ウシオ電機

  • 小間番号1429


 出展製品

  • ハロゲンヒータ
    ハロゲンヒータとは、ハロゲンランプの赤外域の光を、効率よく取り出すために開発された加熱源で、投入電力の85%以上が熱に変換され、非常に高効率なエネルギー源です。...

  • ハロゲンヒータによる加熱は、フレキシビリティとコントロール性に富み、ほかの熱源にない優れた特徴を有し、半導体・LCD等の電子デバイス製造プロセス、自動車部品加熱、CFRP等の樹脂素材加熱など、さまざまな産業分野にてウシオの熱処理システムが適用されています。
  • フラッシュランプアニール装置
    UVから可視・赤外域までの連続波長を有したクセノンフラッシュランプの光により、数百μsec~数十msecの点灯時間で、基板・材料の表面へ非接触・瞬間加熱を実現。...

  • Si/SiCウェーハ、ガラス、プラスチックフィルム、フレキシブル基板など多様な研究開発から生産(製造)ライン用途まで適用が可能です。
  • LEDアニール装置(参考出展)
    ハロゲンヒータ、フラッシュランプに次ぐ第三の放射熱源です。...

  • 基板表面の加熱が可能で、金属材料に優れた加熱効率を発揮します。
  • 大面積一括投影露光装置 UX-4
    ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用いたプロジェクションアライナーです。...

  • 8インチまでのウェハをマスクと非接触で一括露光することが可能です。
    広い焦点深度を用いた平らでないウェハに対する露光を可能にし、プロキシミティアライナーには無い高生産性、高歩留りを達成します。
    【要素技術】
    ・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載
    ・高い均一度を誇る独自の照射光学系
    ・他に類を見ない大面積投影レンズ
     
  • レジストレスダイレクトパターニング(参考出展)
    世界初。ランプ方式の真空紫外平行光アライナー。...

  • 真空紫外光による親水化パターニング方式により従来のリソグラフィープロセスに比べ大幅な工程短縮を実現すると共に印刷方式では得られない微細パターン形成を実現します。有機トランジスタ、ウェアラブルセンサー、バイオデバイスなど新しい領域の実現へ道を開きます。また、新開発の高輝度パルス光源(PAT出願中)を平行光化することで、L/S=5/5μm以下※の解像性能を実現。大面積化のご相談も承ります。

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
No
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, プラスチック/有機/プリンテッドエレクトロニクス/Plastic/organic/flexible electronics, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor