東横化学

川崎市中原区,  神奈川県 
Japan
http://www.toyokokagaku.co.jp
  • 小間番号4319

弊社はトータルガスマネジメントのコンセプトに基づき、ガスの入り口から出口までお客様のニーズに合わせた製品とシステムを国内外に提供しております。


装置関連ではSIC基板活性化アニール装置のパネル展示、液種判別・漏液センサの実機展示もございます。是非お立ち寄りください。


 出展製品

  • 漏液センサ/液種判別センサ
    光学式の漏液センサで僅かな液体の漏れを確実に検知します。復旧作業は簡単に拭くだけでメンテナンス性に優れます。                                 新製品となる液種判別センサは、漏れた液体の種類を判別可能(例: 水と薬液、水と油等)、また光ファイバを用いる事で防爆エリアでの使用も可能となります。漏液の検知だけでなく、配管内の液種の判別、槽のレベル管理等、新たな用途での使用が期待できます。...

  • ■漏液センサ

     光学、ポイント式。あらゆる液体に対応。 アンプ内蔵タイプ有。防爆対応も可能。

    ■液種判別センサ(新製品)

    光ファイバ、ポイント式。あらゆる液体に対応。液種判別機能。防爆エリアにも対応。

  • SiC基板活性化アニール装置/SiC基板超高温熱処理装置
    独自の超高温熱処理技術を応用し2000年からSiCパワーデバイス装置の開発に取り組み、その長年培った技術と最先端技術を結集、高品質、高性能な熱処理性能を実現しました。 当社“Ailesic”(エールシック)シリーズ熱処理装置は、SiCパワーデバイスの性能を飛躍的に向上させるとともに安定した量産に貢献します。...

  • [SiC基板活性化アニール装置]
    イオン注入後に1200~1900℃の常圧下で活性化アニール(Ar)を行う装置
    [SiC基板超高温熱処理装置]
    700~1400(1700)℃の常圧下で各種アニール、各種酸化および窒化処理を行う装置
  • He/Ar回収装置
    アルゴンを始めとする希ガス(He、Ne、Xe)を高効率に回収・精製するガス回収装置『ArgonØ』を展示します。コンパクトな為既設装置に容易に敷設でき、生産コストの削減につながります。...

  • ■ヘリウム回収装置
    【特徴】
    ・高精度な濃度管理
    ・高回収率(≧95%)
    ・高速拡散
    ・幅広い流量、濃度範囲
      (5~95%)に対応
    ・低圧から高圧(30MPa)まで対応

    ■アルゴン回収装置『ArgonØ』
    【特徴】
    ・既設装置に敷設可能
    ・回収率が高くかつ高純度
    ・CLCリアクターを用いた燃焼反応技術
    ・He等の希ガスにも対応

  • 液体材料供給装置
    送液圧コントロールによる安定供給を実現します。...

  • <特徴>
    ・遠隔操作対応
    ・重量/ 圧力管理システム
    ・送液圧力を一定にコントロール
    ・脱気機能
    ・液量管理による自動切替方式
    ・ロードセル、超音波式センサーによる液量管理により、自動切替が可能。
    ・液量管理による自動補充方式
    ・通いタンクと受入タンクの2 つの薬液用タンクを収納し、受入タンクの液面と圧力を一定に保つよう、通いタンクより補充することが可能。
    <システム特徴>
    最適化された温調システムと圧力制御システムと液面管理システムの組み合わせにより、送気ガス濃度を安定化。
    <対応流体>
    TiCl4, (C2H5)2Zn, SiCl4, POCl3
  • シリンダーキャビネット
    シリンダーキャビネット は エレクトロニクス産業に必要な特殊材料ガスを安全・安定に供給することを目的として開発された設備です。 また使用するガスの性質や消費量、ガスメーカーの供給体制を含めた検討材料により適切な供給形態を検討し、提案することが可能です。...

  • ■高純度なガスの品質を維持
    半導体製造工場などに代表される高純度品質へのニーズに対して、部品や配管に至るまで徹底的に材料を厳選し、高品質ガスの供給を実現しています。

    ■安全性を考慮した設計
    毒性や爆発性など危険性の強いガスの安全供給を目指し、各々のガス物性に合わせて設計しています。

    ■安定供給を考えた設計
    24時間365日連続供給体制へのニーズに応え、
    想定される様々なトラブルに対しても豊富な経験に基いた安定供給設計をしています。

    ■環境負荷の低減
    日本のみならず海外においても重視される省エネルギー、低環境負荷対策を実践しております。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, その他/Other, 太陽光発電(PV)/Photovoltaic, プラスチック/有機/プリンテッドエレクトロニクス/Plastic/organic/flexible electronics, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor

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