インフィコン

横浜市港北区,  神奈川県 
Japan
http://www.inficon.jp/
  • 小間番号5126


インフィコンは真空計測器ならびに半導体産業むけのセンサ技術、プロセス制御ソフトウェア取り扱うリーディングカンパニーです。

  • リークディテクター:新製品デモ実演!! 高速測定で時間を節約するインテリジェント機能(I-CAL, HYDRO-S, I-ZERO)搭載モデル。
  • 質量ガス分析計:各種真空装置の残留ガス分析、半導体各種プロセスPVD・CVD・ETCHプロセス対応の先進モデルをラインナップ。
  • 膜厚計(水晶振動子):5MHz、6MHzのラインナップはもちろん、様々な環境にマッチした水晶振動子を提案。他社製からの置き換え提案も可能。
  • 真空計:コンベクションピラニゲージ、ヌードゲージ、見やすいディスプレイ付真空計。限られたスペースに小型な真空計。急激な圧力変動を捉える高速応答性隔膜真空計。磁場漏れなしの冷陰極ゲージ(特許取得)。EtherCAT対応真空計。


 出展製品

  • キャパシタンスダイアフラムゲージ
    インフィコンの真空計測技術は150年以上の歴史を持つ真空計分野では世界のトップブランドです。幅広い製品群や技術および費用効果に優れたソリューションにより、あらゆる産業や半導体アプリケーションで採用されています。 ...

  • キャパシタンスダイアフラムゲージは、半導体産業で求められる最高精度のアプリケーション向けに設計されています。腐食耐性を備えた超高純度アルミナセンサー により、長期安定性、高精度を実現し、長期間メンテナンスフリーでご使用いただけます。 インフィコンでは、クラス最小サイズのPORTERから、超高速応答性能を持つStripe、200℃ プロセスゲージや、素晴らしい安定性を誇るリファレンスゲージ Cube まで、フルラインの CDG を取り揃えています。

  • Transpector CPM
    インフィコンが提供する各種RGAは、各種プロセスガス中の不純物及び混合ガスの変動を極めて高い感度で検出することができる、リアルタイム・プロセスモニターです。...

  • CPMコンパクトプロセスモニターは、あらゆる機能を備えたコンパクトな質量ガス分析計で、複合プロセスのIn-Situ モニターリングに最適です。エッチングやCVDなど、一部の複合アプリケーションで使用される高腐食性ガスに対応するため、HexBlockのインレットは316ステンレス鋼のブロックから削り出し、ポンプも耐腐食性のものを採用しました。また、過酷な環境でも長寿命を確保できるように、検出器にはクローズドイオンソース(CIS)を使用しており、sub-ppmレベルで汚染物質の検出が可能です。
  • FabGuard IPM
    FabGuard IPMは、FDC(Fault Detection and Classification) 機能と強力な解析ツール、およびインフィコン製センサーを統合し、半導体装置の状態やプロセスを効率よく分析することができます。...

  • Run-to- Run制御などにおける重要なパラメーターを監視し、検出されたあらゆる不具合や相当する原因を、装置、MESまたはユーザーにフィードバックします。FabGuard IPMは不良ウェハーの予防や装置ダウンタイムの縮小、歩留まり問題の改善に貢献します。
  • UL3000 Fab
    ヘリウムリークディテクタUL3000 Fab (PLUS) は、半導体関連用途でのリークテスト用に設計されています。...

  • インフィコンの可動式ヘリウムリークディテクターは、試験の柔軟性、高感度、素早く正確な結果、クイックスタート、可動性、システムの信頼性といった半導体の厳しい要求事項を満たすよう特別に設計されています。また、進化した真空システムによって、大気圧からのリーク検出が可能になりました。スリムなデザイン、低い重心、大きなホイール、人間工学に基づいて設計されたハンドル等によって、UL3000 Fab (PLUS) は、狭いスペースでも高い移動性を実現しています。
  • FPS
    スマートマニュファクチャリングに欠かせないメンテナンスの最適化を実現する「Maintenance Scheduler」とFabGuard-Webの統合で生産性を向上することができます。...

  • INFICON-FPSが提供するMaintenance Schedulerは、Wafer単位のタスク管理、予測可能な消耗品交換、定期的な予防保全を実行し、さらに突発的なイベント対応に対して作業者の自動担当振り分けやメンテナンス・スケジュールの自動リスケジュールが可能です。したがって、装置の稼働率だけでなく作業者の生産性の向上ももたらします。FabGuard-Webと連係によって装置の状態、SPCチャートなどへドリルダウンすることができます。

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
太陽光発電(PV)/Photovoltaic, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor