エスオーエル

戸田市,  埼玉県 
Japan
http://www.sol-j.co.jp/
  • 小間番号1625


米国Corning Tropel社製の平面度測定機、粗さ測定機をご紹介致します。

ウェーハ、フォトマスク業界標準機の平面度測定を取り扱っております。平面度測定機は、SiC、Lt、GaNウェーハ等、様々な分野での実績がございます。測定でお困りのことがございましたら、是非ブースへお立ち寄り下さい。


 出展製品

  • 【ウェーハ用平面度測定機】FlatMaster-Wafer(手動機)
    30秒でウェーハ全面の平面度データを取得する斜入射干渉計。 測定精度0.1μm以下を保証します。 導入実績No.1のロングセラーモデルです。...

  • 【特長】

    1. 測定時間30秒!全面一括高速測定

     レーザー光を広げて全面一括で測定を行い、最大25万点のデータを取得できます。測定時間も短く、サンプルセットから解析まで30秒以下で完了します。また温度や振動など外部からの影響に強く、安定した高精度測定が可能です。

     

    2. 精度0.1μm以下!NISTトレーサブル

     トロペル社の平面度測定機は全ラインナップにおいて、繰り返し精度(Repeatability)だけでなく、校正原器に対する測定精度(Accuracy)も保証しています。米国立標準技術研究所・NIST規格に準拠した校正原器も標準で付属しているため、毎日精度を確認した上で安心して測定して頂けます。

    3. アズスライスからポリッシュまで対応

     光は入射角度によって反射率が大きく異なります。斜入射方式のFlatMasterでは反射率の高い角度を採用することで、鏡面だけでなく研削・切削面の測定にも対応しています。アズスライスからポリッシュまで幅広くお使い頂けます。

    4. 実績No.1のロングセラーモデル

     FlatMaster-Waferは最も歴史が長く実績も豊富な、トロペル社の定番モデルです。20年以上前からお使いのお客様も珍しくなく、操作性や耐久性の面でもご評価頂いています。
     ウェーハの保持方法は垂直方式と水平方式があります。

    機種名 FlatMaster100 FlatMaster200
    測定原理 斜入射干渉計
    ウェーハサイズ 2"~4" 2"~8"
    Zoom追従範囲
    (横分解能)
    20~100mm
    (80~240μm/pixel)
    40~200mm
    (96~457μm/pixel)
    測定波長 635nm 半導体レーザー
    縞感度 1.5~8μm/fringeの中で1つご指定
    XR、XRAオプション
    (縞感度可変オプション)
    XRは4~8μm/fringeの中で3段階可変
    XRAは1.5~8μm/fringeの中で3段階可変
    測定データ数 最大約25万点
    測定分解能 0.01μm
    測定精度(Accuracy) 0.10μm以下
    繰返し精度(Repeatability) 0.025μm(1σ)以下
    測定時間 サンプルセットから解析まで30秒以下
  • 【ウェーハ用平面度測定機】FlatMaster-Semi Auto Wafer(半自動機)
    30秒でウェーハ全面の平面度データを取得する斜入射干渉計。 測定精度0.1μm以下を保証します。 チャック交換不要のユニバーサルチャック採用。 将来的に自動機へのアップグレードが可能です。...

  • 【特長】

    1. 測定時間30秒!全面一括高速測定

     レーザー光を広げて全面一括で測定を行い、最大25万点のデータを取得できます。測定時間も短く、サンプルセットから解析まで30秒以下で完了します。また温度や振動など外部からの影響に強く、安定した高精度測定が可能です。

    2. 精度0.1μm以下!NISTトレーサブル

     トロペル社の平面度測定機は全ラインナップにおいて、繰り返し精度(Repeatability)だけでなく、校正原器に対する測定精度(Accuracy)も保証しています。米国立標準技術研究所・NIST規格に準拠した校正原器も標準で付属しているため、毎日精度を確認した上で安心して測定して頂けます。

    3. アズスライスからポリッシュまで対応

     光は入射角度によって反射率が大きく異なります。斜入射方式のFlatMasterでは反射率の高い角度を採用することで、鏡面だけでなく研削・切削面の測定にも対応しています。アズスライスからポリッシュまで幅広くお使い頂けます。

    4. 交換不要のユニバーサルチャック採用

     FlatMaster-Semi Auto Waferは、自動機から搬送機構を外した半自動機です。チャックは自動機と同じユニバーサルチャックを採用しているため、ウェーハのサイズや吸着/非吸着を切り替えても一つのチャックで測定できます。
     また、将来的に搬送機構を取り付けて自動機へアップグレードすることも可能です。

    機種名 FlatMaster100 FlatMaster200
    測定原理 斜入射干渉計
    ウェーハサイズ 2"~4" 2"~8"
    Zoom追従範囲
    (横分解能)
    20~100mm
    (80~240μm/pixel)
    40~200mm
    (96~457μm/pixel)
    測定波長 635nm 半導体レーザー
    縞感度 1.5~8μm/fringeの中で1つご指定
    XR、XRAオプション
    (縞感度可変オプション)
    XRは4~8μm/fringeの中で3段階可変
    XRAは1.5~8μm/fringeの中で3段階可変
    測定データ数 最大約25万点
    測定分解能 0.01μm
    測定精度(Accuracy) 0.10μm以下
    繰返し精度(Repeatability) 0.025μm(1σ)以下
    測定時間 サンプルセットから解析まで30秒以下
  • 【ウェーハ用平面度測定機】UltraSortⅡ(自動機)
    ウェーハ全面の平面度データを取得する、自動搬送機付きの斜入射干渉計。 測定精度0.1μm以下を保証します。 従来機の約2倍、最大で150枚/1hのスループットを実現。 ご要望に合わせた柔軟なカスタマイズが可能な次世代モデルです。...

  • 【特長】

    1. 従来機の約2倍のスループットを実現

     UltraSortⅡは1時間で最大150枚の吸着・非吸着同時測定(厚みを同時に測定する場合でも1時間で120枚)が可能です。
     全面一括最大25万点のデータを取得、外乱の影響にも強く、安定した高速・高精度測定を実現します。

    2. 精度0.1μm以下!NISTトレーサブル

     トロペル社の平面度測定機は全ラインナップにおいて、繰り返し精度(Repeatability)だけでなく、校正原器に対する測定精度(Accuracy)も保証しています。米国立標準技術研究所・NIST規格に準拠した校正原器も標準で付属しているため、毎日精度を確認した上で安心して測定して頂けます。

    3. アズスライスからポリッシュまで対応

     光は入射角度によって反射率が大きく異なります。斜入射方式のFlatMasterでは反射率の高い角度を採用することで、鏡面だけでなく研削・切削面の測定にも対応しています。アズスライスからポリッシュまで幅広くお使い頂けます。

    4. 交換不要のユニバーサルチャック採用

     UltraSortⅡは、ウェーハのサイズや吸着/非吸着が変わっても1つのチャックで測定できる、ユニバーサルチャックを採用しています。
     またカセットの増設、オンライン化、その他柔軟なカスタマイズが可能な次世代モデルです。

    機種名 UltraSort150-Ⅱ UltraSort200-Ⅱ
    測定原理 斜入射干渉計
    ウェーハサイズ 2"~6" 4"~8"
    測定波長 635nm 半導体レーザー
    縞感度 1.8~6.5μm/fringeの中で1つご指定
    XRAオプション(縞感度可変オプション) 1.8~6.5μm/fringeの中で3段階可変
    測定データ数 最大約25万点
    測定分解能 0.01μm
    測定精度(Accuracy) 0.10μm以下
    繰返し精度(Repeatability) 0.025μm(1σ)以下
    スループット 吸着・非吸着 150枚/h
    吸着・非吸着・厚み 120枚/h(オプション)
    カセット数 標準は4個(オプションで8個、12個、16個が可能)
    オンライン化 可(内容は要ご相談)
    ロボットアーム 2本
  • 【高精度ウェーハ形状・厚み測定機】FlatMaster MSP-Wafer(手動機・自動機)
    TTV、SORIの測定に加え、高精度な厚み測定も可能な垂直入射干渉計。 膜厚分布や研磨量を全面データで解析できます。 自動搬送機付きのモデルもあります。...

  • 【特長】

    1. 平面度から厚みまで!全面一括測定

     平面度と厚みを同時に測定。約60秒でウェーハ全面最大78万点のデータを取得、解析まで完了します。温度や振動など外部からの影響に強く、安定した高精度測定が可能です。

    2. 精度0.1μm以下!NISTトレーサブル

     トロペル社の平面度測定機は全ラインナップにおいて、繰り返し精度(Repeatability)だけでなく、校正原器に対する測定精度(Accuracy)も保証しています。米国立標準技術研究所・NIST規格に準拠した校正原器も標準で付属しているため、毎日精度を確認した上で安心して測定して頂けます。

    3. アズスライスからポリッシュまで対応

     FlatMaster MSP-Waferは独自のフリンジスキャン方式を採用することで、わずかな干渉縞から平面度を読み取ることができます。そのため鏡面だけでなく、光の反射しづらい研削・切削面の測定にも対応しています。アズスライスからポリッシュまで幅広くお使い頂けます。

    4. 交換不要のユニバーサルチャック採用

     ウェーハのサイズや吸着/非吸着が変わっても1つのチャックで測定できる、ユニバーサルチャックを採用しています。

    5. 高精度厚み測定で加工プロセス評価にも

     ウェーハ全面最大78万点の高さデータを絶対値で取得できるため、他の機種よりさらに高精度に厚みを測定することが可能です。そのため加工前後で比較して膜厚分布や研磨量分布を全面データで解析するなど、加工プロセスの評価にもお使い頂けます。

    機種名 FlatMaster
    MSP150-Wafer
    FlatMaster
    MSP300-Wafer
    測定原理 垂直入射干渉計
    ウェーハサイズ 2"~6" 2"~12"
    測定波長 830nm AlGaAs半導体レーザー
    測定データ数 最大約78万点 最大約400万点
    測定分解能 0.01μm
    測定精度
    (Accuracy)
    平面度 0.060μm
    平行度 0.100μm
    厚み 0.250μm
    繰返し精度
    (Repeatability)
    平面度 0.020μm
    平行度 0.025μm
    厚み 0.100μm
    測定時間 サンプルセットから解析まで約60秒
  • 【粗さ測定機】FlatMaster-Ra(手動機)
    非接触の表面粗さ測定機。 独自の機構により、ワークの厚みや高さが変わっても連続的に測定することができます。...

  • 【特長】

    1. 測定時間15秒の高速測定

     レーザー光を広げて全面一括で測定を行い、最大100万点のデータを取得できます。測定時間も短く、サンプルセットから解析まで15秒以下で完了します。また温度や振動など外部からの影響に強く、安定した高精度測定が可能です。

    2. 乗せるだけの簡単オートフォーカス

     測定対象の高さや厚みに関わらず、常に干渉計と測定面の距離が保たれるので、ピントの合う位置を探す必要がありません。

    3. アズスライスからポリッシュまで対応

     鏡面だけでなく研削・切削面の測定にも対応しています。アズスライスからポリッシュまで幅広くお使い頂けます。

    機種名 FlatMaster Ra
    測定原理 白色干渉計
    視野(標準) 1mm
    視野(オプション) 0.2mm, 0.5mm, 3.2mm
    測定データ数 最大約100万点
    測定項目 Ra, Ry, Sa, St 他
    繰返し精度(Repeatability) 0.02nm(1σ)
    測定時間 サンプルセットから解析まで約15秒

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
No
製品展示/Displaying Equipment
No
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor