浜松ホトニクス

浜松市中区,  静岡県 
Japan
http://www.hamamatsu.com
  • 小間番号5817

多層/積層やインラインでの膜厚計測にお困りの方に、非接触で高速の膜厚計を提案します。

弊社のOpticalGaugeシリーズは、デフォーカス依存性や角度依存性にすぐれ、長いワーキングディスタンスでIn-situ測定にも対応することができます。

会場では、In-situ測定をイメージさせる透明箱中のウエーハサンプルを外部から高精度で膜厚測定するデモを行います。


 出展製品

  • Optical NanoGauge 膜厚計 C13027
    分光干渉法を利用した非接触の膜厚測定装置です。...

  • シーケンサ接続や膜厚と色の同時計測機能に加え、装置組み込みを容易にするために、従来製品に比べ小型化を実現しました。Optical Gaugeシリーズでは最も薄い10 nmの極薄膜測定に対応することができます。また、10 nm〜100 μmと幅広い膜厚測定範囲の対象に適応します。さらに、最速200 Hzの高速測定も可能なため、高速ラインでの測定にも対応することができます。
  • Optical MicroGauge 厚み計 C11011
    レーザ干渉法を利用した厚み測定装置です。...

  • 60 Hzの高速測定が可能で、生産現場でのインライン測定にも対応します。また、オプションのマッピングシステムと組み合わせ試料の厚み分布を測定することも可能です。製造工程モニタから品質管理まで、幅広い用途にご利用頂けます。
  • プラズマプロセスモニタ C10346-01
    半導体製造工程の中でプラズマを使用するエッチング、スパッタ、CVD等において、 プロセス中のプラズマ発光を広帯域にリアルタイムで検出する装置です。...

  • 各種解析機能により「エッチングやクリーニングの終点判定条件設定や自動判定」、
    「プラズマ種推定」、「混入不純物や異常放電の監視」等に利用できます。