荏原製作所

藤沢市本藤沢,  神奈川県 
Japan
http://www.ebara.co.jp
  • 小間番号4344


高度な精密製造技術で半導体の進化と豊かな情報化社会の発展を支えます。「その先へ、更なる高みへ」向かって挑戦を続けます。

荏原製作所は1912年(大正元年)に創業し、2012年に創業100周年を迎えた産業機械メーカです。創業事業であるポンプやコンプレッサーなどの風水力事業の他、水処理プラントやごみ焼却プラントなどの環境エンジニアリング事業、さらに半導体製造装置などの精密・電子事業と事業領域を拡大してきました。近年、スマートフォンやタブレット端末をはじめとするモバイル機器及びこれらの情報機器の通信を支えるインフラ(クラウド)の市場は大きく成長しています。

今回出展させて頂いております精密・電子事業カンパニーは、そうした製品や技術の中核となる半導体・FPD・LED・太陽電池等の製造メーカを主なお客様とし、そのニーズに応える半導体産業用装置・機器、真空機器を開発・製造しています。主力製品であるCMP装置及びドライ真空ポンプは世界シェア上位を誇る製品として、多くのお客様にご採用頂いており、CMP装置は2016年に出荷累計2000台を達成し、ドライ真空ポンプは2018年5月に出荷累計15万台を達成しています。
荏原のCMP装置は、微細化や多層化において求められるナノ単位の平坦性を実現してきました。開発当初から一貫した荏原独自の“基板ウェハを1テーブルで1枚ずつ丁寧に研磨処理し、かつ4テーブル構成で高スループットを実現する”というコンセプトの下、F-REX300SⅡ型や洗浄部の生産性を向上させた最新のF-REX300X型は年々高くなるプロセス性能と高い生産性のご要求を満たし、より幅広いお客様のニーズに応えることが可能となりました。
また、近年は半導体産業にて培ったドライ真空ポンプのクリーンな排気特性を一般産業向けに生かすべく、空冷式ドライ真空ポンプの開発・販売にも力を注いでおり、多くの業界における排気システム構築に対応できることが荏原製作所製品の強みです。半導体産業をはじめ、FPD・LED・太陽電池と様々な業界のプロセス装置向けにドライ真空ポンプや排ガス処理装置を顧客ニーズに応じた形で開発・製造・販売しています。さらに、現在では環境負荷低減や生産設備のクリーン化などの観点から、計測・分析機器や医療機器、自動車産業など、幅広い産業分野にも活躍の場を広げています。
主力製品の他にも、次世代のノードに対応するめっき装置、ベベル研磨装置といった各種装置群も市場投入しています。

Semicon Japan2018の会場では、ドライ真空ポンプについては展示機・パネルと共に、CMP装置などの半導体製造装置はパネルにてご紹介を予定しております。
お困りのことがございましたら、様々な用途に対応可能な荏原製作所にお気軽にご相談いただきたくお願いいたします。皆さまのお越しをお待ちしております。


 出展製品

  • ドライ真空ポンプ
    EV-A10型、EV-M型、EV-S型、ESA型、EV-PA型、EV-SA型、EV-L型...

  • 半導体産業向けドライ真空ポンプの開発・製造を1985年より開始し、半導体製造に不可欠なクリーンな真空環境の構築に携わり、FPD・LEDや太陽電池産業向けそれぞれの産業に適したドライ真空ポンプの開発・製造にも挑戦してまいりました。また、多くのお客様から求められた小型化・省エネルギー化にも取組み、初期のドライ真空ポンプと比較し、50~80%の電力削減効果やフットプリントの削減を達成しています。
  • 半導体製造装置
    CMP装置(F-REX型)、めっき装置(UFP型)、ベベル研磨装置(EAC型)...

  • 【CMP装置(F-REX型)】
    ウェハ表面を化学的機械的に研磨するクリーンルーム設置型のCMP装置です。市場で証明された高い信頼性と優れたプロセス性能を有する本装置は、各ユーザの仕様に対応するようフレキシブルな装置構成が可能です。最新機種のF-REX300X型でも採用している当社独自の“1テーブル・1ヘッド” ”4テーブル・プラットフォーム”のコンセプトは、高スループットを可能とし、年々高まるプロセス要求性能の達成と高い生産性の両方を実現しています。


    【めっき装置(UFP型)】
    半導体ウェハにバンプ、再配線、ビア等の微細パターンを形成させるクリーンルーム設置型の電解めっき装置です。


    【ベベル研磨装置(EAC型)】
    半導体ウェハの端面であるベベル部分やその周辺のエッジ部分、またウェハ裏面部分を研磨することによって欠陥を除去する装置です。

  • 排ガス処理装置
    G5型、G6型、ドライ真空ポンプ+排ガス処理装置一体型システム...

  • 半導体産業向けドライ真空ポンプの開発・製造を1985年より開始し、半導体製造に不可欠なクリーンな真空環境の構築に携わり、FPD・LEDや太陽電池産業向けそれぞれの産業に適したドライ真空ポンプの開発・製造にも挑戦してまいりました。また、多くのお客様から求められた小型化・省エネルギー化にも取組み、初期のドライ真空ポンプと比較し、50~80%の電力削減効果やフットプリントの削減を達成しています。設備設置負荷低減に貢献し、統合排気システムとして一括操作・一括管理を実現させます。
  • オゾン水製造装置
    OZW型...

  • クリーンオゾナイザ(OZC型)、低汚染型加圧ポンプ、新開発のオゾン溶解方式を組み合わせることによって、次世代ウェットプロセス対応のクリーンなオゾン水を連続供給できる装置です。

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, その他/Other, 太陽光発電(PV)/Photovoltaic, プラスチック/有機/プリンテッドエレクトロニクス/Plastic/organic/flexible electronics, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor