ナガセテクノエンジニアリング

横浜市港北区,  神奈川県 
Japan
http://www.nagase-nte.co.jp/
  • 小間番号4727


ナガセテクノエンジニアリング㈱は最先端の技術を活かしお客様の様々なニーズにおこたえします。

米国H-Square社・ePAK社製品:半導体/MEMS/LED/フラットパネル/ディスク/バイオ/フォトリソグラフィー/太陽電池など、各業界向に、ご用途とプロセスに合う基板搬送用ハンドリングツール・装置及び各種カセットを出展いたします。脆弱な極薄ウエハにも対応可能な、卓上型の枚葉移載装置や非接触型搬送ツールのデモンストレーションも行います。

米国CDE社製、卓上タイプの四探針抵抗率測定装置を展示デモいたします。

興研社製オープンクリーンシステムKOACH:オープンな環境でISOクラス1の清浄空間を実現します。卓上タイプを展示デモいたします。清浄度をご体感下さい。

液体のコーターである、Micro Mist Coater 静電塗布装置を展示いたします。静電気力を利用して液体を微細化する技術を応用し、精度の高い成膜技術をご紹介いたします。


 出展製品

  • 興研社製テーブルコーチ T500-F
    オープン環境でクリーン度クラス最高(ISO1)を作り出す画期的なクリーンユニット 手軽に持ち運んで卓上に設置できるコンパクトなサイズです。 囲いがないので作業性に優れます。...

  • オープンクリーンシステムKOACH(コーチ)は、超極細高性能フィルター技術と、高精度な整流技術により、

    密閉されていないオープンな環境下でも、短時間・低コスト・低消費電力で世界最高水準(ISOクラス1)の

    クリーン空間を実現できる、スーパークリーンシステムです。

    <仕様>

    本体外形寸法 541(W)×289(D)×334(H) mm
    吹出開口面寸法 494(W)×306(H) mm
    重量 約28kg(約14kg x 2台)
    清浄空間 700mm以内(開口面間距離)
    電源 単相100v 50Hz/60Hz
    定格消費電力 70~220w(35~110W x 2台)
  • ePAK社製ウエハカセット
    半導体および電子デバイスを保護し安全に輸送する基板搬送用のカセット及び容器...

  • ・プロセス用カセット

    ・保管用カセット

    ・出荷容器

    ・ウエハジャー

    ・ウエハシングルシッパー

    ・フレックスフレーム

    その他

    デバイスの保護とコンタミネーションの制御は、ウェハ工場で開始され、アセンブリサイトまで広がります。 ePAKは、半導体およびエレクトロニクス業界で最も価値の高い製品も、最も脆く、誤った取り扱いや汚染の影響を受けやすいことを決して忘れません。 バックグラインド、ユニークな材料セット、エキゾチックな半導体プロセスでは、すべてのウェーハが均等に作られるわけではありません。
    ePAKの最も先進的なeLXウェーハキャニスターからコスト効率の高いウェーハジャーまで、ePAKテーラーはお客様の要件を満たすために製品に適合します。

  • 静電スプレーコーティング装置
    液体を微粒化させてスプレーする特殊なスプレーコーティング装置です。 ・静電気の力を利用して液体を微粒化 ・膜厚:数百nm~数十μmの膜厚で成膜(高い膜厚制御性) ・レジストや微粒子が分散した液剤のコーティング ・凹凸面へのコーティング ・液剤の使用コスト削減 ・低粘度~高粘度の液剤に対応 ・デモ装置あり ・小型試作機から大型生産機まで対応...

  • ナガセテクノエンジニアリングのブースで静電スプレーコーティング装置を展示致します。

    営業担当もブースに居りますので、是非ともご来場ください。小間番号:4727Hall 4

    私共は静電スプレーコーティング装置(Micro Mist Coater 静電塗布装置)を製作販売しております。

    小型の試作機(大学向け)~中大型試作機(一般企業向け)~量産機まで、ご提供しております。

    この装置は弊社の横浜センター(神奈川県横浜市)にてデモが可能です。

    この装置はエレクトロスプレーという現象を利用し、液体をミスト化します。エレクトロスプレーとは、ノズル内の液体に数千ボルトの電圧を印加し、ミスト化する現象です。帯電した液体は静電気力の反発により細かくミスト化され、基材に向かって進み付着します。この原理を利用して、様々な形状の塗布に対応しています。

    【特徴】特徴のある機能性コーティング

    ・レジストや微粒子が分散した液剤の塗布

    ・液剤のコスト削減

    ・凹凸面への成膜

    ・高い均一性(容易な膜厚調整機能)

    ・クリーン環境を保つ

    既存のコーティング技術とは全く異なる結果を得られるケースが多々あります。

    【応用】

    ・MEMSデバイス
    ・半導体
    ・有機半導体
    ・燃料電池
    ・フィルム基材用途
    ・食品関係
    ・医薬品関係

    【デモ試作】

    デモ試作にてお客様に静電塗布スプレーコーティング装置の能力をお試し頂けます。

    私共ではデモ試作のデータを元に、最適な装置をお客様にご提案しています。

    こちらからもお問い合わせ可能ですので、お気軽にご連絡下さい。

  • H-Square社製 AWM型自動ウエハ枚葉移載装置
    カセット間でウエハを移載する卓上ソーターです。...

  • <特長・仕様>

    ・省スペース(卓上型)

    ・SEMI規格ウエハ、厚ウエハ、薄ウエハに対応

    ・生産工程、検査工程、研究開発、テスト工程等向け

    ・タッチスクリーン操作

    ・ウエハマッピングセンサ及び緊急EMOスイッチ搭載

    ・電源:100-120VAC、24VDC

    ・寸法:高693.4mm/奥行769.6mm/幅563.8mm

    ・重量: 36Kg

  • CDE社製 抵抗率測定装置
    4探針法、卓上型の抵抗率測定装置...

  • テーブルトップの抵抗率測定装置です。

    導入メリット

    ・測定精度が高く、再現性が高い

    ・プローブの寿命が長い

    ・2インチ~12インチまで幅広いウエハサイズに対応

    ・jコンパクトな卓上型


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, その他/Other, 太陽光発電(PV)/Photovoltaic, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor