大塚電子

大阪市中央区,  大阪府 
Japan
http://www.otsukael.jp
  • 小間番号1738


光を媒体に、数ナノから数ミリメートルの膜厚測定をスタンドアローンからインテグレーションタイプの装置を一挙に紹介。

大塚電子は、光を媒体とした技術で、常に時代の最先端を行く分析機器・計測機器メーカです。

ウェーハ、フィルム、電子材料からの要望に応えるべく 非接触・非破壊の膜厚装置 を出展いたします。

(1)数ナノメートルから数ミリメータの 膜厚 を対象に

(2)数ミクロンメートルからの 測定スッポトサイズ を対象に

(3)測定場所を スタンドアローン、インテグレーション、インライン を対象に

(4)膜厚値ダイナミックレンジ6桁を有する計測装置を更に対象に加え

前工程ゾーン・Hall1の小間番号1738で出展しております。是非ともお立ち寄りください。

また、14日(金)16時00分より、東4ホールで開催されます出展者セミナーでは、「製造工程におけるin-situin-lineについての新たな膜厚検査のご紹介」の内容を予定しております。


 出展製品

  • 300mm wafer 対応膜厚計(ロードポート)
    ●ロードポートエリアに取り付け可能 ●小フットプリント ●高スループット(1ポイント1sec以下) ●オートマッピングシステム ●グローバルアライメント機能 ●ローカルアライメント機能 ...

  • ●ロードポートエリアに取り付け可能
    ●小フットプリント
    ●高スループット(1ポイント1sec以下)
    ●オートマッピングシステム
    ●グローバルアライメント機能
    ●ローカルアライメント機能
     
  • 顕微分光膜厚計
    顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。 各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/pointの高速測定が可能で初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。...

    • 膜厚測定に必要な機能をヘッド部に集約!
    • 顕微分光で高精度な絶対反射率測定(多層膜厚、光学定数)
    • 1ポイント1秒以内の高速測定
    • 顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系(紫外~近赤外)
    • エリアセンサーによる安全機構
    • 初めての方でも光学定数解析が可能な楽々解析ウイザード
    • 測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能搭載
    • 各種カスタマイズに対応

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, プラスチック/有機/プリンテッドエレクトロニクス/Plastic/organic/flexible electronics, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor