エムエス機器

大阪市淀川区三国本町,  大阪府 
Japan
http://www.technosaurus.co.jp
  • 小間番号3221

半導体製造装置用に設計・製造されたSolid State Cooling Systems社のペルチェチラーをご紹介しております。
このチラーは、高性能なペルチェデバイスと熱交換効率に優れたプレートヒートエクチェンジャーを搭載したコンパクトで省エネ効果が極めて高い製品です。

また、このチラーは以下の特長を持っております。
✔冷却水の消費量が1/3
✔雰囲気中への発熱量(エアコンへの負荷)が1/8
✔シールレスポンプなので水漏れトラブルの心配もない

他にもSolid State Cooling Systems社のペルチェチラーを使う事によるメリットについて以下のような評価を受け、〝カイゼンチラー″として推奨されております。
✔小ボリューム密閉式タンクなのでフッ素系溶媒(ガルデン・フロリナート)のコストが大幅に削減
✔駆動部品がポンプだけなので突発故障が大幅に低減
✔モジュールパーツの採用により修理が容易でダウンタイムも大幅短縮
✔温度安定性が改善されたのでウエハーの品質が安定して歩留まりも向上
✔軽くてコンパクトで設置も楽々

是非、この機会にチラーのノンフロン化をお考え下さい。


 出展製品

  • プラズマエッチャーチラー 『ThermoRack1201』
    フロンガス不使用、プラズマエッチングに最適! 制御温度のばらつきを改善できます! 消費電⼒も削減できます !...

  • 主要エッチャーメーカーに対応

    プラズマエッチャーチラー  『ThermoRack1201』

    半導体製造工程のプラズマエッチングにおける温度制御チラーとして最適にデザインされています。

    ペルチェモジュールによる熱電原理に基づいた温度制御方式で、素早い温度応答性と高い温度安定性で冷却/加熱を制御します。±0.05℃の温度安定性でウエハー間、ロット間のバラつきを改善します。(First wafer effectの削減)また消費電力も従来のチラーに比べ、最大93 %削減できます。モジュールは7個のペルチェデバイスで構成されており、たとえ1個の不具合が発生した場合でも約85 %の能力が維持されます。

    素早い温度応答性
    優れた温度安定性
    騒⾳・振動を低減
    フロンガス不使用
    Fluorinrert Galdenに対応
    消費電⼒を最⼤93 %削減
    19インチラックに収まる省スペース

  • ペルチェチラー 『TCubeEdgeシリーズ』
    フロンガス不使用、低振動・低騒音・優れた温度安定性! 優れたコストパフォーマンス ...

  • ペルチェチラー 『TCubeEdgeシリーズ』

    冷却能力最大290 WのTCubeEdgeは、すぐれた温度信頼性で接続機器のパフォーマンスを最適化して高い採算性をもたらします。TCubeEdgeは循環水の温度変化に素早く応答して0℃~65℃の温度コントロールにおいて室温付近でさえも±0.05℃の再現性を実現します。スムーズなフローを実現するCentrifugalポンプは動作時の振動がなく、レーザー、光学、分析装置の様々なアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。

    ダイオード・半導体レーザー

    分析機器

    CCDカメラ

    粘度計

    化成品・ガス容器の正確な温度コントロール

  • ペルチェチラー 『ThermoCubeシリーズ』
    フロンガス不使用、低振動・低騒音・優れた温度安定性! 豊富なオプションでカスタマイズ可能! ...

  • ペルチェチラー 『ThermoCubeシリーズ』

    冷却能力200 W、300 W、400 W、600 WのThermoCubeはささやきのような静粛性・低振動で、室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもち、世界中の電源に対応のユニバーサル電源を搭載しています。豊富なオプションにより様々なアプリケーションに対応します。

    半導体製造装置の温度コントロール

    レーザーの冷却

    ガス容器の温度コントロール

    スキャニング電子顕微鏡

  • 循環冷却装置 『ThermoFlexシリーズ』
    コンパクト設計で24 kWまでの冷却能力を実現! 多種多様なアプリケーションにフレキシブルに対応! ...

  • 循環冷却装置  『ThermoFlexシリーズ』

    NESLAB Thermo Flexシリーズは、多種多様なアプリケーションにおいて、長期間・連続的に使用できるよう、強靱な冷却システムを搭載しております。配管類には漏れが無く、信頼性の高い配管システムを採用。標準装備のエアーフィルターや濾過フィルターは、メカニカルパーツの寿命を長持ちさせ、メンテナンスに要するコストを抑えることができます。

    ±0.1 ℃の優れた温度安定性

    強⼒な循環ポンプを搭載(最⼤吐出圧0.69 MPaまで対応)

    冷却能⼒ 900 W〜24000 W

    ヒートエクスチェンジャー搭載による⾼効率運転

    ⼤きな注⽔⼝と⾒易いレベルインジケーター

    空冷式/⽔冷式コンデンサーが選択可能

    通信インターフェイスをはじめ多様なオプションを⽤意

  • プラズマエッチャーチラー 『NIKOLA 3K/5K 』
    フロンガス不使用半導体製造工程のプラズマエッチングに最適! 消費電力最大60 %削減! ...

  • プラズマエッチャーチラー  『NIKOLA 3K/5K 』

    NIKOLA 3K/5Kは最大5500 Wの冷却能力で±0.05℃の温度安定性を提供します。

    従来のチラーに比べて消費電力は60 %も削減できます。駆動部は循環ポンプと冷却ファンの2つだけで、冷凍機を搭載していない為、高い信頼性と長寿命を誇ります。

    NIKOLA 3K/5Kは消費電力を削減して、空調の消費電力も最大50 %削減してフロンやその他冷媒を使用しない環境にやさしいチラーです。

    3000 W/5000 Wの大きな冷却能力

    消費電力を最大60 %削減

    Fluorinert Galdenに対応

    冷却水使用量を最大50 %削減

    駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計

    騒音・振動を低減


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
No
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
その他/Other, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor