イワキ

千代田区,  東京都 
Japan
http://www.iwakipumps.jp
  • 小間番号5607


多品種少量生産体制で、ケミカルポンプ開発の歴史を築いてきた 流体制御機器のトップブランド、それがイワキ

・エアー駆動低脈動ベローズポンプ FLPシリーズ

・エアー駆動ダイヤフラムポンプ TCシリーズ


 出展製品

  • エアー駆動低脈動ベローズポンプ FLPシリーズ
    ダンパー不要で低脈動を実現し、トータルコストの削減に貢献。 枚葉プロセスに適した優れた負荷追従性による安定した運転を実現します。...

  • 最大吐出量:92 L/min

    最大エアー圧力:0.5 MPa

    使用液温度:180℃


    低脈動

    レーザー変位センサーと近接スイッチからの信号を元に、コントローラでベローズの位置を常に把握します。左右ベローズの最適な位相被せ量をコントローラで判断し、電磁弁を切り換えて脈動を低減しています。

    枚葉プロセスに適した優れた負荷追従性

    位相制御を行うことで負荷変動時の追従性が向上しました。特に枚葉プロセスなどの圧力変動が頻繁に発生するラインで、その高い負荷追従性により吐出量、吐出圧の安定した運転が実現します。

    ダンパー不要で省スペース

    ダンパーの組み込みが必要ないので装置の省スペース化が実現します。配管作業も容易でフッ素樹脂継ぎ手などの高価な配管材を削減可能、装置の小型・軽量化に貢献します。

    安全設計

    ベローズ溶接構造によって液洩れを防止し、さらに万一、ベローズが破損しても液漏れを検知するリークセンサーを採用しているので、安心してご使用いただけます。

  • エアー駆動ダイヤフラムポンプ TCTシリーズ
    半導体専用設計、幅広い薬液の移送が可能。...

  • 最大吐出量150 L/min

    最高吐出圧力0.7 MPa

    最大エアー消費量1500 NL/min

    供給エアー圧力0.7 MPa


    半導体専用設計

    TCT型は、半導体用に設計されたフッ素樹脂製のエアー駆動ダイヤフラムポンプです。エアー駆動方式のメリットと多彩な機種構成により、洗浄装置の循環用やCMPスラリー液の移送用、さらには高純度薬液の供給用まで幅広くご使用いただけます。

    エアー消費を大幅削減

    エアー室の構造変更により、従来機種に比べエアー消費を大幅に削減しました。高吐出圧力運転時において、エアー消費を最大50%削減できます。

    ●最大吐出量付近のデータ比較となり、機種、移送する液体、配管により異なります。

    Max. 0.7MPa の高圧吐出

    Max.0.7MPaの高圧吐出が可能です(一部機種)。また吐出圧力は供給エアー圧力に比例するため、エアーレギュレータの調整で容易に制御することができます。

    作動安定性が向上

    エアー切換方式はスプール式と電気式です。独自構造のループドCスプール®を採用し、作動安定性が大幅に向上されています。

    防爆対策は不要

    圧縮エアーで駆動するため、特別な防爆対策は不要です。またオーバーロードによる発熱もないため、防爆エリアでも使用可能です。

    完全自吸式

    完全自吸式で呼び水は不要です。また空運転やエアー混入液の移送も可能です。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
No
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor