CKD

名古屋市中区栄1丁目,  愛知県 
Japan
https://www.ckd.co.jp
  • 小間番号4106


今回の展示会では先端プロセスニーズに対応した製品を一挙展示します。 ぜひ、当社のブースへお越しください。

半導体・液晶などの電子デバイス産業は進化し続けており、製造環境、製造装置、使用機器全てにクリーン化が要求されております。半導体・液晶関連装置の供給系から排気系まで使用される機器バリエーションを揃え、進歩を続ける電子デバイス産業を支えるため、限りないクリーン対応、"最先端プロセス制御"に向けて挑戦を続けていきます。


 出展製品

  • 薬液用エアオペレイトバルブ
    薬液用エアオペレイトバルブの新型スタンダードタイプ。 幅広く圧力・温度・流体の条件に対応するハイエンド商品です。...

  • 【使用圧力の範囲を拡大】新シール構造により、使用圧力範囲を拡大。A・Bポートの使用圧力を共通化。

    【酸・アルカリ問わず対応可能】耐薬品性に優れたフッ素樹脂「PVDF」をアクチュエータに採用することで、酸・アルカリ問わず、標準で幅広く対応可能。

    【流体温度を拡大】標準品の使用流体温度範囲を大幅に拡大(Max. 120℃)。弁の開閉を信号で確認できるセンサ付をオプション化。

    【3種類の取付方法】従来のフランジ取付・底面取付に加えて、4点フランジ取付を追加。

  • 高温・高耐久ガスバルブ
    微細化の進展により求められる高耐久に対応するプロセスガス用バルブです。...

  • 【AGD-HDシリーズ】
    耐久性:1000万回保証(実績値:3000万回)
    集積化ガス供給システムに対応(1.5inch、1.125inch)、単品バルブ対応可能

    【AGD-HDFシリーズ】
    耐久性:1000万回保証(実績値:3000万回)
    高温対応:~200℃
    集積化ガス供給システムに対応(1.5inch、1.125inch)、単品バルブ対応可能、応答安定アクチュエータ搭載

    【AGD21R-Aシリーズ】
    耐久性:3000万回保証(実績値:1億回)
    流体温度:150~200℃対応
    高Cv値:0.4以上

    集積化ガス供給システムに対応(1.5inch)、応答安定アクチュエータ搭載

  • 集積化ガス供給システム
    省スペース、メンテナンス性を向上させたプロセスガス供給システムです。 1.125inch、Wシール対応。...

  • 【集積ユニット】
    プロセスガス供給ラインを標準化されたパーツでコンパクトに集積化。
    プロセスガスと不活性ガスの高速置換を可能とする理想的な流路を実現。
    設計から組立、検査後に納品し、お客様の工数を削減。
  • 真空圧力制御システム
    従来の高真空バルブの信頼性はそのままに、多彩なプロセスを実現する圧力制御を可能にしました。...

  • 【スロー排気制御が可能】
    一般的なON/OFF真空弁や二段排気真空弁に比べて、一定レートで緩やかな排気を実現。

    【圧力制御機能の追加】
    信頼性の高い真空バルブをベースに、圧力制御機能を付加。
    真空時の圧力調整に、レギュレータやバリアブルリークは不要。
    ポペット弁方式の採用により、バタフライバルブが苦手とする全閉動作を、Oリングシール構造で実現。

    【簡単メンテナンス】
    バルブと電装部を個別でメンテナンス可能。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor