伊藤忠テクノソリューションズ

世田谷区,  東京都 
Japan
http://www.ctc-g.co.jp
  • 小間番号5430


米国Verity Instruments社の最新の終点検出システムや膜厚・深さ測定システムをご紹介いたします。

今回はSD1024Gシリーズのハイエンド版のSD2048GHセンサーとコントローラPC内蔵のSD1024Xセンサー、膜厚計測器のSP2100を出展しております。
SD2048GHは近接ピークが干渉せず、高精度計測が可能になっており、SD1024Xは高性能スペクトロメーターとコントローラPCの2つの機能をVerityの標準スペクトロメーターと同じ大きさの筐体の中に組み込みました。
SP2100はエッチングプロセスやCVDアプリケーション向けのインサイチュー/インライン リアルタイム測定システムになります。

ご多忙の折とは存じますが、皆様のご来場を心よりお待ち申し上げております。


 出展製品

  • SD2048GH
    SD1024Gスペクトロメーターのシリーズの中で最も高性能・高分解能版になります。...

  • SD1024Gシリーズスペクトロメーターは、高度な機器制御、データ収集、終点検出の能力を持つように設計された高機能な組み込みプロセッサーとソフトウェアを統合した光学スペクトラムを監視する装置です。SD1024Gシリーズは共通の電子部品、アプリケーション・ソフトウェア、筐体を使用しています。

    SD1024Gは厳しい半導体プロセス用途に設計されています。その光学システムは、複数チャンネル分光可能な特別に設計された1024素子を持つ科学計測グレードのCCDで受光します。SD1024Gのアドバンテージは優れた紫外光(UV)応答性(200nmから)、UV露光下での劣化に対する安定性、高感度、広ダイナミックレンジ、優れた出力の直線性です。

    SD1024GHはSD1024Gと比較して高スループットの光学系と低システムノイズによりS/N比がさらに高い製品です。SD1024GHで使われている光学部品は光学的な処理能力を約75%向上させています。従ってSD1024GHはノイズに対する信号が最大現に必要な用途に、特に比較的低い輝度の信号の測定用に推奨されます。

    SD2048GHはSD1024Gと同様の仕様ですが、CCD受光素子が2048列あり、高分解能仕様です。末尾のHは高スループットの光学仕様を表します。さらにスリット幅を狭くすることで0.25nm単位の計測を可能にしました。

  • SD1024X
    SD1024Xは高性能スペクトロメーターとコントローラPCの2つの機能をVerityの標準スペクトロメーターと同じ大きさの筐体の中に組み込みました。...

  • SD1024Xスペクトロメーターは低露光領域のコンタクト・エッチのような要求の厳しい半導体プロセス制御用途向けに設計されています。Verity・フラッシュランプと一緒に使用した場合には、SD1024Xは膜厚や深さ計測のための分光反射率計測器として使用することも可能です。科学計測グレードのCCDは電子冷却(低ノイズ)で、高紫外感度、広ダイナミックレンジを備えています。

    SD1024XHは高スループットの光学部品の採用で優れた光処理能力(強い信号)と電子ノイズ低減処理を両立させたSD1024Xより一層の高性能版です。

    SD2048XHはSD1024Xと同様の仕様ですが、CCD受光素子が2048列あり、高分解能仕様です。末尾のHは高スループットの光学仕様を表します。さらにスリット幅を狭くすることで0.25nm単位の計測を可能にしました。

    SD1024XMはSD1024Gと同等の仕様ですが、CCD受光素子は信号特性が1グレード低いものを使用して低価格を実現しました。2次元のCCDで受光面積が大きいので受光感度は十分にあり、複数ファイバーの入力も可能です。

    SD2048XMはSD1024GMと同様の仕様ですが、CCD受光素子が2048列あり、高分解能仕様です。さらにスリット幅を狭くすることで0.25nm単位の計測を可能にしました。

    SD1024XLは中間グレードのCCDを持ち、一般半導体プロセス用途向けに設計されています。

    SD2048XLはほぼSD1024XLと同じですが、分光データを0.50nm単位で測定するSD1024XやSD1024XLのようにではなく、0.25nm単位で測定可能です。SD2048XLはSD1024XLよりも優れた分解能を持ちますが、この高分解能をサポートする狭い入射スリットであることの結果として、その感度は低くなります。

  • SP2100
    光干渉式 膜厚計測器のSP2100は、エッチ、CVD、CMPプロセスで必要となる多様な膜厚や深さ計測のアプリケーションのために設計されています。Verity社の分光反射計測器は全世界で数百の半導体プロセス装置の制御を順調に行なっています。...

  • SP2100の重要構成品はSD1024Gスペクトロメーター, FL2100 キセノン・フラッシュランプとSpectraView アプリケーション・ソフトウェアです。
    SP2100の心臓部は優れたダイナミックレンジ、UV検出能力、低ノイズの高感度CCD検出器を持つSD1024Gスペクトロメーターです。
    SD1024Gはさらに多重ファイバー入力とフラッシュランプ制御が可能です。

    FL2100フラッシュランプはここで説明しているアプリケーションに有用な高輝度、広帯域の光源です。
    FL2100の出力は強力なUV光を含むので、反射率計測器を利用する上でそれを用いなければできない薄膜の測定を可能にします。
    フラッシュランプを用いることで、移動ウエハーの動きがデータのボケとならないのでより正確な測定を可能にします。

    SpectraView PC ホスト・アプリケーションは、多様な「公開」アルゴリズムによって安定した膜厚計測を提供します。
    SpectraView はRS232、Ethernetまたは DI/O に基づく装置とアプリケーションとPC間の通信との統合を可能とします。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor