Evatec AG

Trübbach, 
Switzerland
http://www.evatecnet.com
  • 小間番号5527

Thin Film Powerhouse へようこそ

BAK真空蒸着装置及びCLUSTERLINE®スパッタ装置は、アドバンスドパッケージング、通信、パワーデバイス、光通信、MEMS、フォトニクス、の分野で使われる弊社の主力製品です。お客様のプロセスや処理能力に合わせて、バッチ式、クラスタ式、インライン式のプラットホームを提案致します。弊社のコアマーケット全般に渡る最新の開発情報を提示しております。HEXAGONFOWLP向けのハイスループット装置であり、また通信デバイス製造向け用として8インチ個別チャンバー式装置として運用されます。CLUSTERLINE®製品群はスパッタ、PECVD、エッチング可能な200300mm対応機です。CLUSTERLINE® 200 IIによる、MEMSや通信デバイスに使われる高圧電係数材料であるAlScNの膜付けから、CLUSTERLINE® RADによるLED向けTCODBRのハイスループット膜付けまで対応しています。SOLARLISではチップレベルでのハイスループットEMIシールディングが可能です。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
Yes
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
No
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, 太陽光発電(PV)/Photovoltaic, プラスチック/有機/プリンテッドエレクトロニクス/Plastic/organic/flexible electronics, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor
上記以外の分野/Other categories
-Wireless applications including RF filters