ニッタ

大阪市浪速区桜川,  大阪府 
Japan
http://www.nitta.co.jp
  • 小間番号3314


ナノレベルの粒子状物質やケミカル汚染でお困りではないですか?制御用フィルタ&モニタリング製品をご紹介しています。

世界初の技術搭載!クリーンルーム用ナノ粒子カウンタ(CPC9001)

ウォーターベースでトリプルディテクタ搭載の革新的な構造により、10nm<のナノ粒子を低ノイズ、大流量で測定します。通常のパーティクルカウンタでは検出できないナノレベルの汚染状態が分かるので、工程管理の改善にお役立ていただけます。 高圧ガスの測定にはディフューザー(HPD7950)とセットでご使用ください。


 出展製品

  • ポータブルパーティクルカウンタ
    半導体工場で大きなシェアを誇るTSI社製パーティクルカウンタはラインナップが豊富で環境、用途に応じて最適なモデルをお選びいただくことができます。...

    • 用途:
    • 〇クリーンルームの定期的な清浄度(微粒子測定・微粒子計測)測定。
    • 〇クリーンエリア内の清浄度(微粒子測定・微粒子計測)連続監視。
    • 〇ロボットや駆動装置からの発塵検査
    • 〇フィルターリーク試験

    TSI 社製 パーティクルカウンター

    Model
    流量 粒径区分 タイプ
    9110 28.3L/min 0.1/0.15/0.2/0.25/0.3/0.5/1.0/5.0μm ポータブル
    9310 28.3L/min 0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10μm
    9350 50L/min 0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10μm
    9510 28.3L/min 0.5/0.7/1.0/3.0/5.0/10μm
    9550 50L/min 0.5/0.7/1.0/3.0/5.0/10μm
    9500 100L/min 0.5/0.7/1.0/3.0/5.0/10μm
    9303 2.83L/min 0.3/0.5(1.0/2.0/2.5)/5.0μm ハンドヘルド
    9306 2.83L/min 0.3/0/5/1.0/3.0/5.0/10μm
  • 配管ケミカルフィルター ENILSORB(エニルソーブ)
    流量や対象ガスに応じて自由に設計可能なエアー配管ラインに簡単に取り付けれるケミカルフィルターです。酸性ガス、アルカリ性ガス、有機系ガスの除去が可能です。 ...

  • <対象物質>

    ○アルカリ性物質(アンモニア、アミン類など)

    ○酸性物質(塩化水素、硫化水素、二酸化硫黄など)

    ○有機物質(高沸点有機物、シロキサンなど)

    <用途>
    ○製造装置内や設備配管内の清浄化
    ○給排気系で使用する圧縮空気内の微量ガス除去
    ○製品梱包時の塵埃除去、N2パージガスの代替品

    <使用例>
    ○半導体露光工程、半導体後工程、半導体計測器周辺、検査工程
    ○ボンディングマシーン、レーザー加工機
    ○太陽電池ガラス加工、食品加工、再生医療、分析機器

    風量 型式 寸法 接続 筐体 重量
    30ℓ/min PG-F32A38S158TS φ80x158mm Rc 3/8in SUS304 約2Kg
    50ℓ/min PG-F50A38S258TS φ100x158mm Rc 3/8in SUS304 約4Kg
    100ℓ/min PG-F100A12S258TS φ170x258mm Rc 1/2in SUS304 約10Kg
  • マイクロファンフィルターユニット VANBLUE(ヴァンブルー)
    超小型ファンフィルターユニットでおお客様のニーズや用途に応じてカスタマイズ致します。...

  • <用途>

    ○ロボット駆動部の発塵除去

    ○クリーンルーム内の局所クリーン化

    ○理化学機器内部の複合ガス除去

    <使用例>

    ○半導体製造工程、クリーン搬送機器

    ○レーザーマーカー、デシケーター

    <フィルタ>

    ○ULPA/HEPA

    ○ガス吸着

    仕様(例)

    寸法

    40x40x80mm

    フィルタ

    PTFE

    フィルタ圧損

    77Pa(@0.5m/s)

    捕集効率

    99.97%(@0.3μm)

    風量

    0.07m3/min

    電圧

    12V

    ガスケット

    EPDM

    フレーム

    SUS304

  • クリーンルーム用ナノパーティクルカウンター(CPC/AeroTrak®9001)
    AeroTrak®9001はウォーターベースで大流量、超低偽計数レベルを実現した凝縮粒子カウンター(CPC)です。特に清浄度の高い重要な製造プロセス環境を測定するために開発されました。特許取得済みの技術により0.1CFM(2.83L /分)の流量で10nmの粒径感度を提供します。超低偽計数率(0.07個/CF未満)の性能はISOクラス1やクラス2の高い清浄度環境フィルター評価にも理想的な測定ができます。...

  • 機能・利点:
     〇最小検出粒径:10nm
     〇サンプル流量:0.1CFM(2.83L/min)
     〇偽計数:<0.07個/28.3L(1CF)
       ⇒低い偽計数レートにより清浄度の高い環境でも正確なデータを提供します。
     〇凝縮液として超純水またはDIウォーターを使用
       ⇒クリーンな環境に化学物質を排出しません。

    米国TSI社は1979年以来世界トップクラスの凝縮粒子カウンターを世界中の研究者や様々な研究機関等へ提供してきました。

    この度、新製品としてケミカル汚染制御をしている様な超クリーン環境でもご使用いただけるウォーターベースの凝縮粒子カウンター「AeroTrak 9001」を発売しました。

    AeroTrak 9001はウォーターベースでは唯一の層流式トリプルディテクター搭載の革新的な構造により、偽計数率が非常に低く、大流量、幅広い自己診断機能によって超クリーン環境でも適正な測定ができます。

    また、高圧ディフューザ(HPD)AeroTrak7950 と併用することで高圧ガス中のナノ粒子の測定も可能となります。

    更に、AeroTrak 9001はクリーンルームの重要な製造プロセスを継続的に監視できるように連続6ヶ月間(24時間/日,7日/週)メンテナンスをしなくても連続測定ができる世界初のウォーターベースのクリーンルーム用CPCです。

    当然アルコールやその他の非ウォーターベースの凝縮粒子カウンターとは異なり、クリーンな環境に化学物質を排出しません。

  • 清浄度(パーティクル)モニタリングシステム
    クリーンルームやフィルターを搭載してパーティクルを制御しているストッカーや装置内の清浄度は常時モニタリングするのが最も良い方法です。ポイント数、対象粒径やコスト等に応じて、お客様の用途に合ったシステムをご提案します。...

  • 流路切替方式(マニホールド方式):

    パーティクルカウンタ1台で最大32ポイントを測定する切替え方式(マニホールド方式)のシステムです。マニホールドから各測定ポイントまでは最長100mまでのシステムが構築できますので広いクリーンルームの管理に最適です。

    常時モニタリング方式(センサ設置方式):

    各測定ポイントにパーティクルセンサを設置するシステムです。イーサーネット通信(MODBUS/TCP)を採用しており、センサへはPoE-HUBからの給電も可能なため、スマートなシステム設計が可能です。ポンプ内蔵センサや無線化オプション、アナログ出力(4-20mA)オプションもございますので、様々な環境、状況に応じたシステム構築が可能です。 測定データは専用ソフトを使えばグラフ表示・レポート作成・警報出力などを容易に行えますが、PLC等に取り込んで頂くことも可能です。パーティクルセンサより直接信号出力させるアナログ出力(4-20mA)仕様もございます。

    MODEL FLOW RATE PARTICLE SIZE RANGE INTEGRATED PUMP
    6310 1 CFM (28.3 L/min)  0.3 to 25 μm X
    6510 1 CFM (28.3 L/min) 0.5 to 25 μm X
    7110 1.0 CFM (28.3 L/min) 0.100 to 10.0 µm  
    7201 0.1 CFM (2.83 L/min) 0.2 to 10 µm  
    7301 0.1 CFM (2.83 L/min) 0.3 to 25 µm  
    7301-P 0.1 CFM (2.83 L/min) 0.3 to 50 µm X
    7310 1 CFM (28.3 L/min) 0.3 to 25 µm  
    7501 0.1 CFM (2.83 L/min)  0.5 to 25 µm  
    7510 1 CFM (28.3 L/min)  0.5 to 25 µm  

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, その他/Other, 太陽光発電(PV)/Photovoltaic, プラスチック/有機/プリンテッドエレクトロニクス/Plastic/organic/flexible electronics, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor