金沢機工

横浜市金沢区鳥浜町12-64YPC研究棟,  神奈川県 
Japan
http://www.kanazawakiko.jp/
  • 小間番号5231

高いコストパフォーマンスな洗浄装置とオゾン水生成機器を展示。 パワーLSI材料として注目のSiC基板、インゴットを展示。

SiC,GaNの洗浄はMTK社製枚葉式精密洗浄装置。多数実績あり、プロセス保証(金属、パーティクル)します。

非接触ベルヌイハンドリングにより薄厚ウエハの洗浄。

オゾン水生成機器により金属除去、パーティクル数除去。

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