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プラズマエッチャーチラー 『ThermoRack1201』

フロンガス不使用、プラズマエッチングに最適！ 制御温度のばらつきを改善できます！ 消費電⼒も削減できます !... More Info Less Info







主要エッチャーメーカーに対応

プラズマエッチャーチラー  『ThermoRack1201』

半導体製造工程のプラズマエッチングにおける温度制御チラーとして最適にデザインされています。

ペルチェモジュールによる熱電原理に基づいた温度制御方式で、素早い温度応答性と高い温度安定性で冷却/加熱を制御します。±0.05℃の温度安定性でウエハー間、ロット間のバラつきを改善します。(First wafer effectの削減）また消費電力も従来のチラーに比べ、最大93 %削減できます。モジュールは7個のペルチェデバイスで構成されており、たとえ1個の不具合が発生した場合でも約85 %の能力が維持されます。

■素早い温度応答性
■優れた温度安定性
■騒⾳・振動を低減
■フロンガス不使用
■Fluorinrert Galdenに対応
■消費電⼒を最⼤93 ％削減
■19インチラックに収まる省スペース



ペルチェチラー 『TCubeEdgeシリーズ』

フロンガス不使用、低振動・低騒音・優れた温度安定性! 優れたコストパフォーマンス ... More Info Less Info







ペルチェチラー　『TCubeEdgeシリーズ』

冷却能力最大290 WのTCubeEdgeは、すぐれた温度信頼性で接続機器のパフォーマンスを最適化して高い採算性をもたらします。TCubeEdgeは循環水の温度変化に素早く応答して0℃～65℃の温度コントロールにおいて室温付近でさえも±0.05℃の再現性を実現します。スムーズなフローを実現するCentrifugalポンプは動作時の振動がなく、レーザー、光学、分析装置の様々なアプリケーションにて要求される温度コントロールに対応できます。

■ダイオード・半導体レーザー

■分析機器

■CCDカメラ

■粘度計

■化成品・ガス容器の正確な温度コントロール



ペルチェチラー 『ThermoCubeシリーズ』

フロンガス不使用、低振動・低騒音・優れた温度安定性! 豊富なオプションでカスタマイズ可能! ... More Info Less Info







ペルチェチラー　『ThermoCubeシリーズ』

冷却能力200 W、300 W、400 W、600 WのThermoCubeはささやきのような静粛性・低振動で、室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもち、世界中の電源に対応のユニバーサル電源を搭載しています。豊富なオプションにより様々なアプリケーションに対応します。

■半導体製造装置の温度コントロール

■レーザーの冷却

■ガス容器の温度コントロール

■スキャニング電子顕微鏡



循環冷却装置 『ThermoFlexシリーズ』

コンパクト設計で24 kWまでの冷却能力を実現！ 多種多様なアプリケーションにフレキシブルに対応！ ... More Info Less Info







循環冷却装置  『ThermoFlexシリーズ』

NESLAB Thermo Flexシリーズは、多種多様なアプリケーションにおいて、長期間・連続的に使用できるよう、強靱な冷却システムを搭載しております。配管類には漏れが無く、信頼性の高い配管システムを採用。標準装備のエアーフィルターや濾過フィルターは、メカニカルパーツの寿命を長持ちさせ、メンテナンスに要するコストを抑えることができます。

■±0.1 ℃の優れた温度安定性

■強⼒な循環ポンプを搭載（最⼤吐出圧0.69 MPaまで対応）

■冷却能⼒ 900 W〜24000 W

■ヒートエクスチェンジャー搭載による⾼効率運転

■⼤きな注⽔⼝と⾒易いレベルインジケーター

■空冷式/⽔冷式コンデンサーが選択可能

■通信インターフェイスをはじめ多様なオプションを⽤意



プラズマエッチャーチラー 『NIKOLA 3K/5K 』

フロンガス不使用半導体製造工程のプラズマエッチングに最適！ 消費電力最大60 %削減！ ... More Info Less Info







プラズマエッチャーチラー  『NIKOLA 3K/5K 』

NIKOLA 3K/5Kは最大5500 Wの冷却能力で±0.05℃の温度安定性を提供します。

従来のチラーに比べて消費電力は60 %も削減できます。駆動部は循環ポンプと冷却ファンの２つだけで、冷凍機を搭載していない為、高い信頼性と長寿命を誇ります。

NIKOLA 3K/5Kは消費電力を削減して、空調の消費電力も最大50 %削減してフロンやその他冷媒を使用しない環境にやさしいチラーです。

■3000 W/5000 Wの大きな冷却能力

■消費電力を最大60 %削減

■Fluorinert Galdenに対応

■冷却水使用量を最大50 %削減

■駆動部は､ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計

■騒音・振動を低減

初出展/New Exhibitor

新製品/New Products

製品展示/Displaying Equipment

デモンストレーション/ Product Demonstrations

産業・技術分野/ Industries/Technologies