丸文

中央区,  東京都 
Japan
http://www.marubun.co.jp
  • 小間番号5730

<<出展見どころ(HALL:5 No.4433) >>

当社、丸文のブースでは米国BIRD社のRF測定・モニタリングソリューションをご紹介致します。

【RFパワー測定ソリューション】
エッチング装置・CVD装置等、プラズマを発生させる工程において使用される
高周波(RF)電源の電力測定装置を出展致します。

・パルスパワーセンサ:7023シリーズ
ドライエッチング等の装置でプラズマを発生させる際、RF電源を使用しますが、CWの出力だけでなく、信号のON/OFFを高速で繰り返すパルス出力を利用する場合があります。しかしながら、通常RF電源の出力を確認する場合はCWのみしか測定を行いませんので、パルスの出力が正確に出ているかという点は確認することが出来ません。

そこで、BIRD社はRF電源のパルス出力を測定する新たなパワーセンサを開発しました。出力がONになる点を自動で感知し、ON時間やパワーを測定し、Duty比も検出可能です。また、CW出力の測定も可能な為、従来品である4027シリーズの次世代機としても利用頂けます。

【非50Ωライン測定ソリューション】
RF電源を使用する装置において、マッチングボックス以降においても、RFの状態監視(電流、電圧、位相角)を可能にした製品を出展致します。

・BDS/BDS-2
Bird Diagnostic System(BDS)は、RF(高周波)電力測定において革新的なモニタシステムです。特にRFの再現性を求められる半導体の製造プロセスでは、RFの状態監視モニタとして利用できるだけでなく、電流、電圧、位相角が測定可能なためマッチングボックス以降のRF状態をチャンバ毎に管理することが可能です。ログデータや、簡易スペクトラムアナライザ機能を利用することで、プロセス成功時のRF状態把握、プロセス失敗の原因や解析にも貢献致します。また、新しくリリースされたBDS-2では、従来のCWモニタに加え、メモリ製造等のプロセスにおいて需要の高まっているパルス出力のモニタや、周波数可変にも対応致しました。

また、BIRD社製品以外にも3RWAVE社製RFサーキュレータやWifi、Bluetooth、LPWA等のIC評価に最適なAdauratechnologies社製プログラマブルアッテネータ等展示しております。


 出展製品

  • 非50Ωライン測定システム BDS/BDS-2
    電流(I)、電圧(V)、位相(θ)のモニタが表示可能なRFモニタ 周波数:307KHz-252MHz 測定項目:電流、電圧、位相、、電力、周波数、インピーダンス他 *BDS-2の場合、パルス波形モニタ機能付となります。 ...

  • Bird Diagnostic System(BDS)は、RF(高周波)電力測定において革新的なモニタシステムです。
    特にRFの再現性を求められる半導体の製造プロセスでは、RFの状態監視モニタとして利用できるだけでなく、
    電流、電圧、位相角が測定可能なためマッチングボックス以降のRF状態をチャンバ毎に管理することが可能です。
    ログデータや、簡易スペクトラムアナライザ機能を利用することで
    プロセス成功時のRF状態把握、プロセス失敗の原因や解析にも貢献致します。
    BDS-2では従来のRFモニタ機能を加え、パルス波形モニタ及び周波数可変にも対応しております。
  • 高精度パワーメータ4421・4027A/4027Fセンサシリーズ
    半導体市場にて多数実績の高精度CW測定用パワーセンサ 周波数:400KHz~100MHzまで半導体市場にて使用する周波数を網羅 出力:最大50kWまで対応*センサの対応周波数、コネクタタイプにより異なる...

  • BIRD社の提案する高精度パワーセンサシリーズは高精度RF(高周波)測定を目的として開発されたパワーセンサです。校正周波数・出力において読取値±1パーセントを実現しております。品質保証部門や製造プロセス、保守メンテナンス等精細なパワー測定が求められる現場において多数実績がございます。
    また4027Fは従来型センサと異なり、バンドパスフィルタを内蔵しているので、ハーモニクス(高調波)や残留AMの影響を受けにくい仕様になっています。周波数範囲は、2MHzタイプ、13.56MHzタイプ、60MHzタイプの3種類のパワーセンサが供給可能です。(校正周波数・出力における測定精度:読取値±1パーセント)
  • パルスパワーセンサ 7023/7025/7027シリーズ
    RF電源出力点検用パワーセンサ(パルス測定対応モデル) 対応周波数:400KHz 3.2MHz 13.56MHz 40MHz 100MHz 出力:最大40kW*入出力コネクタや周波数帯により異なります。 測定項目: 進行波・反射波(CW及び平均電力) VSWR パルス平均電力 *7027はパルス波形モニタ、及び多段階パルス機能付...

  • ドライエッチング等の装置でプラズマを発生させる際、RF電源を使用しますが、
    CWの出力だけでなく、信号のON/OFFを高速で繰り返すパルス出力を利用する場合があります。
    しかしながら、通常RF電源の出力を確認する場合はCWのみしか測定を行いませんので、
    パルスの出力が正確に出ているかという点は確認することが出来ません。

    BIRD社から提案するパルスパワーセンサは
    出力がONになる点を自動で感知し、ON時間やパワーを測定し、Duty比も検出可能です。
    また、CW出力の測定も可能な為、従来品である4027シリーズの次世代機としても利用頂けます。
    このたび、新しくリリースをした7027シリーズでは多段階パルス(最大4段階)の測定も可能となり、よりお客様の用途に合わせてご提案が可能です。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
MEMS, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor