クォークテクノロジー

井原市,  岡山県 
Japan
http://www.quark-tec.com/
  • 小間番号4234


UV光源専門メーカとして高付加価値なUV光をご提供いたします。

世界初の面発光エキシマUV照射装置をご紹介します。

マスクやウエハの有機物、レジスト残渣を172nmの光で取り除きます。

弊社独自技術の面発光のランプにより歩留まり低減タクトタイム短縮品質向上に貢献いたします。


 出展製品

  • エキシマUV照射装置
    従来の光洗浄改質で用いられてきた低圧水銀ランプ(波長185+254nm)に比べ、フォトンエネルギーが高い172nmの真空紫外光(UVU)を発します。弊社ではスタンダード品の「チューブ型」ランプに加え、より高照度な「フラット型」ランプもラインナップしております。...

  • 特徴

    ・低温処理が可能

    ・瞬時点灯、消灯が可能

    ・半導体処理向け、パネル処理向けそれぞれに専用ランプをラインナップ

    用途

    ウェハー洗浄、マスク洗浄、ガラス基板洗浄、ポリマー表面改質

    サイズ

    8インチ、12インチ、他

  • UV-LED照射装置
    波長や照射面積を自由にカスタマイズし、ニーズにあわせた製品をご提供いたします。幅広い波長ラインナップで深紫外LEDも取り扱っております。...

  • 特徴

    ・低温処理が可能

    ・低電力かつ長寿命でランニングコストを削減

    波長ラインナップ

    265/275/280/285/300/310/345/355/365/385/395/405nm

    照射方式

    ・面照射型 SQシリーズ

     大面積一括照射が可能。

     照度:~500mW/cm²

    ・インライン照射型 RUシリーズ

     搬送装置に対応した高照度モデル

     照度:~4000mW/cm²

    ・線照射型 LEシリーズ

     集光レンズを搭載し、線状に照射

     照度:~3000mW/cm²

  • UVレーザー
    コンパクトな発振器で、エキシマレーザー等他の発振器よりも低価格でご提供いたします。レーザー発振器だけでなく、光学系も含めたシステムとしてご提案致します。...

  • ラインナップ

    ・YAGレーザー

     発振波長:355nm(第3高周波)

     平均出力:15W@50kHz

     繰り返し周波数:1kHz~300kHz

    ・YLFレーザー

     発振波長:263nm(第4高周波)

     平均出力:250mW@1kHz

     繰り返し周波数:~4kHz