西村ケミテック

大阪市天王寺区堂ヶ芝1丁目,  大阪府 
Japan
http://www.nishimura-ct.co.jp/
  • 小間番号5309


西村ケミテックは半導体用薬品、装置等を取り扱っております。 実機の展示もいたしますので、是非一度ご来場ください。

西村ケミテックは半導体用薬品、装置等を取り扱っております。

実機の展示もいたしますので、是非一度ご来場ください。

弊社ブースにおいては、アイテムを10つ紹介させて頂きます。

1:Forth-Rite(米)エンドポイントディテクター

2:スラリー/ケミカル希釈供給システム

3:Unisem(韓)排ガス除害装置およびチラー

4:LOT VACUUM製(韓)ドライポンプ(真空ポンプ)

5:Husem(韓) ヒートジャケット

6:興福電子(中) エッチング液、リン酸、フッ酸、硫酸等高純度薬液

7:OCI(韓) 高純度薬液

8:MTI(韓) HYPER PRO(ウェハー Saw工程の薬液、洗浄液)

9:NvisANA(韓)ICP-MS , OCIM

10:Lanxess(韓)有機金属材料(TMG・TMA・TMI・TEG)

LOT VACUUM(韓)ドライポンプ(真空ポンプ)/ Unisem(韓)排ガス除害装置/ Forth-Rite社(米)エンドポイントディテクター/スラリー/ケミカル希釈供給装置/ LOT VACUUM(韓)ドライポンプ(真空ポンプ)/ HUSEM(韓) ヒータージャケットは実機・サンプル展示を致します。

是非、弊社ブースに来展頂き手に取って御観覧ください。


 出展製品

  • 高純度薬品・薬液 レーザーコーティング液製品
    中国湖北省興福電子材料有限公司製 リン酸、硫酸、アルミニウムエッチング溶液、ITOエッチング溶液、現像液等 韓国OCI社製 純度過酸化水素水 ・高純度リン酸 ・HCDS 韓国MTI社製 レーザーコーティング液製品...

  • *湖北省興福電子材料有限公司は、宜昌、恵州、重慶の3ケ所に生産拠点があり、主に研究、開発、生産、電子化学品の販売をする中国資本の会社です。電子グレードのリン酸3万トン/年、電子グレードの硫酸1万トン/年、メタルエッチング液4万トン/年の生産能力を有する会社です。

    ITOエッチング液、剥離液などの電子化学薬品の生産、販売も行っています。現在までに、200Lドラム9万本の出荷実績があります。現在2万トンの電子グレードTMAHリサイクルプロジェクトの工場を建設しています。

    主な製品は、電子グレードのリン酸、電子グレードの硫酸、アルミニウムエッチング溶液、ITOエッチング溶液、現像液、ストリッピング溶液、RGB再生剤、洗浄剤、シンナーやポリシリコンなどです。さまざまな高純度の電子薬品、物質は、国際品質レベルに達しています。

    *OCI社は再生可能エネルギー,無機化学、石油石炭化学、精密化学、断熱材分野でカーボンブラック、ピッチ、TDI、過酸化水素、ソーダ灰をはじめ、 半導体Wafer、太陽電池の核心原料であるポリシリコンなどを生産、 販売している輸出比重70%以上のグローバル企業です。

    *MTI社は半導体業界向けの薬液製造会社です。 当社の主力製品は、シリコン汚染防止(コンタミネーションやチッピングなど)、半導体パッケージソーイング、デフロック洗浄ソリューション、フォトレジストストリッパーなどに使用される界面活性剤です。

    世界的に有名なサプライヤーであるドイツのNowofol社と米国のAIT社による共同開発による品質の高い薬液を、アジアの多くの半導体企業に提供しています。

     1、Hyper-Star

    • ウェハーダイシング工程時の切断面昇温を抑制し、ウェハーを保護します。
    • ウェハー表面にコーティング膜を形成し、シリコン汚染を防止し、表面保護する効果もあります。
    • パーティクル付着防止(PAD汚染防止)
    • Burr, Debris, Micro Crack抑制
    • 環境にやさしく水溶性が良い。
    • ESDおよびPeel Off防止
    • ROHS環境基準に最適
    • DBGプロセスに最適

     2、Hyper-Pro®

    • 表面張力抑制効果(29dynes / cm)およびESD防止
    • ウェハー表面のコーティング膜を形成、表面のパーティクルの除去、および腐食防止
    • ブレードのウェハーソーイングから発生するダイのチッピング、バリ(Burr)およびクラック(crack)な                                                                                どの抑制
    • ブレードのLife time増加
    • 中性の非イオン系PH 6.5-8.5、COD、BOD、ROHS環境基準に最適
    • 腐食とGalvanicCellの防止に特化した専用Wafer Sawing Chemical.

     

  • TR-RITE(エンドポイント検出装置)
    TR-RITEは高周波電源をTR-RITEで測定し、電流、電圧、位相角、インピーダンスなどから、 成膜プロセスをモニタリング出来ます。異常を発見し装置を停止出来る為、歩留まりを向上させます。 また、クリーニング中のエンドポイントも最適化でき、NF3などのクリーニングガスの削減、 シャワーヘッドなどのプロセスkitの長寿命化等に貢献いたします。...

  • TR-RITEは高周波電源をTR-RITEで測定し、電流、電圧、位相角、インピーダンスなどから、成膜プロセスをモニタリング出来ます。異常を発見し装置を停止出来る為、歩留まりを向上させます。

    また、クリーニング中のエンドポイントも最適化でき、NF3などのクリーニングガスの削減、シャワーヘッドなどのプロセスkitの長寿命化等に貢献いたします。

  • 薬液・スラリー供給システム
    薬液・スラリー供給システム 集中供給システムから個別供給システムまで対応可能。...

  • リダンダンシ(バックアップシステム)により、トラブル時にも連続しての供給を可能にしました。自社評価機で、様々な評価分析を行う事できる施設を完備しております。

  • WCS-300M/OCIM
    ●WCS-300M ウェハ上の金属汚染をsub-pptレベルで高感度分析が可能。   高い安全性を持ち、前処理から後洗浄まで自動化した全自動VPD-ICP-MSシステム。 ●OCIM   ケミカル、UPW、ガス中の金属不純物をsub-pptレベルでOn-Line/Real-Time分析。   安全かつサンプルの汚染を防止した全自動サンプリング/分析システム。...

  • ●WCS-300M:全自動/一体型VPD-ICP-MSシステム
    -Sampling/VPD/ICP-MSを省スペースの筺体に収めた一体型システム。

    -ICP-MSシステム校正、サンプルチューブの自動洗浄、清浄度の自己診断、
    スキャン溶液、クリーニング溶液の自動調製により前処理、後処理まで自動化。

    -親水面、疎水面のどちらでも測定可能。

    -Full, Radial, Point, Edge, Bevelなど、測定箇所をカスタマイズできます。

    -インターロックシステムと連動したリークセンサーとガス検知器を装備。

    -駆動部、試薬吐出部を筺体に収め、作業者への衝突、被液を防止。

    ●OCIM:Onlineケミカル汚染監視システム
    -Sampling/前処理/測定/後洗浄まで全自動で行うオンライン監視システム

    -測定に人を介さない安全設計

    -メインユニットとサンプリングユニットで構成。最大60chを1つのメインユニットで測定可能

    -バルクケミカル、プロセスケミカル、UPW、プロセスガスの測定が可能

    -インターロックシステムと連動したリークセンサーとガス検知器を装備

  • 除害装置 ・チラー ・ドライポンプ(真空ポンプ)・ヒートジャケット
    *除害装置 メーカー:UNISEM.Co.,Ltd. *チラー装置 メーカー:UNISEM.Co.,Ltd. *ドライポンプ(真空ポンプ) メーカー:LOTVACUUM *ヒートジャケット メーカー:HUSEM...

  • *除害装置 

    除害方式:燃焼方式、プラズマ方式、ヒーター方式、乾式方式など各種。

    装置概要:半導体及び液晶製造装置から排出される有毒ガス(可燃性ガス)を、·例で挙げた様々な方式で除去する装置です。有毒ガスが十分に除去された状態で工場側のダクトへ排出するシステムです。 

    メーカー:UNISEM.Co.,Ltd.

    *チラー装置

    装置概要:半導体プロセスの中で、主にEtching(エッチング)工程でProcess Chamber内の温度を安定させる装置です。LCD、LED、太陽電池等の工程にも対応可能です。

    1.PCS8000(省エネモデル)負荷可変型圧縮機、仕様に適したポンプによる省電力化。

    2.GPD3000Z(冷媒式) Coolantを使用せずに冷媒による熱交換方式のChillerです。 

    メーカー:UNISEM.Co.,Ltd.

    *ドライポンプ(真空ポンプ)

    LOT Vacuumは、半導体および液晶行程で使用する真空ポンプの開発、製造、販売を行う会社です。DuraDry™シリーズは、プロセス副産物のHeavy Duty Application吸引排出する能力に優れ、韓国国内外で6000台以上の納入実績があります。韓国市場の80%以上を占めています。顧客の要望を考慮し、消費電力軽減、低ノイズ、低振動のドライポンプのLD、HDシリーズを開発しました。大型化されているシステムに対応できるようにGD、GHDシリーズも開発しました。現在の市場は、半導体のほか、LCD、LED、太陽電池分野にも対応しています。また、鉄鋼、化学、ガスなどの一般産業分野での需要が増加しています。

    メーカー:LOTVACUUM

    *ヒートジャケット

    1. Hybrid PTFE Heat Jacket
    • HUSEMのHybrid Heat Jacketは、従来のPTFEクロスヒートジャケットの応用として開発されており、  PTPEシートを表地とPTPEクロスを裏地に適用しており、より優れた耐久性と配管への付着力を誇ります。
    • 簡単な設置と優れた熱分布の均等性を提供します。

      2.CLOTH(PTFE) Heat Jacket

    • フッ素樹脂の中で最も高い耐熱性を有するPTFE製
    • 延伸加工によって生成されたPTFE Fiberに特殊加熱を実施した繊維で
    • 従来にない肌触りを持つ素材です。
    • PTFE Clothヒーターは、優れた柔軟性と温度維持に非常に効果があります。
    • 繊維の柔軟性は、複雑かつ様々な形状を可能にし、最高の温度は260度以上です。

      3.SILICONE RUBBER Heat Jacket

    • ガス、真空ラインのオリジナルHeatingJaketで平板な型に液化されたシリコンを注入して造成され、ベルクロやスナップボタンでヒーターに固定します。

    メーカー:HUSEM


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor