SPPテクノロジーズ

千代田区大手町,  東京都 
Japan
http://www.spp-technologies.co.jp
  • 小間番号3509


オープンセミナー聴講者にはプレゼント! カフェスペースでちょっと休憩していきませんか? ハッピーアワーも遊びに来てくださいね

SPPテクノロジーズは、MEMS・半導体製造に不可欠なSi深掘り装置(DRIE)において、2018年6月で発売24周年を迎えたトップメーカとして、英SPTS社と蓄積した経験をご紹介します。
また、新プラズマ源を搭載したDRIE最新鋭機をはじめ、犠牲層エッチングや厚膜CVD、圧電薄膜スパッタ等の取扱装置に関する最新技術をご紹介します。
さらに、2015年6月にSPTS社より米国シリコンバレーを拠点とするThermal Products事業を譲り受け、100%子会社SPT Microtechnologies USAとして運営を開始しました。この事業についてもご紹介します。

そして、3次元実装(3D)やパワー半導体、MEMS、LEDなどのデバイス向けソリューションをご提案します。

最後に、ハッピアワーでは、日本酒を振舞いますので、是非お立ち寄り願います。


 出展製品

  • シリコン深掘り(DRIE)装置(ASE-Proxion、Predeus、Pegasus、SRE)
    MEMS・半導体製造に不可欠なSi深掘り装置で、今年発売24年目を迎えた...

  • 【特長】
    ・高精度エッチング
    ・高均一性
    ・低スキャロップ・高速エッチング
    ・SOIノッチフリー
    ・高マスク選択比
    ・高アスペクト比エッチング
  • ミニマル装置(Si深掘り、メタルドライエッチング、プラズマTEOS-CVD、SiNプラズマCVD)
    ミニマルファブ対応のミニマル装置...

  • 【特長】
    【Si深掘り】
    ・SOIノッチフリー
    ・高マスク選択比
    ・高アスペクト比エッチング
    【プラズマTEOS-CVD】
    ・厚膜成膜
    ・低ストレス
    【メタルドライエッチング】
    ・高選択比
    ・垂直なエッチング
  • SiC、化合物/酸化膜エッチング装置(APS-Spica、Sirius)
    SiCや化合物/酸化膜のエッチング装置...

  • 【特長】
    【APS-Spica】
    ・低ダメージ
    ・高エッチング量制御性
    【APS-Sirius】
    ・高速エッチング
    ・高アスペクト石英エッチング
    ・サブトレンチフリーSiCエッチング
  • 分子膜成膜装置(MVD)
    各種機能膜(スティッキング防止/親水/撥水/防湿/防食/防汚)の成膜装置...

  • 【特長】
    ・コンフォーマルな成膜
    ・低温成膜(150℃以下)
    ・大型基板対応
  • 熱処理装置(SPT USA社AVP/RVP/RVP-300)
    Poly-Si膜やSiN膜の常圧CVD装置及び熱処理装置...

  • 【特長】
    ・厚膜Poly-Si
    ・高スループット
    ・低ストレスSiN
    ・低コスト

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
No
製品展示/Displaying Equipment
No
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, その他/Other, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor