三友製作所

日立市,  茨城県 
Japan
http://www.sunyou-ss.co.jp/
  • 小間番号3726

【展示製品紹介_卓上プラズマエッチング装置】

LSIの局所的な配線露出、Si基板の局所薄片加工が可能な卓上型のプラズマエッチング装置の実機を展示します。

ポリイミド層のエッチングであれば会場でテスト加工も可能です。

テスト加工にご興味のある方はぜひサンプル持参の上ご来場下さい。

【部分研磨装置】

パッケージの部分開封や基板の局所切削・研削・研磨が可能な部分研磨装置を展示します。

【展示製品紹介_ナノマニピュレーションステージ】

PZT素子のインパクト駆動によりミリストロークとナノ分解能を両立した

直交3軸のマニピュレータの実機を展示します。

【展示製品紹介_ミニマルマイクロプラズマエッチング装置】

ミニマルファブ用のマイクロプラズマエッチャーの実機を展示します。


 出展製品

  • 卓上プラズマエッチング装置
    試料の一部をマイクロプラズマエッチングする卓上タイプのプラズマエッチング装置です。 吸引プラズマと呼ばれる弊社独自の加工方法により、低残渣でSi基板を10μm/minの加工速度でエッチング可能です。 ...

  • 試料の一部をマイクロプラズマエッチングする卓上タイプのプラズマエッチング装置です。
    吸引プラズマと呼ばれる弊社独自の加工方法により、低残渣でSi基板を10μm/minの加工速度でエッチング可能です。
    本装置では以下のアプリケーションが可能です。
    ・半導体デバイスの局所的な配線露出
    ・半導体デバイスの局所薄片加工(FIB前処理)
    【参考エッチングレート】
    ・Si:10μm/min以上
    ・SiO2:5μm/min以上
    ・SiC:3μm/min以上
  • ナノマニピュレーションステージ
    3軸直交駆動のPZTマニピュレータです。...

  • インパクト駆動方式による自社製アクチュエータを内蔵し、ミリストロークとナノ分解能を両立した3軸直交駆動のPZTマニピュレータです。

    半導体デバイスEBAC解析のプローバとしてご使用頂けます。

    その他材料研究ツールとしてCNTのマニピュレータとして使用実績が御座います。

  • 卓上精密研磨装置
    【新製品!】 試料の局所領域を切削、研削、研磨加工可能な卓上型部分研磨装置です。...

  • 試料の局所領域を切削、研削、研磨加工可能な卓上型部分研磨装置です。

    以下のアプリケーションに対応しております。

    ・半導体パッケージの部分開封処理

    ・Si基板の薄片加工(鏡面仕上げ)

    ・セラミックスの加工


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor