リソテックジャパン

川口市並木,  埼玉県 
Japan
http://www.LTJ.co.jp
  • 小間番号4427


リソテックジャパンは、半導体リソグラフィに関する評価機器やプロセス装置のメーカーです。

半導体リソグラフィ関連の製造装置や評価ツールをご紹介します。


 出展製品

  • ◆コータデベロッパ
    マニュアル/セミオート/オートの塗布現像/塗布/現像装置をラインナップしております....

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  • ◆レジスト露光/現像解析装置
    各種波長の実験用オープンフレーム露光装置および、各有機/アルカリ現像液に対応したフォトレジスト現像速度解析評価装置をラインナップしています....

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  • ◆リソグラフィシミュレータ
    パターンがウェーハ上にどのように転写されるかを、素早くそして正確にシミュレートするための高度なモデルを搭載したシミュレータです....

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  • ◆膜厚測定装置
    レジストやポリイミド等、500μmまでの膜厚を測定. 全自動測定から低価格のマニュアル測定まで各種ラインナップしています....

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  • ◆露光装置評価ツール/レチクル
    露光量に依存せず、定量的なフォーカスデータを提供します. また、レンズに対する熱の影響を迅速に、かつ定量的に評価します....

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 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
No
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, その他/Other, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor