伊藤忠マシンテクノスブースにおいては、前工程から後工程までの製造装置、各種検査装置の実機およびパネル展示を致します。
【製造装置】
1)ポリイミド膜用のコーターシステム(エンジニアリングシステム社製) (実機展示)
・スピンコーターの変わる新たな塗布技術、大幅なコスト削減に貢献します。
・微細パターンの塗布機能も有しています。
2)レジスト液充填装置・洗浄装置 (永田製作所社製) (パネル展示)
・レジルト容器洗浄装置、液体充填機、キャッパー・ラベラーを100年超えるノウハウでお客様にご提供します。
【検査装置】
1)ウェハ膜厚・表面粗さ・ウェハ厚み・ウェハ反り・歪み計測装置 (ドイツ Sentronics社製) (実機展示)
・装置1台に8種類の複数の検査センサーの搭載可能な統合検査装置です。
・高タクトを実現します。(膜厚1000点:100WPHを実現)
・量産に適した装置です。
2)ウェハ欠陥検査装置 (アテル社製) (パネル展示)
・ウェハ薄型工程に適した、ウェハ裏面専用の自動欠陥検査装置(AOI装置)
・薄型ウェハ、反ウェハの適したマニュアル用のマクロミクロ外観検査装置
・ウェハ裏面の欠陥情報を元に、表面のチップIDのOK,NG情報とのマージ機能を有しています。
・KRFファイルおよび各種チップデータとの取り込みが可能です。
3)マクロ欠陥検出センサー (オプティテック社製) (実機展示)
・目視検査では検出出来ないナノレベルの表面欠陥、目視検査の可視化が可能なセンサーです。
・搬送ローダーとのドッキングが可能になります。
4)UV露光ランプ (ケメット・ジャパン社製)
・水銀ランプとの互換性がある、UV-LED光源。
・平行光で高輝度の性能があります。
是非、伊藤忠マシンテクノス(株)ブース (小間番号 3208)にお立ち寄り頂きますようよろしくお願い申し上げます。
追加情報
初出展/New Exhibitor
No新製品/New Products
Yes製品展示/Displaying Equipment
Yesデモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor