マーポス

大田区,  東京都 
Japan
http://www.marposs.co.jp
  • 小間番号1902

マーポスは加工中および加工後にワークショップ環境で使用できる高精度計測装置を世界的に提供しています。

半導体製造プロセスの信頼性と性能の向上に関係する各OEMからの信頼を得ており、半導体産業専用アプリケーションの研究と販売を行っています。

ブースでは当社の非接触測定器を主に展示しております。


 出展製品

  • NCG 非接触式インプロセスコントローラ
    マーポスNCGは光干渉テクノロジーによる厚さ測定器です。 連続する光波がワークの接合面で反射して戻された干渉により層の厚さを計算し計測します。...

  • 測定原理:光干渉型

    測定範囲:25~1,200µm (ガラス材)

    測定範囲:10~500µm (シリコン材)

    精度:0.5µm (シリコンウェハーでの標準偏差)

    繰り返し精度:0.1µm

  • AEROEL レーザー式外径測定ゲージ
    SUPER-WIRELAB.XYは、引抜成形品や押出成形品の直径を検査するために設計された高性能のレーザーマイクロメータです。 ワイヤー、光ファイバーおよびマグネットワイヤー等の引き出されたワイヤーの外径測定に理想的な装置です。...

  • 測定範囲:0.02~3mm

    レーザー源:VLD λ=650mm

    分解能(µm):10 / 1.0 / 0.1 / 0.01

    直線性(F.R.):±1.0 µm

    繰り返し精度:±0.02 µm

    重量:6.5 Kg

  • IRIX 非接触式インプロセスコントローラ
    CONFOCALプローブは、表面の反射率、厚さ、平坦度、及び制御等のタイプ(アプリケーション毎:距離、厚さ、仕上げ)を測定します。 全体の製造プロセス中の部品表面の距離を測定、あるいは生産プロセスにおける自動補正制御等、要求される仕様に応じて設計できます。...

  • 測定周波数:2,000Hz

    光源:LED

    波長:450~700 nm

    測定モード:距離 / 厚さ

    取付方法:DINレールマウント


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
その他/Other