伊藤忠マシンテクノス

• 小間番号3208

伊藤忠マシンテクノスブースにおいては、前工程から後工程までの製造装置、各種検査装置の実機およびパネル展示を致します。

【製造装置】

１）ポリイミド膜用のコーターシステム（エンジニアリングシステム社製）　（実機展示）

　　・スピンコーターの変わる新たな塗布技術、大幅なコスト削減に貢献します。

　　・微細パターンの塗布機能も有しています。

２）レジスト液充填装置・洗浄装置　（永田製作所社製）　（パネル展示）

　　・レジルト容器洗浄装置、液体充填機、キャッパー・ラベラーを１００年超えるノウハウでお客様にご提供します。

【検査装置】

１）ウェハ膜厚・表面粗さ・ウェハ厚み・ウェハ反り・歪み計測装置　（ドイツ　Sentronics社製）　（実機展示）

　　・装置１台に８種類の複数の検査センサーの搭載可能な統合検査装置です。

　　・高タクトを実現します。（膜厚１０００点：１００WPHを実現）

　　・量産に適した装置です。

２）ウェハ欠陥検査装置　（アテル社製）　（パネル展示）

　　・ウェハ薄型工程に適した、ウェハ裏面専用の自動欠陥検査装置（AOI装置）

　　・薄型ウェハ、反ウェハの適したマニュアル用のマクロミクロ外観検査装置

　　・ウェハ裏面の欠陥情報を元に、表面のチップIDのOK,NG情報とのマージ機能を有しています。

　　・KRFファイルおよび各種チップデータとの取り込みが可能です。

３）マクロ欠陥検出センサー　（オプティテック社製）　（実機展示）

　　・目視検査では検出出来ないナノレベルの表面欠陥、目視検査の可視化が可能なセンサーです。

　　・搬送ローダーとのドッキングが可能になります。

４）UV露光ランプ　（ケメット・ジャパン社製）　

　　・水銀ランプとの互換性がある、UV-LED光源。

　　・平行光で高輝度の性能があります。

是非、伊藤忠マシンテクノス（株）ブース　（小間番号　３２０８）にお立ち寄り頂きますようよろしくお願い申し上げます。

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