VAT

横浜市神奈川区,  神奈川県 
Japan
http://www.vatskk.co.jp/
  • 小間番号4407


スイスVAT社は世界最大の真空バルブメーカーです。国内外大手半導体メーカーの多数の導入実績があります!

今回は最新のゲートバルブ,コントロールバルブ、モーションコンポーネントなど、最新のVAT製品が搭載されているマルチバルブモジュールを通して、実際のバルブの動きがご覧頂きながら、ご要求にあったご提案をさせていただきます。

  • 高真空ゲートバルブ Series 09
  • 溶接ベローズ
  • 角型ゲート/インサート L-MOTION Series 053
  • 大気ドアー Series 070
  • オールメタルバリアブルリークバルブ Series 59
  • Lゲートバルブ/インサート Series 92
  • オールメタルアングルバルブ Series 54
各バルブの性能をご確認いただきながら、半導体製造の課題解決に向けたご相談ブースをご用意しております。是非この機会にご来場の上、弊社ブースにお立ち寄りください。さらに、スイスワインやドイツビールが楽しめるハッピーアワーを12月13日(木) 16時-17時に開催します!


 プレスリリース

  • VAT 株式会社は高性能でハイエンドの真空バルブ、マルチ・バルブ・モジュール、溶接ベローズにおいて世界をリードするメーカーです。弊社の強みは最先端のテクノロジー、市場ポジション、世界中にいる顧客との長期に渡る信頼関係、そして優秀な人材にあります。テクノロジーリーダーとして、VATは急増する消費者・工業用の半導体・デジタルディスプレイの需要、製造プロセスの効率化などの長期的な成長トレンドと共に会社も成長を続けています。

    今年は最新のゲートバルブ,コントロールバルブ、モーションコンポーネントなど、最新のVAT製品が搭載されているマルチバルブモジュールを通して、実際のバルブの動きがご覧頂きながら、ご要求にあったご提案をさせていただきます。VATの最新の真空バルブをSEMICONで是非ご体験ください!

    スイスワインやドイツビールが楽しめるハッピーアワーは12月13日(木) 16時-17時に開催します!是非弊社ブースへお気軽にお立ち寄りください。


 出展製品

  • 高真空ゲートバルブ、SERIES 09
    真空封止アプリケーション用、特に堆積物の多いアプリケーションに最適。 【特徴】 ●過酷なプロセスにおける確実な封止 ●シンプルなウェッジデザインによる容易なメンテナンスと頑丈さ ●0.1mPa の差圧でバルブの開閉動作可能...

  • 技術データ
    サイズ:DN 50 – 160 mm (2“ – 6“)
    アクチュエータ:手動式:クランクハンドル式、圧空作動式:複動シリンダー
    ボディ材質:ステンレススチール
    軸シール:ベローズ
    標準フランジ:ISO-KF, ISO-F, CF-F, ASA-LP, JIS
    シーリング技術:ウェッジシール
    リーク量:バルブボディ < 1 × 10-9 mbar ls-1
         バルブシート < 1 × 10-7 mbar ls-1

    使用圧力範囲:1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)
    ゲートにかけ得る許容最大差圧:≤ 1.2 bar
    バルブを開けるときの許容最大差圧:≤ 1 bar
    第1回サービスまでのサイクル数1):5,000
    ベローズ軸シールのサイクル数1):100,000
    取付け方向:自由
    電磁弁:24 V DC, 5.4 W(others on request)
    リミットスイッチ接点容量:
    電圧 10 – 30 V DC, 電流 ≤ 0.5 A, 電力 max. 10 W

    温度
    バルブボディ:≤ 150 °C
    手動/圧空アクチュエータ:≤ 100 °C
    電磁弁:≤ 50 °C
    リミットスイッチ:≤ 60 °C
    材質
    バルブボディ:AISI 304 (1.4301)
    ゲート:AISI 304 (1.4301)
    ベローズ:AISI 633 (AM350)
    シール
    ボンネット、ゲートFKM (Viton®)

    オプション、カスタムソリューション
    アクチュエータ
    - インパルス電磁弁:停電時、バルブの最終位置を保持
    - 別置き用電磁弁付き
    - 多種の電磁弁電圧(標準:24 V DC)
    バルブ
    - O-リング軸シール
    - 軸シール用のPTFEベローズ
    - ポート付き(粗引き(バイパス)、ベント、排気またはゲージ用)

  • 角型ゲート/インサート MONOVAT, L-MOTION Series 053
    半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバーの真空封止用。 特にエッチャー・CVDのような過酷なプロセスに最適です。 – real L-MOTION によるゲートシールの  均一な押し付けおよび長寿命化 – パーティクルフリー、ショックフリー – シール材に合わせてシール力を調整可能 – 低ショッ...

  • 【特徴】

    開口サイズ:50 x 336 mm to 80 x 500 mm(1.97“ x 13.23“ to 3.15“ x 19.69“)
    アクチュエータ:圧空作動式:複動シリンダー リミットスイッチ付き
    ボディ材質:表面処理なしまたは硬質アルマイト加工アルミニウム
    シール技術:L-MOTION: VATカタログ参照

    オプション】
    バルブ
    - お客様指定のシール材料
    - 加熱/冷却機構
    - ステンレススチールボディおよびゲート
    - 2重リミットスイッチ
    その他はお問い合わせ下さい。

  • 溶接ベローズ
    半導体業界を始めとした真空業界のみならず、医療技術、研究開発および自動車業界において数多くご利用いただいております。 【特徴】 ●高気密性 ●クリーン ●パーティクルフリー ●お客様ごとにカスタマイズしたソリューション...

  • VATの溶接ベローズのおもな特徴は高気密性、クリーン度と繰り返し寿命にあります。

    <多種多様な用途>

    研究
    VATの溶接ベローズは世界中にある多種多様の加速装置に使われています。溶接ベローズの幅広いサイズと材料はどんな状況の使用にも対応できます。VATの持っている柔軟性、創造性と技術的ノウハウが高い付加価値の提供を可能にしています。

    医療
    溶接ベローズは患者の体内に埋め込まれる医療機器の一部として使われています。また、CTスキャナーのような医療装置でも使われております。医療機器に求められる材料に適応すべくF67(純チタン)とSST316Lなど、さまざまな材料で生産されています。

    産業
    産業によっては、溶接ベローズに真空機能を求められないケースもあります。しかし、溶接ベローズの特徴である密封シールは重要となります。また、各製品は多種多様な業界の課題に対応できるよう提供されています。

    自動車
    燃料噴射装置に組み込まれて使用されるダンパカプセルは、高圧ポンプにおける脈動を抑えます。溶接ベローズ技術を応用した本製品は、完全自動化生産システムにより年間数百万個生産され、市場に提供されています。

    スタンピング

    VATの優位性として最適化されたダイヤフラムのスタンピング(打ち抜き・型押し同時加工)があります。これにより、標準サイズの溶接ベローズの安定した大量生産を支えています。

    洗浄
    VATは個々の要求に見合った三段階の洗浄工程をご提案します。標準洗浄はISO8の環境下で行われます。仕入れた部品はアルカリ洗浄後、超純水ですすぎます。部品はその後、最後の組立と包装のため厳しい環境下で管理されます。高純度な洗浄ラインでは標準洗浄に加え、UV-A、光明目視検査などを追加しています。最高純度の洗浄ラインではISO5の完全自動化された環境下で洗浄・包装されます。

  • 大型ドアー L-VAT、SERIES 07
    FPD およびPv セル製造装置用 【特徴】 ●ショックフリーなl 字動作 ●パーティクルフリー ●保有コストが低い...

  • 主な特徴
    開口寸法: 25 × 560 mm to 80 × 3500 mm (0.98" × 22.05" to 3.15" × 137.80")
    アクチュエータ: 圧空作動式:リミットスイッチ付き複動シリンダー
    ゲート材料: アルミニウムまたはステンレススチール
    シール技術: lvaT:用語解説参照

    技術データ
    リーク量 :閉方向ゲート < 1 · 10-7 mbar ls-1 (Δp at gate = 1 bar)
    ゲートにかけ得る許容最大差圧: 閉方向 ≤ 1 bar、開方向 ≤ 5 mbar
    バルブを開けるときの許容最大差圧: ≤ 5 mbar
    第1 回サービスまでのサイクル数 : 1 百万
    閉 / 開時間: ≤ 2.5 s
    許容温度 :ゲート ≤ 120 ºc、アクチュエータ、リミットスイッチ ≤ 80 ºc
    材質: ゲート eN aw-5083 (3.3547)、アクチュエータシャフト aIsI 304 (1.4301), 硬質クロムメッキ、接続部材 eN aw-6082 (3.2315)
    シール :ゲート FKm (viton®)、アクチュエータ、圧力プレート FKm (viton®) and NBR
    取付け方向: アクチュエータ上向、下向、横向
    リミットスイッチ: 電圧 10 – 30 v Dc PNP (NPN optional)

    オプション、カスタマイズソリューション

    – 24 v Dc インパルス電磁弁
    – 表面処理 例:硬質アルマイト加工またはニッケルメッキ
    – 標準以外のシール材料


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
太陽光発電(PV)/Photovoltaic, 半導体/Semiconductor