光洋サーモシステム

天理市,  奈良県 
Japan
  • 小間番号3812

SiC、GaN、IGBTパワー半導体向け熱処理装置、MEMS、OLED用熱処理装置を紹介。ミニマルを実機展示。

SiCパワー半導体向け熱処理装置(活性化、酸窒化、コンタクトアニール)や、
GaNパワー半導体、IGBTパワー半導体向け熱処理装置、MEMS、OLED用熱処理装置までご紹介します。
また、最新パッケージ技術のFan-Out用(FO-WLP)装置、面発光レーザー(VCSEL)の低温Wet酸化処理における他社には出来ない温度性能をご紹介いたします。
OLEDについては、フレキシブルOLED、透明PIQ、ハイクリーンな装置を提案いたします。
コンパクトな実験機としてミニマルを実機展示いたします。
また、当社では各種デモ機も保有しており、プロセステストにも対応していますので、お気軽にご相談ください。