最大吐出量：150 L/min
最高吐出圧力：0.7 MPa
最大エアー消費量：1500 NL/min
供給エアー圧力：0.7 MPa
半導体専用設計
TCT型は、半導体用に設計されたフッ素樹脂製のエアー駆動ダイヤフラムポンプです。エアー駆動方式のメリットと多彩な機種構成により、洗浄装置の循環用やCMPスラリー液の移送用、さらには高純度薬液の供給用まで幅広くご使用いただけます。
エアー消費を大幅削減
エアー室の構造変更により、従来機種に比べエアー消費を大幅に削減しました。高吐出圧力運転時において、エアー消費を最大50%削減できます。
●最大吐出量付近のデータ比較となり、機種、移送する液体、配管により異なります。
Max. 0.7MPa の高圧吐出
Max.0.7MPaの高圧吐出が可能です（一部機種）。また吐出圧力は供給エアー圧力に比例するため、エアーレギュレータの調整で容易に制御することができます。
作動安定性が向上
エアー切換方式はスプール式と電気式です。独自構造のループドＣスプール®を採用し、作動安定性が大幅に向上されています。
防爆対策は不要
圧縮エアーで駆動するため、特別な防爆対策は不要です。またオーバーロードによる発熱もないため、防爆エリアでも使用可能です。
完全自吸式
完全自吸式で呼び水は不要です。また空運転やエアー混入液の移送も可能です。