ハイデンハイン

千代田区,  東京都 
Japan
http://www.heidenhain.co.jp/
  • 小間番号2321


半導体製造に適したハイデンハインの高精度位置決め技術をご紹介します。

ハイデンハインの半導体製造・検査装置向けソリューションとして、リニアエンコーダ「LIP シリーズ」、「LIC 4100シリーズ」、「LIDA 400シリーズ」、角度エンコーダモジュール「MRPシリーズ」、そして真空対応エンコーダなど、お客様の幅広いニーズに応えた製品を各種出展いたします。


 出展製品

  • LIC 4100シリーズ
    高精度および長尺計測用アブソリュートオープンタイプリニアエンコーダ 各種高速シリアルインターフェース対応...

  • METALLUR アブソリュートコードトラック付

    ガラスセラミック、ガラス、またはスチールスケールテープ

    精度等級 ~± 1 μm

    最高分解能 1 nm

    最大測定長 28m

    最高走査速度 10 m/s

    インターフェース EnDat 2.2

    ファナック、三菱、パナソニック、安川

  • LIP 6000シリーズ
    小型で限られた取付けスペースにも対応する超高精度インクリメンタルリニアエンコーダホーミング機能とリミットスイッチ機能搭載 ...

  • OPTODUR位相格子付き Zerodur ガラスセラミック

    信号周期 4 μm

    精度等級 ± 1 μm、± 3 μm

    推奨分解能 2 nm

    最大測定長 3040 mm

    インターフェース 1VPP、TTL

  • MRP 5000シリーズ
    高精度のベアリングとエンコーダを一体化した角度計測モジュール製品...

  • 貫通型の中空シャフトを搭載、シャフト径35mm

    アブソリュートタイプとインクリメンタルタイプあり

  • ERP 1000シリーズ
    小型で軽量・低慣性モーメントの高精度角度エンコーダ 全周角、部分角バージョンあり ...

  • OPTODUR位相格子付きガラスディスク

    信号周期/回転 23000~63000

    目盛精度 ± 4” ~± 0.9”

    インターフェース 1VPP、TTL

  • LIDA 400シリーズ
    長尺計測用インクリメンタルオープンタイプリニアエンコーダ...

  • METALLUR 目盛格子付

    ガラスセラミック、ガラス、またはスチールスケールテープ

    精度等級 ~± 1 μm

    推奨分解能 1 μm~0.05 μm

    最大測定長 30 m

    インターフェース 1VPP、TTL

    ステータスLED搭載


 追加情報

初出展/New Exhibitor
Yes
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, その他/Other, 太陽光発電(PV)/Photovoltaic, プラスチック/有機/プリンテッドエレクトロニクス/Plastic/organic/flexible electronics, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor