『マイクロファクトリー』をテーマに、省スペース・省資源・省コストを追求した環境にやさしい製品を提供いたします。
半導体・オプトロニクス・ＭＥＭＳ・様々な分野において、環境に配慮した、多品種・少量生産ニーズにお応えする装置開発を展開しております。大手設備メーカーさんが着手しない、弊社の得意技術を十分に生かせる分野でお手伝いさせていただきます。吸着搬送できないワークを対象に『つかむことに拘った』微細荷重制御可能なマイクロハンドが半導体に限らず幅広い業界にマッチしたシステムをご提案いたします。 研究開発から小ロット生産、自動化設備までお手伝いさせていただきます。
■微小エリアへの加熱実装（高周波誘導加熱による接触式微細加熱）、微細塗布実装（ピコリッターレベルの塗布：ピエゾディスペンサーを搭載）。 ■出展予定製品は『高精度DTFダイボンダー：参考出品』『デスクトップマイクロチップソーター』『デスクトップ外観検査装置』『デスクトップ高精度搭載装置』『デスクトップ現像・エッチング装置』を予定しております。 【具体的可能性】 脆弱チップ・ワーク表面接触不可チップ・MEMS・微小光学部品・化合物半導体等の実装組立、コンタクトプローブの組立、テスターカードのリペア、微小部品リペア、異物除去、レンズ調芯組立、マイクロレンズ組立、微小異物サンプリング等
【特徴・機能】
●把持荷重可能なマニピュレータによりシートから突き上げたチップをピックアップ
●把持荷重がコントロール出来、チップダメージを軽減します
●ピックアップ時の不具合を（チッピング・汚れ）を解消します
●高精度フローティングヘッドの採用でワークに与えるダメージを軽減します
●把持ピックアップ方式と吸着ピックアップ方式に対応（ヘッド交換作業は容易）
●高速画像処理による高精度な自動アライメント機能を搭載したオートマチックソーター
●処 理 能 力 ：5mm角～φ12インチまで ●基板保持方法 ：真空吸着、機械式保持（メカチャック）等 ●プログラム設定 ：1プログラム最大99ステップ／50プログラムを保存可能 ●基板回転数 ：0～3000rpm ●チャンバー材質 ：SUS304、PVC、他 ●ノ ズ ル ：現像液、リンス等を1～4系統 スイングアーム方式（1～2軸） ●使 用 薬 液 ：無機アルカリ、有機アルカリ等 ●局 所 排 気 ：排気ポート標準装備 ●電 源 ：AC100V 50/60Hz
●精密対象動作を保証したスリムな把持装置
・低把持力（数グラム）で、ワークダメージを防止
・ワークの１８０°反転も容易
・小型モーターによる、リモート開閉で手振れ防止
・把持部を簡単に交換、各種ワークに対応（微小隙間での作業も可能に）
●小型XYZステージ
・顕微鏡周辺での並べやすさと剛性を両立させるジャストサイズ
・占有容積が1/8以下（ガイドレール同スパン品と比較）
●モノコック式高剛性軽量の顕微鏡ベース（標準架台）
・軽量、卓上サイズで移載が簡単
・高分解能リニアスケール内蔵、XYZ150mmのロングストローク確保
●オプション
・微細塗布ユニット、微細接触加熱ユニット、加圧ユニット、プローブユニット、自在ステージ、加圧転写ユニット、計測用横カメラ、微細カッター、ゲルパック吸着台、ファイバー保持治具、下加熱ユニット、スイベルステージ等各種カスタマイズ対応可能
●ワンキーでワーク間高速移動・位置決め
●ワンキー入力していくだけで、マップデータを自動作成（NG項目最大9種類、不調率もリアルタイム表示）
●作成したマップデータは、弊社のチップソーターにそのまま利用可能
●１チップ内複数ポイント検査機能・簡易測定機能・デジタルズーム・ＮＧ箇所見直し機能等、便利機能豊富
●メガピクセルカメラ搭載、情報の共有と画像記録・解析可能
特徴・機能】
●マニピュレータハンドによる自動搭載メカに１２軸ドライバー・コントローラを全て組み込んだ超コンパクト設計
●高剛性で定評のマニピュレータ架台の採用で高精度実装を実現。デスクトップマシンでも１μｍ搭載可能
●フローティング付マニピュレータハンドの開発で微小脆弱ワークに対応、ワークダメージを最小限におさえ良品率アップに貢献
●自社開発の小型ステージの採用で破格コストとコンパクトさを実現
