量计量所需的低噪声、高速、准确度和精确度等需求。通过使用多种物镜和特征图案识别功能，设备可以在多种视野内以亚纳米垂直分辨率来跟踪特征，从而提供不受放大倍数影响的结果，可用于各种不同行业中的质量控制和过程监控应用。

稳定性能和创新的硬件设计

ContourX-200 在反射率 0.05% 到 100% 的表面情况下都能发挥稳定性能。创新的硬件设计环境，包括为获取更大拼接而创新设计的工作台，5百万像素摄像头，采用1200x1000 测量阵列，能够实现低噪声、更大视场和更高横向分辨率。

广泛的应用分析能力

全新的通用扫描干涉（USI）测量模式可提供全自动、自感知表面纹理、优化信号处理等功能，同时对所分析的表面形貌执行准确的计算。

系统的新型摄像头提供了更大的视野，新型电动XY平台提供了更灵活定位能力，为各种样品和零件提供了更大的适用性和更高的测试通量，使ContourX-200能够在软硬件上进一步的有效结合，展现了卓越的光学性能和强大的计量分析能力。

先进的操作和分析软件

ContourX-200采用强大的 VisionXpress™ 和 Vision64 分析软件，具备更易于使用的界面和简洁的功能，提供超过千种的定制分析参数，可访问多种预编程滤镜和分析工具，适用于精密加工的表面，如薄膜、半导体、眼科、医疗设备、MEMS和摩擦学等领域的测量分析，有效提升实验室或工厂的效率。

应用案例

半导体

ContourX-200是一款自动化的非接触式晶圆级计量系统，可用于提高半导体在前端和后端制造过程的产量并降低成本，执行CMP后的模具平面度检查，凸起高度、共面性和缺陷的识别与分析，测量构件结构的关键尺寸等。

光学  

通过精确且可重复的亚纳米粗糙度测量，能够更好地了解缺陷形成的根本原因，并优化抛光和精加工工艺。ContourX系列的非接触式光学轮廓仪能够满足越来越严格的规范和ISO标准，适用于从小型非球面和自由曲面光学器件到复杂几何形状的光学元件，再到衍射光栅和微透镜等。

精密工程

保持精密工程零件的表面纹理和几何尺寸在严格的规格限制内，在监控、跟踪、评估过程以及评估GD&T合规性时，提供有效的反馈和报告。

MEMS和传感器

适用于高通量、高度可重复的蚀刻深度、薄膜厚度、台阶高度和表面粗糙度的测量，以及MEMS和光学MEMS的临界尺寸计量。光学轮廓仪可以在从晶圆到测试的整个制造过程中，甚至通过透明封装来表征器件的特性。

摩擦学

测量、分析和控制摩擦、磨损、润滑和腐蚀对材料/部件性能和寿命的影响。可制定定量磨损参数，并对检测范围内的光亮、光滑或粗糙表面进行快速的合格/不合格检查。

骨科/眼科

在整个产品的生命周期内，对植入物的材料和部件进行精确、可重复的测量。布鲁克的WLI（白光干涉）光学轮廓仪能够为研发、QA和QC分析提供支持，应用范围涵盖镜片和注塑模具的表面参数表征、医疗设备的表面光洁度验证和磨损情况检测等。