ナガセテクノエンジニアリング

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H-Square社製　AWM型自動ウエハ枚葉移載装置

カセット間でウエハを移載する卓上ソーターです。... More Info Less Info







＜特長・仕様＞

・省スペース（卓上型）

・SEMI規格ウエハ、厚ウエハ、薄ウエハに対応

・生産工程、検査工程、研究開発、テスト工程等向け

・タッチスクリーン操作

・ウエハマッピングセンサ及び緊急EMOスイッチ搭載

・電源：100-120VAC、24VDC

・寸法：高693.4mm／奥行769.6mm／幅563.8mm

・重量： 36Kg



ePAK社製ウエハカセット

半導体および電子デバイスを保護し安全に輸送する基板搬送用のカセット及び容器... More Info Less Info







・プロセス用カセット

・保管用カセット

・出荷容器

・ウエハジャー

・ウエハシングルシッパー

・フレックスフレーム

その他

デバイスの保護とコンタミネーションの制御は、ウェハ工場で開始され、アセンブリサイトまで広がります。 ePAKは、半導体およびエレクトロニクス業界で最も価値の高い製品も、最も脆く、誤った取り扱いや汚染の影響を受けやすいことを決して忘れません。 バックグラインド、ユニークな材料セット、エキゾチックな半導体プロセスでは、すべてのウェーハが均等に作られるわけではありません。
ePAKの最も先進的なeLXウェーハキャニスターからコスト効率の高いウェーハジャーまで、ePAKテーラーはお客様の要件を満たすために製品に適合します。



CDE社製　抵抗率測定装置

４探針法、卓上型の抵抗率測定装置... More Info Less Info







テーブルトップの抵抗率測定装置です。

導入メリット

・測定精度が高く、再現性が高い

・プローブの寿命が長い

・2インチ～12インチまで幅広いウエハサイズに対応

・ｊコンパクトな卓上型



興研社製テーブルコーチ　T500-F

オープン環境でクリーン度クラス最高（ISO1）を作り出す画期的なクリーンユニット 手軽に持ち運んで卓上に設置できるコンパクトなサイズです。 囲いがないので作業性に優れます。... More Info Less Info







オープンクリーンシステムKOACH（コーチ）は、超極細高性能フィルター技術と、高精度な整流技術により、

密閉されていないオープンな環境下でも、短時間・低コスト・低消費電力で世界最高水準（ISOクラス１）の

クリーン空間を実現できる、スーパークリーンシステムです。

＜仕様＞

本体外形寸法	541(W)×289(D)×334(H) mm
吹出開口面寸法	494(W)×306(H) mm
重量	約28kg（約14kg x 2台）
清浄空間	700mm以内（開口面間距離）
電源	単相100v 50Hz/60Hz
定格消費電力	70~220w（35~110W x 2台）



静電スプレーコーティング装置

液体を微粒化させてスプレーする特殊なスプレーコーティング装置です。 ・静電気の力を利用して液体を微粒化 ・膜厚：数百nm～数十μmの膜厚で成膜（高い膜厚制御性） ・レジストや微粒子が分散した液剤のコーティング ・凹凸面へのコーティング ・液剤の使用コスト削減 ・低粘度～高粘度の液剤に対応 ・デモ装置あり ・小型試作機から大型生産機まで対応... More Info Less Info







ナガセテクノエンジニアリングのブースで静電スプレーコーティング装置を展示致します。

営業担当もブースに居りますので、是非ともご来場ください。小間番号：4727（Hall　4）

私共は静電スプレーコーティング装置（Micro Mist Coater 静電塗布装置）を製作販売しております。

小型の試作機（大学向け）～中大型試作機（一般企業向け）～量産機まで、ご提供しております。

この装置は弊社の横浜センター（神奈川県横浜市）にてデモが可能です。

この装置はエレクトロスプレーという現象を利用し、液体をミスト化します。エレクトロスプレーとは、ノズル内の液体に数千ボルトの電圧を印加し、ミスト化する現象です。帯電した液体は静電気力の反発により細かくミスト化され、基材に向かって進み付着します。この原理を利用して、様々な形状の塗布に対応しています。

【特徴】特徴のある機能性コーティング

・レジストや微粒子が分散した液剤の塗布

・液剤のコスト削減

・凹凸面への成膜

・高い均一性（容易な膜厚調整機能）

・クリーン環境を保つ

既存のコーティング技術とは全く異なる結果を得られるケースが多々あります。

【応用】

・MEMSデバイス
・半導体
・有機半導体
・燃料電池
・フィルム基材用途
・食品関係
・医薬品関係

【デモ試作】

デモ試作にてお客様に静電塗布スプレーコーティング装置の能力をお試し頂けます。

私共ではデモ試作のデータを元に、最適な装置をお客様にご提案しています。

こちらからもお問い合わせ可能ですので、お気軽にご連絡下さい。

初出展/New Exhibitor

新製品/New Products

製品展示/Displaying Equipment

デモンストレーション/ Product Demonstrations

産業・技術分野/ Industries/Technologies