伊藤忠マシンテクノス

千代田区,  東京都 
Japan
https://www.itcmt.co.jp/
  • 小間番号3208

伊藤忠マシンテクノスブースにおいては、前工程から後工程までの製造装置、各種検査装置の実機およびパネル展示を致します。

【製造装置】

1)ポリイミド膜用のコーターシステム(エンジニアリングシステム社製) (実機展示)

  ・スピンコーターの変わる新たな塗布技術、大幅なコスト削減に貢献します。

  ・微細パターンの塗布機能も有しています。

2)レジスト液充填装置・洗浄装置 (永田製作所社製) (パネル展示)

  ・レジルト容器洗浄装置、液体充填機、キャッパー・ラベラーを100年超えるノウハウでお客様にご提供します。

 

【検査装置】

1)ウェハ膜厚・表面粗さ・ウェハ厚み・ウェハ反り・歪み計測装置 (ドイツ Sentronics社製) (実機展示)

  ・装置1台に8種類の複数の検査センサーの搭載可能な統合検査装置です。

  ・高タクトを実現します。(膜厚1000点:100WPHを実現)

  ・量産に適した装置です。

2)ウェハ欠陥検査装置 (アテル社製) (パネル展示)

  ・ウェハ薄型工程に適した、ウェハ裏面専用の自動欠陥検査装置(AOI装置)

  ・薄型ウェハ、反ウェハの適したマニュアル用のマクロミクロ外観検査装置

  ・ウェハ裏面の欠陥情報を元に、表面のチップIDのOK,NG情報とのマージ機能を有しています。

  ・KRFファイルおよび各種チップデータとの取り込みが可能です。

3)マクロ欠陥検出センサー (オプティテック社製) (実機展示)

  ・目視検査では検出出来ないナノレベルの表面欠陥、目視検査の可視化が可能なセンサーです。

  ・搬送ローダーとのドッキングが可能になります。

4)UV露光ランプ (ケメット・ジャパン社製) 

  ・水銀ランプとの互換性がある、UV-LED光源。

  ・平行光で高輝度の性能があります。

是非、伊藤忠マシンテクノス(株)ブース (小間番号 3208)にお立ち寄り頂きますようよろしくお願い申し上げます。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor