ハーモテック

甲府市住吉,  山梨県 
Japan
http://www.harmotec.com
  • 小間番号1639


薄物・特殊ウェーハ(極薄・反り・歪み)搬送に関して20年以上の歴史と多くの実績により、顧客の問題解決にお役立ちします。

・新しく開発された薄型KUMADEの展示

  新開発のUTシリーズは、消費流量の効率化により、従来品より更に薄型化が可能となり、カセットアクセスカセットへの挿入クリアランスが向上します。

・ウェットKUMADEの展示

  ウェットシリーズは水中及び大気中でのウェット非接触搬送を可能にしました。

・搬送装置

  数多くのウェーハ移載機・梱包機(2~12インチ)、ウェーハドライクリーニング装置、ウェーハマクロ検査装置を展示します。

・薄ウェーハ検査ステージ用KUMADEの展示

  薄く反りあがったウェーハを平坦に強制し保持する、検査ステージ用に開発いたしました。


 出展製品

  • 薄型KUMADE FORK UTシリーズ
    新開発のUTシリーズは、消費流量の効率化により、従来品より更に薄型化が可能となり、カセットアクセスカセットへの挿入クリアランスが向上します。...

  • ロボットエンドエフェクター用KUMADE FORK型の薄型化を可能にしたUTシリーズの展示を行います。

  • ウェット用KUMADE CIRCLEの展示
    ウェットシリーズは水中及び大気中でのウェット非接触搬送を可能にしました。...

  • ウエット用KUMADE CIRCLEは水中内、大気中に於いて非接触搬送を可能にします。

    ウェーハが搬送中に乾くことによる様々な問題点を解消します。

  • ウェーハ搬送装置
    数多くのウェーハ移載機・梱包機(2~12インチ)、に加え、ドライクリーニング装置、ウェーハマクロ検査装置を展示します。...

  • 長年の顧客仕様にて培われた使い勝手の良い搬送装置をご提案いたします。

    ドライクリーニング装置の導入でウェーハプローブ工程での不良率低減及び、高価なプローブカードの保護に寄与します。

    マクロ検査装置は表裏目視検査が可能でありながら、並べ替え機能(検査+ソーターの二役)を有しております。

  • 薄ウェーハ検査ステージ用KUMADEの展示
    薄く反りあがったウェーハを平坦に矯正し保持する、検査ステージ用を開発いたしました。...

  • 特殊ウェーハ用に薄く反りあがったウェーハを平坦に矯正保持する事の出来る、検査用ステージKUMADEを展示いたします。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, 太陽光発電(PV)/Photovoltaic, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor