ソフトワークス

浜松市中区,  静岡県 
Japan
http://www.softworks.co.jp/
  • 小間番号1934


カスタマイズが可能な、高速画像検査測定装置を提供いたします。

超高速(1視野1秒程度)で、基板上のワイヤーとボンディング外観検査を行う画像処理装置です。

ワイヤー高さを測定する3次元画像処理部とワイヤー曲がりやボール形状を測定する高解像度の2次元画像処理部の2ステーションで構成されます。2次元画像処理部と3次元画像処理部は交互に動作させます。


 プレスリリース

  •                       ますます進む高度情報化社会。

    より細分化する需要に的確に応え、提供していかなければならない現代、

    私達ソフトワークスは、画像処理などソフト開発を通して、

    お客様のテーマ=企業の夢・人の夢を実現させるべく、

    さらなる技術開発に挑戦しています。

  • 小型ワーク用の MEMS両面顕微鏡で高性能でシンプルな構成です。
    ワー クを表裏両面から顕微鏡カメラでモニタして表裏のマー クのズレや線幅の画像測定ができまます。
    両面顕微鏡の操作は手動で4インチステー ジと表裏の顕微鏡をマイクロPCにM pro ソフトで上下の画像選択、

    AJUST表示、計測とデー タ管理がマウス操作で簡単にできます。


 出展製品

  • ハンディAFM
    超小型で何方でもピコレベルの測定が可能です。...

  • 圧倒的な分解能を誇ります。今まで隠れていた微少な現象を測定致します。サイズは、わずかで奥行き幅、共に15cmの超小型AFMで、プローブ付きで宅配便の混載でも大丈夫です。

    SEMや高倍率の3次元光学顕微鏡の変わりに使用できます。測定モードも標準で、多彩です。走査ヘッドは、高分解能、広域タイプの2種類が選択でき、その交換も、瞬時に行えます。プローブの交換も数秒です、交換後の調整は必要有りません。また、カーボンナノチューブプローブもオートアプローチが可能です。スキャンに電磁スキャナー(特許取得済み)を使用することにより、スキャン時にワークを移動させることが有りません。一般にAFMで使用されているピエゾの持つ、非線形クリープ、経年変化は有りません。オプションで、小型の自動ステージやインライン全自動機に対応致します

  • マイクロバンプ3次元測定装置
    微細バンプの3次元形状を高速に測定する事が出来ます。...

  • LSI積層技術で用いるTSV貫通電極を接続する微細バンプの3次元形状を高速に測定する事が出来ます。

    バンプサイズが30μm以下になると従来のバンプ測定装置での形状測定が困難になります。本装置では

    10μm程度までの微細バンプに対応し、円錐角錐などの尖端形状及び円柱やピラー形状も測定可能です。

    新しい測定方法を採用して高分解能で有りながら高速検査が可能となりました。シャドープロファイル法に

    よってバンプの立体的投影像から3次元形状の測定を行います。

  • 超高速 ワイヤーボンド3次元外観検査装置
    超高速(1視野1秒程度)で、基板上のワイヤーとボンディング外観検査を行うことが可能です。...

  • 本装置は、超高速(1視野1秒程度)で、基板上のワイヤーとボンディング外観検査を行う画像処理装置です。

    ワイヤー高さを測定する3次元画像処理部とワイヤー曲がりやボール形状を測定する高解像度の2次元画像処理部の2ステーションで構成されます。2次元画像処理部と3次元画像処理部は交互に動作させ、画像処理PCは2台です。カメラは全て固定で機械装置は基板を移動させます。

  • 高精度 ワイヤーボンド3次元外観検査装置
    本装置は高速高解像度カメラと顕微鏡を用いてレンズ焦点法によりワイヤーボンドの3次元形状を測定します。 従来の顕微鏡目視測定に比べ、圧倒的な高精度、高再現性を短時間で実現いたします。 ...

  • 本装置は高速高解像度カメラと顕微鏡を用いてレンズ焦点法によりワイヤーボンドの3次元形状を測定します。

    従来の顕微鏡目視測定に比べ、圧倒的な高精度、高再現性を短時間で実現いたします。

  • 小型 MEMS 両面顕微鏡 TMA20
    ワー クを表裏両面から顕微鏡カメラでモニタして表説のマー クのズレや線幅の画像測定ができまます。...

  • 小さいワ ー ク用の NEMS 両面顕微鏡で高性能/シンプル構成です。ワー クを表裏両面から顕微鏡カメラでモニタして表説のマー クのズレや線幅を画像測定ができまます。
    両面顕微鏡の操作は手動で4インチステー ジと表裂顕微鏡をマイクロPC にM pro ソフトで上下の画像選択、AJUST表示、計測とデー タ管理がマウス操作で簡単にできます。

    1. 測定精度  表裏マー クおよびズレ測定 1µ m 、幅測定0.1 µ m

    2. 構成:(両面顕微鋭l組、対物5, 10倍 各2個、PC/モニタ、 ソフト、 マニュアル)
    3.パターンマッチング、自動計測など専用ソフト機能を追加できます。分離/組込可能です。