カナメックス

厚木市,  神奈川県 
Japan
http://www.kanamex.co.jp
  • 小間番号3508

実機出展

・縦型両面スクラブ洗浄装置

 φ6インチ対応 ウエハを垂直に立てた状態で両面を同時にスクラブ洗浄行います。

 除去した異物は重力と遠心力によりウエハ外へ排出され、再付着を防止します。

 各種洗剤スプレーと超音波洗浄の組み合わせで研磨屑やスラリ残渣を除去します。

 スループット 25枚/H

 枚葉スピンとの組み合わせで精密洗浄・乾燥まで自動で行えます。 

 

・枚葉式スピンリフトオフ装置

 高温NMPと高圧ジェットの組み合わせにより、レジストを膨潤しメタルリフトオフする装置です。

 メタルのバリやレジストが短時間で除去できます。

 薬液のリサイクル機能により、省薬液で低環境負荷の処理が行えます。

その他、パネル展示等

・微細シリコン貫通電極用洗浄装置

 減圧チャンバーにより貫通電極の洗浄が行えます。

・その他フォトリソ関連装置(塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄)など

 パネル展示、カタログの配布を行っております。

当社ブースへのご来場お待ちしております。